TW200804907A - Pattern forming method - Google Patents

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200804907 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於在製造例如平面型畫像顯示裝置、配線 基板、1C標籤等時，在絕緣性基板上形成藉由功能性材料 所產生之圖案的圖案形成方法。 【先前技術】 Φ 以往，以在基板表面形成細微圖案之技術而言，完成 分派以微影成像技術爲中心的任務。但是，該微影成像技 術越提高該解析度或性能，相反的必須要有巨大且高額之 製造設備，製造成本也因解像度變高。 另外，在畫像顯示裝置等之製造領域中，對半導體要 求性能改良且低價格化則比以往更提高，上述微影成像技 術中，無法充分滿足如此之要求。在該狀況下，使用數位 印刷技術之圖案形成技術則受到注目。 • 對此，例如噴墨技術雖然開始當作有效利用具有裝置 簡便或非接觸圖案製作之特徵的圖案製作技術而被實用 化，但是對於解像度化或高生產性只能說具有限度。即 是，對於該點，使用電子照片技術，尤其使用液體調色劑 v 之電子照片技術具有優良可能性。 例如，提案有使用如此之電子照片技術，形成平面顯 示用之前面基板之螢光體層、黑矩陣或彩色濾光片等之方 法（例如，參照日本特開2004-30980號公報、日本特開 平6-265712號公報）。 200804907 (2) 但是，在平面顯示器之領域中，高解像度化之要求越 來越高，要求以更高位置精度形成高解像度之圖案。但 是’要以上述電子照片方式對應該課題則有困難。該是寫 入光學系之解像度頂多爲120[dpi]左右，解像度或定位並 . 不充分之故。再者，也有無法實現可以對應於近年大畫面 化之寬幅的寫入光學系之課題。 對此，提案有使用事先在表面形成電阻不同之圖案的 φ 靜電印刷板以取代感光體，藉由使該板作用液體調色劑而 顯像圖案，並將該圖案像轉印至玻璃板，在顯示用前面玻 璃形成螢光體等之圖案的方法。（例如，參照日本特表 2 0 0 2 - 5 2 7 7 8 3 號公報）。 但是’本案發明者精心實驗討論結果，找出在該方法 中，也有下述般本質性之問題點。 首先，藉由液體調色劑所產生之顯像圖像一般層厚微 l[/zm]以下之情形爲多，並不適合顯示器裝置之螢光體或 • 彩色濾光片等之厚膜形成，於形成高精度之厚膜需要更新 的構想。 ^ 再者，於將顯像圖像轉印至玻璃板之時，當使用電暈 帶電器時，電暈電荷傳達玻璃表面而洩漏，轉印特性容易 成爲不安定。再者，在玻璃內部容易蓄積空間電荷，電暈 轉印難以形成克服該空間電荷之轉印電場。並且，# $專印 1色之顯像圖像時，該問題更爲助長，要將第2色、第3 色之顯像圖像轉印至玻璃板極爲困難。 -6- 200804907 (3) 【發明內容】 該發明之目的是提供可以對絕緣性基板效率佳轉印顯 像劑之圖案形成方法。 爲了達成上述目的，該發明之圖案形成方法具有：在 圖像保持體形成藉由帶電之顯像劑所產生之圖案像的顯像 工程；將在與上述圖像保持體對向之對向面側具有電極層 的被轉印媒體，對向配置於上述圖像保持體，在上述圖像 保持體和上述電極層之間形成電場而將上述圖案像轉印至 上述被轉印媒體之轉印工程；和使上述電極層消失之工 程。 當藉由上述發明時，在接近於被轉印媒體之圖像保持 體側設置電極層，在該電極層和圖像保持體之間形成電 場’轉印被形成在圖像保持體之圖案像之後，使電極層消 失。如此一來，藉由使電極層接近於圖像保持體，可以形 成比較強之轉印電場，可以提高圖案像對被轉印媒體之轉 印效率。並且，因轉印所使用之電極層消失，故亦可以防 止由於存在電極層所產生之各種不佳狀況。 再者，該發明之圖案形成方法，具有：在圖像保持體 形成藉由帶電之顯像劑所產生之圖案像的顯像工程；將在 與上述圖像保持體對向之對向面側具有電極層的被轉印媒 體’對向配置於上述圖像保持體，在上述圖像保持體和上 述電極層之間形成電場而將上述圖案像轉印至上述被轉印 媒體之轉印工程；和加熱上述電極層使予以高電阻化之工 程。 200804907 (4) 再者，該發明之圖案形成方法，具有：在絕緣性基板 之表面側形成圖案狀之電極層的電極層形成工程；經由對 向配置於上述絕緣性基板之表面側的供給構件而將帶電之 顯像劑供給至上述絕緣性基板，在上述供給構件和上述電 ^ 極層之間形成電場而在上述電極層集中上述顯像劑，形成 圖案像之顯像工程；和使上述電極層消失之工程。 •切 並且，該發明之圖案形成方法，一種圖案形成方法， φ 具有：在絕緣性基板之表面側形成圖案狀之電極層的電極 層形成工程；經由對向配置於上述絕緣性基板之表面側的 供給構件而將帶電之顯像劑供給至上述絕緣性基板，在上 述供給構件和上述電極層之間形成電場而在上述電極層集 中上述顯像劑，形成圖案像之顯像工程；和加熱上述電極 層而使予以高電阻化之工程。 【實施方式】 • 以下，參照圖面，針對該發明實施形態予以詳細說 明。 ^ 第1圖是槪略表示該發明之實施形態所涉及之圖案形 成裝置10之重要部位之構成。在此說明之圖案形成裝置 1 0，爲例如用以在平面型化像顯示裝置之顯示面板之內面 形成螢光體層或彩色濾光片之裝置。 圖案形成裝置1 0是具有當作該發明之圖像保持體而 發揮功能之平板狀之凹版1 ;接近該凹版1之圖中下方而 配置，將各色（r :紅、g :綠、b :藍）之液晶體顯像劑 -8- 200804907 (5) 供給至凹版1而顯像之多數顯像裝置2r、2g、2b (以下， 也有總稱爲顯像裝置2之情形）；使凹版1之上述高電阻 層14之表面14a帶電事先決定之帶電裝置3，及保持多數 顯像裝置2及帶電裝置3之平台4。 . 再者’該圖案形成裝置1 〇具有維持各顯像裝置2 ·和 凹版1之間的間隙之狀態下，使平台4對凹版1相對性移 動至圖中箭頭T方向之控制裝置5 ;及根據自該控制裝置 φ 5所輸出之控制訊號，對凹版1之後述圖案電極1 3供給電 壓之電源裝置6。該圖案形成裝置1〇其他具有第1圖中未 圖示之後述轉印裝置3 0及燒結爐4 0。 第2圖是上述凹版1之部份剖面圖。凹版1具有絕緣 性基版1 1、被設置在自該基板1 1之顯像裝置2分離之背 面側上的共通電極1 2、設置在基板1 1之表面側上的多數 圖案電極1 3，以及用以部份性覆蓋該些多數圖案電極i 3 而區劃，並且形成後述之畫素單位之凹部1 4b的高電阻層 φ 14。 基板1 1是藉由例如聚醯亞胺、PET (聚乙烯對苯二甲 酸酯）、PEN (聚萘二甲酸乙二醇酯）等之樹脂材料或玻 璃材料而形成，具有20[//m]至20 0[/zm]左右之厚度。共 通電極1 2是藉由例如鋁或不銹鋼等之導電性材料所形 成，具有100[//m]至200[//m]左右之厚度。筒電阻層14 是藉由聚醯亞胺、丙烯酸、聚酯、胺甲酸乙脂、環氧樹 脂、鐵氟龍（登記商標）、尼龍、酚等之樹脂類’各種陶 瓷等體積電阻率爲101()[Ω em]以上之材料（含有絕緣體） -9- 200804907 (6) 而形成，該膜厚爲l〇[/zm]至3 0[#m]，最佳爲20[#m]土 20 [ // m]。 圖案電極1 3是如第4圖所示般，在基板1 1之表面圖 案製作。本實施形態之圖案電極1 3是並列於凹版1和平 I 台4之相對性移動方向T而具有多數相同圖案，各圖案電 極1 3互相電性獨立而互相平行被圖案製作。各圖案電極 1 3具有以細長配線部份1 3b連接相當於顯示面板之1畫素 φ 的多數矩形部份1 3 a之形狀。如本實施形態般，形成顯示 面板之螢光體層或彩色濾光片之裝置所使用之凹版1之 時，多數條之圖案電極13被分配成紅色用之圖案電極 13r、綠色用之圖案電極13g及藍色用之圖案電極13b，以 該順序交互排列而形成。 然後，高電阻層1 4具有露出各圖案電極1 3之所有矩 形部份1 3 a之多數凹部1 4b。換言之，高電阻層1 4部份性 覆蓋基板1 1表面被圖案製作之多數條圖案電極1 3之配線 • 部份13b，具有僅使矩形部份13 a露出於表面側之形狀。 第3圖表示部份性放大露出圖案電極1 3之矩形部份1 3 a ^ 之高電阻層14之凹部14b的剖面圖。凹部14b之深度大 槪相當於高電阻層1 4之層厚。 各圖案電極1 3是如第5圖所示般，被連接於電源裝 置6，成爲可以獨立將不同電壓供給至各圖案電極13。本 實施形態是在各圖案電極1 3各自配線開關1 5，能夠將各 圖案電極1 3獨立切換至電源電壓（本實施形態中爲 + 20 0[v]和接地電壓（〇[V])中之任一方。再者，該電源裝 -10- (7) 200804907 置6是將共通電極1 2連接於接地電位（〇 [v])。並且， 除如本實施形態般在兩個位準間切換供給至各圖案電極1 3 之外’即使以獨立將任意電壓供給至各圖案電極1 3之方 式，賦予容量控制機能亦可。

