TW200529340A - Wire bonding apparatus - Google Patents

Description

200529340 九、發明說明： L贺啊所屬之技術領域】 本發明’係有關邊藉壓電元件使毛細管振 合作業的打線裝置。 仃据 【先前技術】 就藉壓電元件使毛細管振動的打線裝置而言 專利文獻1。該構造係將壓電元件裝入接合臂的乾― 裝部附近’俾在接合臂的軸線方向使毛細管振動。… (專利文獻丨）日本專㈣3245445( 275502號）公報 ]十5〜 【發明内容】 用來使毛細管振動。 ，使壓電元件除了具有振 功此’俾謀求減低接地時 上述習知技術的壓電元件僅 本發明在於提供一打線裝置 動以外，亦具有毛細管接地檢測 的衝擊負載。 ‘、，.解決上述問題，本發明之中請專利範圍第】項之手 線k置，係將壓電元件ρ m "兀件破入接合臂的毛細管安裝部附近， 稭昼電元件驅動電源爽再叙 le動㈣電凡件，俾在接合臂的|t 、、泉方向使毛細管振動，其特徵在於具備： 檢測& ’供檢測於該毛細管下降而接地時自該壓電元 件產生的電壓或電流；以及 接合臂控制電路， 改變來控制該接合臂的 為解決上述問題， 藉该檢測器所檢测出的電壓或電流 下降。 本發明之申請專利範圍第2項，係 5 200529340 方；上述申請專利範 測器檢測_或電流改變:，’ = 電元件驅㈣源。 使咐凡件連接於該壓 為解，夬上述問題，本發明之申# % m 線方法，係將壓★ 觀圍第3項之打 —π '、电疋件裝入接合臂的毛細管安裝部附近， 糟症電疋件驅動電源來驅動該 線方向使毛細管振動，其特徵在於：料接合臂的轴 ::毛細管下降而接地時檢測自該m電元件 力 亥檢測後’控制該接合臂緩慢下降，然後施 ;^ S：電7G件邊使該毛細管振動邊進行接合。 由於除了藉堡電元件驅動電源來驅動壓電元： 細管的功能外’還藉檢測器檢測於毛細管接地 、：的電壓或電流’故可瞬間檢測毛細管已接地，謀求 減低接地時的衝擊負載。 【實施方式】 ^藉第1圖及第2圖說明本發明之打線裝置之一實施形 =插通金屬線2的毛細管3固定於接合臂】的前端。 接二# 1，在毛細官3的安裝部附近形成壓電元件用孔 la，壓電元件用孔1&之二側部形成由薄壁部構成的彈性部 lb、lb。於壓電元件用孔u的後部側（於第】圖中右側）形 成安裝座用孔lc。分別於壓電元件用孔la及安裝座用孔 配設壓電元件4及安裝座5。保持壓電元件4及安裝座^ 於壓電元件用孔la及安裝座用孔lc，又為了施加預壓於 壓電元件4,於接合臂1，在安裝座5的後端側形成螺栓 6 200529340 女I部1 d，預焉用碑 、土用螺栓6螺人於你， 安裝座5。因此，_ 、。表螺栓安裝部Id，俾緊壓 右疑轉預壓用蟋h 座5施加於壓電元 ’、王，預壓即透過安裝 1午4。於此，网、 方向與毛細管3 # + I電元件4配設成其變形 吕3的中心軸線正交， 向伸縮。又，於m w、 並在接合臂1的軸線方 葬單—（a)圖中，符號7係試料。 曰i电70件控制電路1 0控制之且士甘 壓電元件驅動雷调U j之具有某頻率的電壓通過 丁 U而供至 以上係大致盥r务〜"…牛4的配線4a、4a。 八双兴L先别技術】欄所都 厭堂一从 厅載的為知例相同的構造。

