TW200532399A - Exposure device and positioning method - Google Patents

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Description

200532399 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於曝光裝置及對位方法 【先前技術】
』印刷電路板近年來進行小型化及精細化，和半導體 製造之情況—樣採用使用曝光裝置在基板上形成電路等 之光㈣法製造。即，利用曝光裝置在塗抹了光阻劑等 感光材料之基板表面印上㈣之圖型，然後利用餘刻製 程在基板上形成圖型，製造印刷電路板。 …在本曝光裝置，St 了圖型原4之原版上使用樹脂 缚膜或破璃等光罩曝光時’該基板和光罩之對位在得到 高精度之產品上係重要。 向’一般在光罩和基板側預先形成對位所需之記 ° 依如、5己號對位。一般藉著在光罩和基板側各自設 置禝數記號，求該記號之重心後令該重心一致，而進行 對位。 【發明内容】 [發明要解決之課題] 可是’印刷電路板及光罩因溫度或濕度及其他之製 矛g 卜 ^ 之原因，可能發生伸縮或變形。在上述之依據重心 2099-6859-pp 5 200532399 之基板和光罩之對位，精度不充分。尤其在近年來之$ 密度圖型之印刷電路板之製造’精度問題變得嚴重。。 本《明之目的在於解決上述之習知技術之問題。 [解決課題之手段] ，為達成上述之目的，本發明之曝光裝置，將係被曝 光對象之印刷電路板和晝了應曝光之圖型之光罩對I 後’照射曝光光，將該圖型曝光於印刷基板上，其特徵 在於包括.稷數基板記號，設於該印刷電路板之複數位 置P點，用以將該印刷電路板和該光罩對位丨複數光罩 π己號和4複數基板記號各自對應，設於該光罩；對位 裝置，令該印刷電路板和光罩相對的移動，進行該對位； 記號债測裝i，偵測在該對&時之| ρ ,點之該各基板記 號和對應之光軍記號之位置之偏差Dp;最大值偵測裝 置’偵測在各p點之該偏差Dp之中之最大值㈣；重複 裝置，重複該對位N次’偵測N個各次之最大值MDp，·最 小值偵測裝置，偵測該N個最大值MDp之中之最小值 MDmin ;判別裝置，判別該最小值MDmin是否是既定值以 下；以及判定I置，若利用該判別之I置判㈣既定值 以下，判定得到該MDmin之第n次之對位位置為最適當 之對位位置。 該Ν次之對位係實際進行也可，但是利用計算求該
2099-6859-PF 6 200532399 基板記號和光1 4咕 模擬進行也可。利用 之對位後，可偵測偏差 尤罩圮號之位置後，以 本模擬，進行自皇 目數千次至數萬次 最小之位置。 利用該判定之裝置偵測 刷電路板和光罩對準該位置 優異之曝光。 最佳之對位位置後，將該印 ’若在該位置曝光，可進行 [發明之效果] 具有可進行基板和光罩 若依據本發明之曝光裝置 之隶佳之對位之效果。 【實施方式】 以下，依照圖面說明本發明之實施例。 圖1係用以製造印刷電路板之曝光裝置，I塗了光
阻劑之印刷電路板w放置於台板 在XYZ及0方向可移動。 上，利用移動機構2 和基板W相向的設置晝了電路圖型之光罩M，令光 罩Μ和基板W接近或密接，利用來自曝光光源5之曝光 對基板W印上電路圖型。 此外’在圖1在上下方向配設基板w和光罩Μ，但 是未限定如此，係相反也可，或者垂直豎立的配設基板w 和光罩Μ之構造也可。 2099-6859-PF 7 200532399 而令光罩Μ移動也 又，在構造上不令台板3移動 可，此外，令兩者移動也可。 在各自和基板W及光罩Μ對應之位置設置基板記號 1 0和光罩記號20。在本實施例，在ρι、ρ2、ρ3、之 位置設置記號。而’利CCD照相冑4、4偵測在各點h 之基板記號10和光罩記號2〇之偏差“後，實現最佳之 基板W和光罩Μ之對位。
在構造上向運算控制裝置！相CCD照相機 之影像信號，運算控制裝置"空制移動機構2,為了對位 而令台板3移動。 在運算控制裝置1設置偵測裴置7和判別/判定裝 置8,在彳貞測裝置7，彳貞測記號之偏差等’在判別/判^ 衣置8進订判別和判定。们則裝置7和判別/判定裝置谷 之動作將後述。③算控制裝i U測裝S 7以及判別/ 判定裝置8利用電腦等構成。 在圖2 ’如圖（A)所示，設想基板w因變形而只偏移 △之情況。 致 在此^况’如習知技術般令光罩重心和基板重 所不，在P2點只修正3/4Λ。 因此，在若 規格值係未滿3/4△之情況，雖然本印 刷基板W對位後曝光，卻變成不良基板。
2099-6859-PF 200532399 在本發明，在構造上如圖2(B)所示，不進行依據重 心之對位，令基板W和光罩M之位置逐步移動，進行n 次之對位，在各點P1至p4，偵測記號之偏差後，依 照本偵測值決定最佳之位置。 此外，N次之對位以依據計算之模擬進行較好，藉 著利用計算一般進行數千次至數萬次之對位，得到最佳 之對位。 • 以下邊參照圖3邊說明其構造。 〈步驟1 > 最初，進行一次之對位， • 將基板纪號1 0和光罩記 號20設成位於CCD照相機4之視野（以）。 Π 〈步驟2 >
進行基板W和光罩Μ之對位，谓 測在複數位置Ρ1〜ρη 所設置之基板記號1 〇和光罩記號 存其中之最大值MDp(S3)。 現在將對位位置p設為4個 2〇之偏差Dp(S2)。儲 仇置，偵測在p 1、p 2、 P3以及P4之記號1〇和20之偏# 甸差D1、D2、D3以及D4。 如圖5所示，在第1次，若di〜D4々士 ηι U4之中P1點之偏差D1 最大，將其儲存為最大值MD1。 〈步驟3> 重複步驟2 N次（S4)M貞測N個最大值 MDp， 求其
2099-6859-PF 200532399 中之最小值MDpm i n (S5 )。 在圖5所不之例子，在第}次偵測最大值MDi，在 第1次偵測最大值MD卜在第2次读測最大值_，在第 3次彳貞測最大值02,彳貞測N次，在第^次摘測最大值〇4。 求這些最大值_、MD3、MD2、...、_之中之最小值。 現在若第m MD2為最小值，將其债測為最小值 MDpm i η 〇 在偵測裝置7進行這些彳貞^j。 〈步驟4> 在判別/判定裝置8判別3 π θ + _ ι β別疋否是在上所得到之 MDpm in〈既定值（S6)，若係既定括、， 尤夂值以下，判定偵測到該最 小值MDpmin之第η次（在本例兔穿0 l^ 今狀」马弟3次）之對位位置係最 佳位置（S7)。 若不是既定值以下，判定兮甘a ητ ^ χ 、 j义5亥基板W為不良品（S 8 )。 依據以上之構造，進行基板w和光罩M之最佳之對 位。然後，利用移動機構2令台板3移動，令基板“口 光罩Μ位於在該步驟4所得到之最佳位置，在此狀態曝 光。 圖4表示基板記號1 〇位於以光罩記號2 〇為中心之 偏差D之容許範圍（D公差）内之狀態。 在本發明得知，不管在基板W伸長之情況（A)或是
2099-6859-PF 10 200532399 縮短之情況（C)都位於D公差内，又在標準之情況位於大 致公差之中央部，總是可進行最佳之對位。 【圖式簡單說明】 第1圖係表示本發明之一實施例之概略圖。 第2(A)〜（C)圖係表示本發明之一實施例之動作之 說明圖。 • 第3圖係表示本發明之一實施例之動作之流程圖。 第4 (A)〜（C )圖係表示本發明之一實施例之對位狀 態之說明圖。 第5圖係最小值MDpmin偵測法之說明圖。 【主要元件符號說明】 1〜運算控制裝置 φ 2〜移動機構 3〜台板 4〜C C D照相機 5〜曝光光源 6〜快門 7〜偵測裝置 8〜判別/判定裝置 1 0〜基板記號 2 0〜光罩記號 2099-6859-PF 11