本實施形態是如第6圖所示般，使用具有帶電外殼 3a、帶電導線3b及珊極電極3c之概格電極（scorotron) 帶電器，以作爲帶電裝置3。但是，除此之外，即使使用 不持有柵極電極之柵格電極（scorotron)帶電器或不使用 導線之離子產生器等，以作爲帶電裝置3亦可。無論哪一 者帶電裝置3經l[mm]至2[mm]左右之間隙與對向凹板1 之高電阻層14之表面14a相向而配置，藉由平台4之移 動，移動至橫切上述圖案電極13之方向（箭頭 T方 向）。 第7圖及第8圖是放大表示顯像裝置2之槪略構造。 上述各色之顯像裝置2r、2g、2b除所使用之液體顯像劑 不同之外，因具有相同構造，故在此當作顯像裝置2予以 說明。 顯像裝置2是具有沿著相對於凹板1之移動方向T而 並列的兩個框體2 1、22。在移動方向下流側之框體2 1內 設置有顯像滾輪23。顯像滾輪23相對於凹版1之高電阻 層14a經100[//m]至5 00[/zm]左右之間隙，而配置在該 周面，旋轉至圖中反時鐘旋轉方向。 在移動方向上留側之框體22內設置有擠壓滾輪24。 擠壓滾輪24是被配置在該周面比顯像滾倫23更接近至凹 -11 - 200804907 (8) 版1而相向之位置，即是自高電阻層14之$ 30[/zm]至500[/zm]左右之位置，往圖中時 擠壓滾輪2 4是藉由顯像滾輪3部份性除去被 之液體顯像劑，擠壓殘留在凹版1之液體顯 . 擠壓滾輪24之周面接觸配置有藉由橡膠片 板25。 液體顯像劑D是被收容在無圖式之顯像 φ 圖式之泵等經無圖式之噴嘴被供給至框體21 內之液體顯像劑D經顯像滾輪2 3而被供給 體21內之液體顯像劑D是經顯像滾輪23而 1。被供給至凹版1之液體顯像劑中剩餘之 經擠壓滾輪24及清潔板25而被回收至框體 無圖式之泵等而經無圖式之噴嘴排出至無圖 液體顯像劑D是使帶電之各色螢光體粒子、 之色素粒子（顯像劑粒子）分散至絕緣性液 φ 顯像劑粒子是以正帶電之方向添加金屬皂等< 藉由平台4所保持之顯像裝置2r、2g、 置3是根據控制裝置5之控制使平台4相對 至箭頭T方向，依此沿著凹版1表面移動至= 此時，平台4是以維持上述凹版1和顯像裝 隙，及凹版1和帶電裝置3之間的間隙之方 表面略平行移動。 接著，針對藉由上述圖案形成裝置1 〇 形成方法，參照第6圖至第1 2圖予以說明。 良面14a離開 鐘方向旋轉。 供給至凹版1 像劑之膜厚。 所形成之清潔 劑槽，藉由無 內。框體21 至凹版1。框 被供給至凹版 液體顯像劑是 22內，藉由 式之回收槽。 顏料或染料等 體中。各色之 2b及帶電裝 於凹版1移動 箭頭T方向。 置2之間的間 式，與凹版1 戶斤產生之圖案 -12- (9) (9)200804907 首先’如第6圖所示般，控制裝置5以一定速度使平 台4 (在此無圖式）移動而使帶電裝置3相對於凹版〗以 一定速度相對性移動至箭頭T方向，使凹版1之高電阻層 14之表面14a帶電。此時，以凹版1之共通電極12及所 有圖案電極13成爲接地電位（〇[V])之方式般，切換電 源裝置6之開關1 5。 依此，由於帶電，被賦予至圖案電極1 3之電荷流動 於接地電位，其結果，如圖式般，僅有高電阻層14之表 面14a帶電。本實施形態中，藉由對待電導線3b施加例 如+6[kv]左右之直流電壓，對帶電外殼3a及柵極電極3c 施加例如+3 5 0 [v]左右之直流電壓，使凹版1之高電阻層 1 4之表面141>帶電至例如+400[¥]。 再者，此時，藉由平台4所保持之顯像裝置2r、2g、 2b也一起移動至箭頭T方向，與凹版1之帶電動作並行 將各個顏色之液體顯像劑供給至凹版1而顯像所對應之顏 色之圖案電極13。換言之，相對於藉由帶電裝置3所帶電 之凹版1的部份，順序成爲各色之顯像。 第7圖是表示用以說明與上述帶電動作並行而所實施 之第1色（紅色）之顯像動作的動作說明圖。於將紅色之 液體顯像劑供給至紅色用之圖案電極1 3 r之時，將凹版1 之多數條之圖案電極1 3 (參照第4圖）中相當於紅色畫素 之圖案電極13r切換至接地電位（0[V] ) ( L位準），且 將所剩之顏色之圖案電極13g、13b切換至電源電位（本 實施形態中爲+200 [V] )( Η位準）。具體而言，於形成 -13- 200804907 (10) 顯示面板之3色螢光體層之時，因交互並列形成紅色、綠 色、藍色之畫素，故如第7圖所示般，可以對多數圖案電 極13中每隔兩個之圖案電極13供給L位準之電壓。 在該狀態中，顯像裝置2r之顯像滾輪23朝圖中反時 鐘旋轉方向旋轉，被收容於框體21內之紅色液體顯像劑 D附著於滾輪周面而捲起。此時，顯像滾輪23是以該周 面速度成爲藉由平台4所產生之顯像裝置2r之移動速度 的2至5倍程度的速度旋轉。藉由滾輪周面而捲起之液體 顯像劑D是在經一定之間隙而相向之凹版1之間擴展，形 成液體顯像劑D塡滿在兩者間的夾輥26。 然後，當對顯像滾輪23供給+200[v]左右之直流偏壓 電壓時，則在夾輥26內形成自顯像滾輪23朝向紅色圖案 電極13r之電場，形成從帶電有+400[v]之高電阻層14之 表面14 a朝向顯像滾輪2 3之電場，並且形成自切換成 + 400[V]之Η位準之其他顏色（此時，爲綠色和藍色）之 圖案電極13g、13b朝向顯像滾輪23之電場。 依此，在夾輥2 6內之液體顯像劑中游動之帶有正電 之顯像劑粒子，藉由從電阻層1 4之表面1 4a朝向顯像滾 輪23之電場作用，自高電阻層14之表面14a收接反發 力，藉由自綠色圖案電極13g及藍色圖案電極13b朝向顯 像滾輪23之電場作用自各圖案電極13g、13b接受反發 力，藉由自顯像滾輪23朝向紅色圖案電極1 3r之電場作 用，僅拉到紅色之圖案電極1 3 r。 其結果，如第7圖所示般，僅在底部具有紅色圖案電 -14- 200804907 (11) 極1 3 ir之凹部1 4b內，以比較高之濃度集中紅色顯像劑粒 子而形成紅色圖案像27。並且，此時所顯像之圖案像27 之形狀因成爲依存於高電阻層14之凹部14b之形狀，故 成爲與高電阻層1 4大略相同厚度之多數整列的矩形圖 ^ 案。