堡電70件4的中心線A ? 一接合臂1的中心線B不 致，如弟1(b)圖所示，位於中心 心绐P AA 綠B的上方，或位於中 。線B的下方。又於接合 ^ ,;L . τ _ 7坪11部lb、lb的側面形 =水平方向延伸的肋部le。㈣元件4的配線一 :供㈣電壓或電流的檢測器15連接於接合臂控制電 1 6 ’稭聯動開關1 7切換至麼雷开彼 _ 谈主土电70件驅動電源1 1與檢測 裔1 5。 其次，對其動作加以說明。接合動作藉由接合臂ι於 水平面内的移動及上下作動，使毛細管3於水平面内並在 =下方向移動，由於藉習知的方法進行，故省略其詳細說 明。於接合前，聯動開關17處於將壓電元件4的配線“、 4a連接於檢測器15的狀態。若毛細管3下降而接地接觸 試料7 ’毛細管3即承受反作用力。毛細管3所承受的反 作用力傳至壓電元件4。就壓電元件4的特性而言，若承 党伸縮力，即產生電壓或電流。因此，藉由在毛細管3接 地前以檢測器15觀察壓電元件4的電極間，若毛細管3 7 200529340 接地，檢測器15所檢測出的電壓或電流即改改變。萨兮

電壓或電流改變所產生的信號，使接合臂控制電路〗6控 制接合臂1緩慢下降。 I 亦即，可瞬間檢測毛細管3接地，能減低接地時的衝 擊負載。於接地後，聯動開關17切換至壓電元件驅動電 源11側，此後，如同習知例，藉由壓電元件控制電路 的控制，自壓電元件驅動電源u施加具有某頻率的電壓 2壓電元件4的配線4a、4a。若施加電壓於壓電元件4， 壓電元件4的伸縮所產生的振動即透過接合臂！傳至毛細 吕3。糟傳至此毛細管3的振動能量，使金屬線2與試料 7接合，亦即打線。 白如此，由於壓電元件4除了具有傳達振動至毛細管3 的功犯外，還具有檢測毛細管接地的功能，故可瞬間檢 —名田 产气 4 ^ 已接地’謀求減低接地時的衝擊負載。 【圖式簡單說明】 部第1圖係表示本發明之打線裝置之一實施形態的要 (a)係俯視圖及控制部的方塊圖，（b)係（a)的接合臂的 線方向的縱截面圖。 圖係本發明之打線裝置之一實施形態的要部放大 I體圖。 【主要元件符號說明】 1 ·接合臂 2:金屬線 3 :毛細管 8 200529340 4 :壓電元件 5 :安裝座 6 :預壓用螺栓 7 :試料 10: 壓電元件控制電路 11: 壓電元件驅動電源 15 :檢測器 16: 接合臂控制電路

Claims (1)

1. 200529340 十、申請專利範圍·· 一種打線裝置，係將㈣元件U ^ 安裝部附近，_犀雷分杜舻毹千 口#的毛細官 在接人… 源來.驅動該塵電元件，俾 在接轴線方向使毛細管振動，其特徵在於具備： 才双測态，供檢測於該毛細管 件產生的電壓或電流，·以及了…地日“該塵電元 : 合臂控制電路，藉該檢測器所檢测出的電壓或電流 改k來控制該接合臂的下降。 2.如申請專利_ ,項之打線裝置，其具有開關機 構，在藉該檢測器檢測出電壓或電流改變後，使㈣電元 件連接於該壓電元件驅動電源。 ^ *3.—種打線方法，係將壓電元件裝入接合臂的毛細管 安裝部附近，藉壓電元件驅動電源來驅動該壓電元件，俾 在接合臂的軸線方向使毛細管振動，其特徵在於·· 於該毛細管下降而接地時檢測自該壓電元件產生的電 壓或電流，於該檢測後，控制該接合臂緩慢下降，然後施 加電壓於該壓電元件邊使該毛細管振動邊進行接合。 十一、圖式： 如次頁 10