Claims (1)

  1. 200532399 十、申請專利範圍： 1 ·—種曝光裝置，將係被曝光對象之印刷φ 者T庙, I路板和 旦丨I曝光之圖型之光罩對位後， +兀尤，將該圖 型曝光於印刷基板上， 其特徵在於包括： 禝數基板記號，設於該印刷電路板之複數位置ρ 點，用以將該印刷電路板和該光罩對位； ❿ 禝數光罩記號，和該複數基板記號各自對應，設於 該光罩； 相對的移動，進 對位裝置，令該印刷電路板和光罩 行該對位； 記號债測裝置，偵測在 貝j在忒對位時之各Ρ點之該各基 板記號和對應之井w 先罩s己唬之位置之偏差Dp; 點之该偏差])P之中 最大值偵測裝置，偵測在各P 之最大值MDp ; 重複裝置，重複該對位N次 值 MDp ; 偵測N個各次之最大 最小值偵測裝 置，偵測該 小值MDm i η ; 個最大值MDp之中之最 下；以及 判別裝置，匈別該最小值 MDmin是否是既定值以 判定裝置， 右利用該判別之裝置判別係既定值以 2099-6859-PF 12 200532399 之第η次之對位位置為最適當之 下’判定得到該MDjnin 對位位置。 1項之曝光裝置，其中，還包 和光罩記號之位置後，以模擬 2 ·如申請專利範圍第 括利用计异求該基板記號 進行該Ν次之對位的裝置。 3·如申請專利範圍第1項之曝光裝置，其中，該對 位裝置將該印刷電路板和光罩對準利㈣判定裝置判定 籲為t佳之對幻立置之位置[在該位置曝光。 ， 4 ·種對位方法，依照設於係被曝光對象之基板之 .複數位置P點之用以對準該基板和晝了應曝光之圖型之 光罩之複數基板記號及和複數基板記號各自對應的設於 該光罩之複數光罩記號對位， 其特徵在於包括下列步驟： 進行该基板和光罩之對位後，偵測那時在各P點之 •该各基板記號和對應之光罩記號之位置之偏差Dp ; 谓測在各p點之該偏差Dp之中之最大值〇p ; 重複該對位N次，偵測N個各次之最大值MDp ; 债測該N個最大值MDp之中之最小值MDmin ; 判別該最小值MDmiη是否是既定值以下；以及 若利用該判別之裝置判別係既定值以下，判定得到 該MDm i η之第η次之對位位置為最適當之對位位置。 2099-6859-PF 13 200532399 5.如申請專利範圍第4項之對位方法， 計算求該基板記號和光罩記號之位置後，以才 次之對位。 其中，利用 擬進行該N
    2099-6859-PF 14
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