即是，與對應顏色之圖案電極1 3 r之矩形部份1 3 a大 略相同之尺寸之矩形圖案像27整列配置成矩陣狀。 經顯像滾輪23顯像紅色圖案像27之後，自經夾輥26 φ 而濕潤之凹版1之表面除去剩餘之液體顯像劑D。此時， 上述之顯像時之各圖案電極1 3之電位維持該原樣，該顯 像裝置2r之擠壓滾輪24朝圖中時鐘方向旋轉，於擠壓滾 輪24被供給著+200[V]左右之直流偏壓電壓。本實施形態 中，擠壓滾輪24是以該周面之速度成爲顯像裝置2r之移 動速度之1至3倍左右之速度朝逆方向旋轉。 存在於凹版1和擠壓滾輪24之間的液體顯像劑D藉 由通過之前的顯像滾輪23，顯像劑粒子之濃度變薄。在該 • 變薄之剩餘液體顯像劑，作用自擠壓滾輪24朝向紅色用 之圖案電極13r之電場、自高電阻層14之表面14a朝向 ^ 擠壓滾輪24之電場，及自綠色用及藍色用之圖案電極 13g、13b朝向擠壓滾輪24之電場。因此，浮游剩餘之液 體顯像劑中之少量之顯像劑粒子僅被拉至紅色用之圖案電 極13r。當然，因在已經被拉至圖案電極13r之紅色的顯 像劑粒子作用推壓至圖案電極1 3 r之方向的電場，故不用 擔心剥離。 由於擠壓滾輪24旋轉至與凹版1之相對性移動方向 -15- (12) (12)200804907 相反的方向，流體性之作用波及存在於凹版1和擠壓滾輪 24之間的剩餘液體顯像劑，以剩餘之液體顯像劑傳達擠壓 滾輪24之周面而被捲入至框體22內之方式被回收。此 時，藉由上述電場之作用推彈於自凹版1離開之方向之剩 餘顯像劑粒子，也藉由擠壓滾輪24之旋轉與剩餘之絕緣 性液體同時被回收至框體22內。即是，在通過擠壓滾輪 24之凹版1之表面。成爲僅有大槪液體顯像劑之絕緣性液 體濕潤之狀態。 並且，附著於擠壓滾輪24之周面而回收之剩餘的液 體顯像劑雖然設爲朝向凹版1而移動，但是藉由被推壓至 擠壓滾輪24周面之清潔板25而掃落，被回收至框體22 內。如此一來，被收集至框體22內之剩餘之液體顯像 劑，藉由無圖示之泵回收至回收槽。 之後，如第8圖所示般，藉由綠色用之顯像裝置2g， 成爲相對於第2色之顯像動作。該第2色之顯像動作也與 第1色之顯像時相同，與帶電動作及第1色之顯像動作一 起被實行。基本動作因與上述紅色顯像時大略相同，故在 此僅針對不同之部份簡單說明。 首先，在凹版1之顯像裝置2g相向之區域中，對於 鄰接於上述紅色用之圖案電極13r之綠色用圖案電極 1 3 g ’賦予L位準之接地電壓（〇 [ V])，對其他顏色之圖 案電極13r、13b賦予Η位準之電源電壓（+200[V])。再 者’對顯像滾輪23及擠壓滾輪24賦予+200[V]左右之直 流偏壓電壓。 -16 - 200804907 (13) 在該狀態中，當旋轉顯像滾輪23時，顯像滾輪23與 凹版1相向之部份，形成夾輥26。然後，在該夾輥26 內，自顯像滾輪23形成朝向綠色用之圖案電極i3g之電 場，在綠色液體顯像劑中游動之顯像劑粒子凝聚在具有圖 . 案電極13g之凹部14b內，形成綠色圖案像28。此時，自 高電阻層14之表面14a形成朝向顯像滾輪23之電場，並 且，自高電阻層1 4之表面1 4a形成朝向顯像滾輪23之電 φ 場，並且自與顯像無關係之其他顏色之圖案電極13r、13b 形成朝向顯像滾輪23之電場，防止綠色顯像劑粒子附著 於凹版1之其他部位。 但是，當在已收集紅色顯像劑粒子之凹部1 4b中，自 紅色用之圖案電極1 3 r形成朝向顯像滾輪2 3之強電場 時，需擔心顯像劑粒子自凹部1 4b剥離時，亦可以將賦予 至紅色用之圖案電極13r之電壓設定成接近賦予至顯像滾 輪2 3的電壓之値。 # 並且，之後經藍色用之顯像裝置2b而供給藍色液體 顯像劑至凹版1，同樣，在具有藍色用之圖案電極1 3b之 _ 高電阻層1 4之凹部1 4b凝聚藍色之顯像劑粒子而形成藍 色之圖案像29。藉由該藍色用之顯像裝置2b之顯像動作 也與上述各色之顯像動左相同，與含有帶電動作之其他製 程一起被實施。 如上述般完成所有顏色之顯像後，如第9圖所示般， 保持各顏色之圖案像27、28、29之凹版1和絕緣性之被 轉印媒體31接近而相向配置，所有之圖案像27、28、29 -17- (14) (14)200804907 一起被轉印至被轉印媒體3〗。此時，凹版1和被轉印媒體 1經微小間隙相向，以在兩者間浸濕液體顯像劑之絕緣性 液體爲佳。 被轉印媒體31具有與形成凹版〗之圖案像27、28、 2 9之側相向之對向面3 1 a，在該對向面3丨a側具有電極層 3 2。被轉印媒體3 1爲絕緣性基板，例如藉由藍玻璃、石 英玻璃材料，或聚醯亞胺、聚醯胺、丙烯酸、環氧樹脂、 胺甲酸乙脂、聚酯、酚等之樹脂材料所形成。在本實施形 態中’被轉印媒體3 1爲顯示面板之前面基板，爲具有〇 · 5 [mm]至3.0[mm]左右之厚度的矩形板狀。 電極層32是與凹版1相向在轉印圖案27、28、29之 時點’必須藉由具有表面電阻爲1 0 8 [ Ω / □]以下之導電性 的材料而形成’並且，必須藉由藉由加熱蒸發而消失之材 料、藉由加熱昇華而消失之材料，或是藉由加熱而分解成 爲高電阻化之材料而形成。當作滿足該兩個條件之材料， 則有界面活性劑型帶電防止劑、高分子系持續性帶電防止 劑、共軛系導電性聚合物。即是，本實施形態之電極層3 2 是藉由含有界電活性劑型帶電防止劑、高分子系持續性帶 電防止劑及共軛系導電性聚合物中之至少一種的材料所形 成。 當作界面活性劑帶電防止劑，則有例如N，N - ( 2 -氫氧 基乙基）烷胺、N，N- ( 2-氫氧基乙基）醯胺、聚甘油烷胺 之脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚甘油脂肪酸酯、聚甘油脂 肪酸脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐脂肪酸酯、山梨醇酐脂 -18- (15) 200804907 肪酸酯、聚氧乙烯脂肪酸乙醇乙醚、烷基磺酸鹽、烷基苯 黃酸鹽、烷基硫酸鹽、四烷基氨鹽、三烷基苯氨鹽、烷基 甜菜鹼、咪唑啉型兩性介面活性劑等。例如，烷基黃酸鹽 脂肪酸酯具有下式（1)所示之構造，四烷基氨鹽具有例 如以下（2 )所示之構造。

烷基黃酸鹽脂肪酸酯（單酯） OH

…⑴ 四烷基氨鹽 (月桂基三甲基氨氯化物） CH3

I …⑵ C! C1 2h25-N-CH3

ch3 再者，作爲高分子系持續性帶電防止劑，則有例如聚 氧化烯、聚乙醚酯醯胺、甲氧基乙烯乙二醇（甲基）丙烯 酸脂共聚合體、聚乙酯醯亞胺、環氧乙烷-表滷代醇共聚 合體等之聚乙醚類、含有4級氨鹽基（甲基）丙烯酸共聚 合體、含有4級氨鹽基之丙烯酸甲酸共聚合體，含有4級 氨鹽基之馬來醯亞胺共聚合體等之具有4級氨鹽基的聚合 物類、聚苯磺酸鈉、炭甜菜鹼接枝聚合物體、高分子電荷 移動型結合體等。 (16) 200804907 例如，含有4級氨鹽基（甲基）丙烯酸共聚合體是具 有下述（3 )之構造。 含有4級氨鹽基（甲基）丙烯酸共聚合體 CH3 乂

COO-CH2 - CH2 - c2h5kH3 Θ C3H -0-CH3 …⑶ ο2η5

並且，當作共軛系導電性聚合物，則有聚乙炔、聚 (亞苯基）、聚·咯、聚塞吩、聚苯胺、聚亞苯基硫醚、 聚（亞苯基乙炔撐）、聚（亞苯基乙烯）、聚並苯等。 一般爲了提高該些高分子之導電性，賦予安定之性 質，將摻雜物摻雜於導電性高分子中爲眾知。當將適當之 摻雜物摻雜於該些高分子時，該一部份被氧化，或還原， 持有Ρ型、η型之半導體特性。 當作摻雜物，則有 I2Br2、Cl2、ICI、ICI3、Ibr、IF 等之鹵素類、BF3、PF5、AsF5、SbF6、S〇3、BBr5、 BF4 、PF6 、AsF6 、SbFs 、Cl〇4 等之易斯酸（Lewis acid )類、硫酸、硝酸、鹽酸、過氯酸、氟化氫酸、 FS03H、CFS03H 等之質子酸類、FeC13、MoC15、WC15、 SnCl4、MoF5、FeOCl、RuF5、TaBr5、Snl4、LnCL3 ( Ln = 鑭金屬）等之遷移金屬鹵化物類、TCNQ、DDQ、TCNE等 之有機化合物、Li、Na、K、Cs、Rb等之鹼金屬類、 NEt4+、NnBu4 +等之氨離子類、Eu等之鑭金屬類、Ρ卜啉、 各種色素、烷基磺酸鹽、烷基苯磺酸鹽、PPS般之高分子 型之摻雜物。 -20- 200804907 (17) 再者，由於導電性高分子內持有電性偏移，故也可以 使用發現導電性之自己摻雜型之導電性高分子等。 例如，聚苯胺具有下式（4)之構造。 ^ 聚苯胺 Η

…（4) 例如，聚苯胺具有下式（5 )所示之構造。

PEDOT/PSS 3，4-聚二氧乙基塞吩/聚乙烯硫酸鹽共聚合體

-21- (18) 200804907 例如，聚·咯具有下式（6 )所示之構造。 可溶性D必咯及摻雜（TCNA )

SSPY

例如，當作自己摻雜型導電性高分子之聚磺化塞吩是 具有下式（7 )之構造。 聚磺化塞吩 (CH2)-S03-

…⑺ 於將被保持在凹版1之圖案像27、28、29轉印至具 有持有如此功能之電極層32的被轉印媒體3 1時，首先定 位如第9圖所示般接近而相向配置之凹版1和被轉印媒體 31。此時，本實施形態因不需要在各色圖案像27、28、29 間定位，故可執行高精度之定位。換言之，各色圖案像 27、28、29因成爲略依存於凹版1之高電阻層14之凹部 1 4b形狀的形狀，故本實施形態中無須執行各色間之定 位。 並且，將凹版1之圖案像27、28、29轉印至被轉印 -22- 200804907 (19) 媒體31之轉印裝置30，除上述電極層32之外，具有將一 定之電壓供給至該電極層3 2之電源裝置3 3。 於轉印各色圖案像27、28、29之時，則如第9圖所 示般，在轉印裝置3 0中，於使凹版1和被轉印媒體3 1對 蛛 向之狀態下，將L位準之電壓（〇[V])供給至凹版1之所 有圖案電極13，經電源裝置33以例如-200 [V]左右之偏壓 電壓施加至對向電極3 2。依此，形成自所有圖案電極1 3 φ 朝向對向電極322之比較強之轉印電場。如第1 〇圖所示 般，被保持在凹版1之所有圖案像27、28、29 —起被轉 印至被轉印媒體3 1之表面上。 之後，如第1 1圖所示般將轉印有圖案像27、28、29 配置在燒結爐40內，加熱位於被轉印媒體3 1之對向面 31a之電極層32，分解、蒸發、或是昇華而予以高電阻 化。在此所稱之”分解”是指由於構成電極層32之導電性 有機成分藉由加熱超過物質固有熱分解溫度，使得有機成 φ 分氣化及無機化，殘留極微量之殘渣之狀態。再者，高電 阻化是指藉由構成電極層3 2之導電性有機成分加熱，而 產生分解、蒸發或是昇華之結果’無法維持導電性，引起 减量（消失），或是構造變化’電極層32之電阻値大槪 成爲1010[ Ω /□]以上之電阻値。 例如，於藉由以界面活性劑行帶電防止劑之山梨醇酐 月桂酸酯（Sorbitanlaurate )爲主成分之導電化劑而形成 電極層3 2之時，藉由將電極層以大約3 00 [ °C ]之高溫加熱 大約60分，山梨醇酐月桂酸酯則蒸發消失，電極層32爲 -23- 200804907 (20) 高電阻化。 例如，於藉由以共軛系導電性聚合物之聚苯胺爲主成 分之導電化劑而形成電極層32之時，藉由將電極層以大 約5 0 0 [ °C ]之高溫加熱大約6 〇分，含有4級氨鹽基（甲 ^ 基）之山梨醇酐月桂酸酯則蒸發消失，電極層32爲高電 阻化。 例如，於藉由以高分子系持續性帶電防止劑之含有4 φ 級氨基（甲基）丙烯酸共聚合體爲主成分之導電化劑而形 成電極層3 2之時，藉由將電極層32以大約450 [°C ]之高 溫加熱大約60分，含有4級氨基（甲基）丙烯酸共聚合 體則分解，電極層32之導電性則高電阻化。 例如，於藉由以共軛系導電性聚合物之 PEDOT/PSS (聚二氧乙基塞吩）爲主成分之導電化劑形成電極層32 之時，將電極層32藉由以大約520[°C ]之高溫加熱大約60 分，PEDOT/PSS (聚二氧乙基塞吩）貝[J分解，電極層32 # 之導電性爲高電阻化。 例如，於藉由以共軛系導電性聚合物爲主成分之導電 _ 化劑而形成電極層32之時，將電極層32以大約5 00 [°C ] 之高溫加熱大約60分，聚苯胺則分解，電極層3 2之導電 性爲高電阻化。 例如，於藉由以界面活性劑帶電防止劑之十二烷基苯 磺酸鈉爲主成分之導電化劑而形成電極層32之時，將電 極層3 2以大約600 [°C ]之高溫加熱大約60分，十二烷基 苯磺酸鈉則分解，電極層32爲高電阻化。 -24- (21) 200804907 即是，當採用本實施形態之圖案形成方法時，利用事 先形成在被轉印媒體31之對向面31a上之電極層32，將 圖案像27、28、29自凹版1 一起轉印至被轉印媒體3 1側 之後，藉由使不需要之電極層32消失或高電阻化，可以 . 如第1 2圖所示般，取得在被轉印媒體3 1之對向面3 1 a上 ^ 具有圖案像27、28、29之構造物。例如，本實施形態是 可以藉由採用上述之方法，形成在玻璃基板之內面具有3 % 色螢光體層之構造物。 尤其，當藉由本實施形態之時，因設置在被轉印媒體 31與凹版1相向之對向面3 1 a側上的電極層3 2和凹版1 之圖案電極1 3之間形成轉印電場，故比起在自被轉印媒 體31之凹版1分離之背面側配置電極之時，可以不用提 升電壓，增強轉印電場，能夠安定轉印。然後，使用後之 電極層3 2因可以如上數般消失或高電阻化，故不會殘留 於被轉印媒體3 1而產生不良狀況。 • 再者，當藉由本實施形態時，因藉由控制供給至設置 在凹版1之多數圖案電極12上之電壓，可以實施顯像及 . 轉印製程，故不需要使用電暈帶電器執行多數次旋轉動 作，能夠安定轉印。 再者，當藉由本實施形態時，可以提供適合於比較大 型之平面型顯示裝置之顯示面板之製造。 並且，當藉由本實施形態時，可以形成依存於凹版1 之高電阻層14之後度的厚度之圖案27、28、29，適合於 形成比較厚圖案。 -25- (22) (22)200804907 以下，針對上述電極層3 2之功能，舉出幾個例子， 更詳細予以說明。 [實施例1] 如第13圖所示般，準備厚度2.8[mm]之高歪點玻璃 31以當作絕緣性之被轉印媒體，以棒桿塗佈器將Nagase Chemtex公司所製之 Denatron G-l 15S (商標）直接塗佈 在該玻璃板31之表面31a並予以乾燥，形成具有0.2[/zm] 膜厚之電極層32。使用Siltex公司所製之表面電阻測量 計（SLT-YKH4 101 )測量該電極層32之電阻値，該電阻 値表示 6·3χ105[Ω /□]。 然後，在該構造物之電極層32表面形成粒子徑4微 米之螢光體調色劑層以當作測試用之爲粒子層之後，投入 至燒結爐4〇以大約5 00 [°C ]之溫度燒結1[小時]，測量構 造物表面之電阻値。其結果，超過電阻値之測量範圍無法 測量。即是，此時之電阻値被推測爲2χ109[ Ω /□]以上， 意味著電極層32消失之意。 [實施例2] 如第14圖所示般，準備厚度2.8[mm]之高歪點玻璃 3 1以當作絕緣型之被轉印媒體’在該玻璃板3 1之表面 3 1a形成大約5[/z m]之黑矩陣層42之黏膜，以棒桿塗佈 器塗佈 Nagase Chemtex 公司所製之 Denatron G-115S (商 標）並使乾燥，形成具有0.18[//m]膜厚之電極層32。此 -26- (23) (23)200804907 時，也使用 Siltex公司所製之表面電阻測量計（SLT_ YKH4101 )測量該電極層32之電阻値，該電阻値表示4.2 χ104[Ω /□]。 然後，在該構造物之電極層32表面形成粒子徑4微 米之螢光體調色劑層以當作測試用之爲粒子層之後，投入 至燒結爐40以大約500 [°C ]之溫度燒結1 [小時]，測量構 造物表面之電阻値。其結果，超過電阻値之測量範圍無法 測量。即是，此時之電阻値被推測爲2χ109[Ω /□]以上， 意味著電極層32消失之意。 [實施例3] 如第15圖所不般’準備厚度2.8[mm]之局歪點玻璃 3 1以當作絕緣型之被轉印媒體，在該玻璃板3 1之表面 3 1a形成大約5[/z m]之黑矩陣層42之黏膜，藉由光刻將 該黏膜予以圖案製造而形成黑矩陣之圖案44，以棒桿塗佈 器將 Nagase Chemtex 公司所製之 Denatron G-l 15S (商 標）塗佈在層144上並使乾燥，形成具有0.19 [// m]膜厚 之電極層32。此時，也使用 Siltex公司所製之表面電阻 測量計（SLT-YKH4101 )測量該電極層32之電阻値，該 電阻値表示8·8χ104[Ω /□]。 然後，在該構造物之電極層32表面形成粒子徑4微 米之螢光體調色劑層以當作測試用之爲粒子層之後，投入 至燒結爐40以大約500 [°C ]之溫度燒結1 [小時]，測量構 造物表面之電阻値。其結果，超過電阻値之測量範圍無法 -27- (24) 200804907 測量。即是’此時之電阻値被推測爲2χ1〇9[ Ω /口]以上 意味著電極層32消失之意。 於製造液晶顯示器（LED )、電漿顯示器（PDP ) 場發射顯示器（FED )、表面傳導型電子放射顯示 ^ ( SED )等之顯示裝置之前方面板之時，形成在玻璃板 表面31a上之構造物，除上述黑矩陣圖案44之外，有 阻作成材料、過濾材料、螢光體材料等。即是，電極層 φ 是如上述實施例1般，即使於形成該該構造物之前直接 成在玻璃板3 1之表面3 1 a，亦可以如實施例2或實施例 般，即使在任一場合時，皆藉由加熱而消失。 其他，如第16圖所示之第4實施例般，首先，在 璃板31之表面31a上形成電極層32，在該上方形成黑 陣層42而形成微粒子層，之後，亦可以燒結電極層3 2 使消失。再者，如第17圖所示之第5實施例般，在玻 板31之表面31a上形成電極層32，在該上方，形成黑 φ 陣層，並予以圖案製作，在該圖案製作44之後形成爲 子層，並且之後，燒結電極層3 2而使其消失。 接著，參照第1 8圖至第20圖，針對該發明之另外 施形態所涉及之圖案形成方法予以說明。並且’該圖案 ^ 成方法是與使用上述凹版1之圖案形成方法相同’使圖 27、28、29轉印至被轉媒體31之後的電極層31消失或 電阻化之點爲一致，但是在不使用凹版1直接對被轉印 體形成圖案之點則爲不同。 該方法首先是如第1 8圖所示般，在當作被轉印媒 器 3 1 電 3 2 形 玻 矩 而 璃 矩 粒 實 形 案 高 媒 體 -28- (25) (25)200804907 之玻璃板31之表面3 1 a形成用以形成圖案之光阻層5 1。 然後，如第19圖所示般，在該光阻層51上重疊形成上述 之電極層32。並且，如第20圖所示般，在光阻層之部位 使該電極層32離地，形成圖案狀之電極層42a。 之後’在此經無圖式之供給構件自第20圖之構造物 5 0之比面側供給液體顯像劑，在供給構件和電極層42a之 間形成電場。依此，液體顯像劑中帶電的顯像劑粒子在絕 緣性液體中游動被拉至電極層4 2 a，形成依存於電極層 42a之形狀的圖案像。 並且，之後，可以將具有上述圖案像之顯像後之玻璃 板31投入至使用例如第11圖所說明之燒結爐40內，藉 由加熱使電極層42a消失或高電阻化，取得目標物。 如上述般，即使在本實施形態中，亦可以達到與上述 實施形態相同之效果，並且不用使用凹板1亦可以在絕緣 性基板上形成微細之圖案。依此，可以構成更簡單之裝置 構成，可以降低面板之製造成本。 並且，該發明並不限定於上述實施形態，只實施階段 在不脫離該主旨之範圍，可以將構成要素予以變形而予以 具體化。再者，可以藉由揭示於上述實施形態之形態的多 數構成要素之適當組合，形成各種發明。例如，即使自上 述實施形態所示之全構成要素刪除幾個構成要素亦可。並 且，即使適當組合在不同實施形態中所提之構成要素亦 可0 例如，上述實施形態中，雖然針對藉由加熱直接或間 -29- (26) 200804907 接性形成在被轉印媒體31之對向面3 1 a側上之電極 而使消失或高電阻化之時予以說明，但是並不限定友 即使藉由照射光使其消失或高電阻化之材料，而形届 層32亦可。 再者，上述實施形態中，雖然針對使顯像劑粒子 電而使圖案形成裝置予以動作之情形說明，但是並不 於此，即使使所有構成逆極性帶電而予以動作亦可。 再者，上述實施形態中，雖然僅針對本發明視用 面型畫像顯示裝置之前面基板形成螢光體層或彩色濾 之裝置的情形予以說明，但是本發明當然可以寬廣利 他技術領域之製造裝置。 例如，若變更液體顯像劑之組成時，亦可以將本 適用於1C標籤等中之導電圖案的裝置。此時，若由 平均粒徑〇.3[/zm]之樹脂粒子，和附著於該表面之平 徑0·02[ // m]之金屬粒子（例如銅、鈀、銀等）、金 般之電荷控制劑構成液體顯像劑時，亦可以藉由與上 施形態相同之手法，在例如矽晶圓上形成藉由顯像劑 生之配像圖案。一般而言，因僅以該顯像劑要形成具 分之導電性並不容易，故於圖案形成後以上述金屬微 爲核心施予鍍層爲佳。如此一來，亦可執行導電性電 電容器、電阻之圖案製作。 再者，在上實施形態中，雖然針對設置部份性覆 版1之圖案電極13的厚度比較高之電阻層14而藉由 1 4b之深度形成厚度比較厚之圖案時予以說明，但是 層32 此， 電極 帶正 限定 在平 光片 用其 發明 例如 均例 屬皂 述實 所產 有充 粒子 路、 蓋凹 凹部 並不 -30- (27) (27)200804907 限定於此，凹部1 4於發明中並不是必須之構成。 並且，上實施形態雖然是藉由加熱電極層3 2分解而 高電阻化，藉由加熱使其蒸發或昇華，但是除此之外即使 使用電漿處理裝置除去電極層32亦可。 電漿處理裝置是將氧氣體和氟系氣體之混合氣體導入 至排氣到l(T4[Pa]左右之真空槽內，以20[秒]間執行藉由 電漿除去電極層3 2之處理。雖然以執行氧氣體和氟系氣 體之混合體的電漿處理以當作電漿處理，但是除此之外’ 可舉出因應除去對象之樹脂，各個氟氣、氧氣、氬氣、氯 氣等之氣體單體之電漿處理也有效果，再者，即使藉由適 當組合該些氣體之混合氣體所產生之電漿處理也有相同之 效果。 〔產業上之利用可行性〕 當藉由該發明形成方法時，則可以對絕緣性（被轉印 媒體）有效率轉印顯像劑，提高轉印性。 【圖式簡單說明】 第1圖是表示該發明之實施形態所涉及之圖案形成裝 置之重要部份之構成的槪略圖。 第2圖是表示第1圖之圖案形成裝置所使用之凹版的 部份放大剖面圖。 第3圖是用以說明第2圖之凹版之一個凹部構造的部 份放大斜視圖。 31 - (28) (28)200804907 第4圖是部份性表示設置在第2圖之凹版的多數條圖 案電極的槪略圖。 第5圖是用以說明切換控制賦予至第4圖之圖案電極 之電壓的電源裝置之構造的圖式。 第6圖是用以說明相對於第2圖之凹版的帶電製程的 動作說明圖。 第7圖是用以說明相對於第2圖之凹版的第1色顯像 製程的動作說明圖。 第8圖是用以說明相對於第2圖之凹版的第2色顯像 製程的動作說明圖。 第9圖是用以說明自完成顯像製程之凹版轉印圖案像 至被轉印媒體之轉印製程的動作說明圖。 第1 0圖是表示藉由第9圖之轉印製程將圖案像轉印 至被轉印媒體之圖式。 第1 1圖是表示將轉印圖案像之被轉印媒體投入至燒 結爐之狀態的槪略圖。 第1 2圖是表示經第1 1圖之燒結工程的被轉印媒體之 圖式。 第13圖是用以說明第1實施例之圖式。 第1 4圖是用以說明第3實施例之圖式。 第1 5圖是用以說明第3實施例之圖式。 第16圖是用以說明第4實施例之圖式。 第1 7圖是用以說明第5實施例之圖式。 第1 8圖是用以說明另外實施形態所涉及之圖案形成 -32- (29) 200804907 方法之圖式。 第1 9圖是用以說明另外實施形態所涉及之圖案形成 方法的圖式。 第20圖是用以說明另外實施形態所涉及之圖案形成 . 方法的圖式。 【主要元件符號說明】 φ 1 :凹版 2ir、2g、2b :顯像裝置 3:帶電裝置 4 :平台 5 :控制裝置 6 :電源裝置 1 〇 :圖案形成裝置 1 1 :基板 φ 1 2 :共通電極 1 3 :圖案電極 1 4 :高電阻層 1 4 a :高電阻層之表面 14b :凹部 1 5 :開關 21 :框體 22 :框體 23 :顯像滾輪 -33- 200804907 (30) 24 :擠壓滾輪 25 :清潔板 2 6 :夾輥 27 :圖案像 2 8 ·圖案像 霉 2 9 :圖案像 3 0 :轉印裝置 φ 3 1 :被轉印媒體 3 2 :電極層 3 1 a :對向面 3 3 :電源裝置 40 :燒結爐 42 :黑矩陣層 4 2 a :電極層 44 :圖案 • 50 :構造物 5 1 :光阻層 -34-

Claims (1)

1. 200804907 (1) 十、申請專利範圍 1·一種圖案形成方法，其特徵爲： 具有： 在圖像保持體形成藉由帶電之顯像劑所產生之圖案像 的顯像工程； 截 將在與上述圖像保持體對向之對向面側具有電極層的 被轉印媒體，對向配置於上述圖像保持體，在上述圖像保 Φ 持體和上述電極層之間形成電場而將上述圖案像轉印至上 述被轉印媒體之轉印工程；和 使上述電極層消失之工程。 2 .如申請專利範圍第1項所記載之圖案形成方法，其 中，上述消失工程中，藉由加熱使上述電極層蒸發。 3 ·如申請專利範圍第1項所記載之圖案形成方法，其 中，上述消失工程中，藉由加熱使上述電極層昇華。 4.一種圖案形成方法，其特徵爲： • 具有： 在圖像保持體形成藉由帶電之顯像劑所產生之圖案像 的顯像工程； 將在與上述圖像保持體對向之對向面側具有電極層的 被轉印媒體，對向配置於上述圖像保持體，在上述圖像保 持體和上述電極層之間形成電場而將上述圖案像轉印至上 述被轉印媒體之轉印工程；和 加熱上述電極層使予以高電阻化之工程。 5 .如申請專利範圍第2至4項中之任一項所記載之圖 -35- 200804907 (2) 案形成方法，其中，上述電極層是藉由含有界面活性劑型 帶電防止劑、高分子系持續性帶電防止劑及共軛系導電性 聚合物中之至少一種的材料所形成。 6 . —種圖案形成方法，其特徵爲： 具有： # 在絕緣性基板之表面側形成圖案狀之電極層的電極層 m 形成工程； φ 經由對向配置於上述絕緣性基板之表面側的供給構件 而將帶電之顯像劑供給至上述絕緣性基板，在上述供給構 件和上述電極層之間形成電場而在上述電極層集中上述顯 像劑，形成圖案像之顯像工程；和 使上述電極層消失之工程。 7·如申請專利範圍第6項所記載之圖案形成方法，其 中，上述消失工程中，藉由加熱使上述電極層蒸發。 8·如申請專利範圍第6項所記載之圖案形成方法，其 φ 中，上述消失工程中，藉由加熱使上述電極層昇華。 9.一種圖案形成方法，其特徵爲： 具有： η 在絕緣性基板之表面側形成圖案狀之電極層的電極層 形成工程； 經由對向配置於上述絕緣性基板之表面側的供給構件 而將帶電之顯像劑供給至上述絕緣性基板，在上述供給構 件和上述電極層之間形成電場而在上述電極層集中上述顯 像劑，形成圖案像之顯像工程；和 -36- 200804907 (3) 加熱上述電極層而使予以高電阻化之工程。 1 〇·如申請專利範圍第7至9項中之任一項所記載之 圖案形成方法，其中，上述電極層是藉由含有界面活性劑 型帶電防止劑、高分子系持續性帶電防止劑及共軛系導電 性聚合物中之至少一種的材料所形成。

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