TH50981B - วิธีการขัดเงาและอุปกรณ์การขัดเงา - Google Patents

วิธีการขัดเงาและอุปกรณ์การขัดเงา

Info

Publication number
TH50981B
TH50981B TH801000785A TH0801000785A TH50981B TH 50981 B TH50981 B TH 50981B TH 801000785 A TH801000785 A TH 801000785A TH 0801000785 A TH0801000785 A TH 0801000785A TH 50981 B TH50981 B TH 50981B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
polishing
disc
brush
shaped
stacked
Prior art date
Application number
TH801000785A
Other languages
English (en)
Other versions
TH97472A (th
TH97472B (th
Inventor
ฮาเนดะ นายคาซูยูคิ
ฟูจินามิ นายซาโตชิ
Original Assignee
นางสาวปวริศา อุดมธนภัทร
นางสาวปัณณพัฒน์ เหลืองธาตุทอง
นางสาวปัณณพัฒน์ เหลืองธาตุทอง นางสาวยิ่งลักษณ์ ไกรฤกษ์ นางสาวปวริศา อุดมธนภัทร
นางสาวยิ่งลักษณ์ ไกรฤกษ์
Filing date
Publication date
Application filed by นางสาวปวริศา อุดมธนภัทร, นางสาวปัณณพัฒน์ เหลืองธาตุทอง, นางสาวปัณณพัฒน์ เหลืองธาตุทอง นางสาวยิ่งลักษณ์ ไกรฤกษ์ นางสาวปวริศา อุดมธนภัทร, นางสาวยิ่งลักษณ์ ไกรฤกษ์ filed Critical นางสาวปวริศา อุดมธนภัทร
Publication of TH97472A publication Critical patent/TH97472A/th
Publication of TH97472B publication Critical patent/TH97472B/th
Publication of TH50981B publication Critical patent/TH50981B/th

Links

Abstract

DC60 วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานสำหรับการขัดเงาแนวรอบด้านนอก 13 ของชั้นรองรูปทรง แบบจานโดยการใช้สารเหลวข้นจะถูกจัดให้มีตามลำดับด้วยกระบวนการการขัดเงาที่หนึ่งสำหรับการ ขัดเงาแนวรอบด้านนอก 13 โดยการใช้แปรงที่มีเม็ดขัด 50 ที่ถูกทำด้วยเรซินซึ่งจะมีเม็ดขัดการขัดเงา และกระบวนการการขัดเงาที่สองสำหรับการขัดเงาแนวรอบด้านนอก 13 โดยการใช้แปรงแบบเรซิน 60 ที่ถูกทำด้วยเรซินซึ่งจะไม่มีเม็ดขัดการขัดเงา วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานสำหรับการขัดเงาแนวรอบด้านนอก 13 ของชั้นรองรูปทรง แบบจานโดยการใช้สารเหลวข้นจะถูกจัดให้มีตามลำดับด้วยกระบวนการการขัดเงาที่หนึ่งสำหรับการ ขัดเงาแนวรอบด้านนอก 13 โดยการใช้แปรงที่มีเม็ดขัด 50 ที่ถูกทำด้วยเรซินซึ่งจะมีเม็ดขัดการขัดเงา และกระบวนการการขัดเงาที่สองสำหรับการขัดเงาแนวรอบด้านนอก 13 โดยการใช้แปรงแบบเรซิน 60 ที่ถูกทำด้วยเรซินซึ่งจะไม่มีเม็ดขัดการขัดเงา

Claims (2)

ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา :แก้ไข 12/3/2558 1. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานสำหรับการขัดเงาผิวของชั้นรองรูปทรงแบบจานโดย การใช้ของเหลงขัดเงา ซึ่งเป็นวิธีการขัดเงาของชั้นรองรูทรงแบบจาน ประกอบตามลำดับด้วย กระบวนการขัดเงาที่หนึ่งสำหรับการขัดเงาผิวขอบโดยการใช้แปรงที่หนึ่งที่ถูกทำด้วยเรซินซึ่ง จะมีเม็ดขัดการเงาถูกรวมอยู่ด้วย; และ กระบวนการการขัดเงาที่สองสำหรับการขัดเงาผิวขอบโดยการใช้แปรงที่สองที่ถูกทำด้วยเรซินซึ่ง จะไม่มีเม็ดชขัดการขัดเงาถูกรวมอยู่ด้วย กระบวนการขัดเงาที่สองตามการขัดเงาผิวขอบ โดยการใช้ แปรงที่หนึ่งในกระบวนการขัดเงาที่หนึ่งดังกล่าว และ ในกระบวนการขัดเงาที่หนึ่งหรือกระบวนการการขัดเงาที่สอง ชั้นรองรูปทรงแบบจาน ดัง นั้น ผิวขอบแนวรอบด้านนอกของชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันอยู่ตรงข้ามกับแปรงที่หนึ่ง หรือแปรงที่สองในทิศทางแกนของแปรง และส่วนผนัวงด้านข้างและส่วนที่ถูกลบมุมที่ถูกจัดให้มีบนผิว ขอบแนวรอบด้านนอกจะถูกขัดเงาที่เวลาเดียวกัน และ ชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันจะอยู่ตรงข้ามกับแปรงที่หนึ่งหรือแปรงที่สองและถูก ขัดเงา และชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันจะถูกกลับเพื่อให้อีกด้านตรงข้ามกับแปรงที่หนึ่ง หรือแปรงที่สองและถูกขัดเงา 2. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 1 เป็นแบบที่เม็ดขัดการนขัดเงาเป็น อลูมินัมออกไซด์หรือเพชร 3. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 1 เป็นแบบที่เรซินที่เป็นวัสดุของแปรงที่ หนึ่งคือโพลีอาไมด์เรซินหรือโพลีเอสเตอร์เรซิน 4. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 1 เป็นแบบที่ชั้นรองรูปทรงแบบจานจะ ถูกวางซ้อนกันโดยมีตัวกั้นแยกถูกวางระหว่างชั้นรองรูปทรงแบบจานที่อยู่ติดกันโดยที่ตัวกั้นแยกมีเส้น ผ่าศูนย์กลางถายนอกเล็กกว่าเส้นผ่านศูนย์กลางของชั้นรองรูปทรงแบบจาน 5. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 1 เป็นแบบที่ในกระบวนการการขัดเงา ที่หนึ่งหรือสองจะมีการจัดให้มีกลุ่มของแปรงที่หนึ่งหรือกลุ่มของแปรงที่สองโดยที่มีกลุ่มของชั้นรองรูป ทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันจะถูกขัดเงาในชณะที่สัมผัสกับกลุ่มของแปรงที่หนึ่งหรือสอง และจากนั้น กลุ่มของชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันจะถูกเคลื่อนไปยังตำแหน่งของชั้นรองรูปทรงแบบจาน ที่ถูกวางซ้อนกันและถูกขัดเงาในขณะที่สัมผัสกับกลุ่มของแปรงที่หนึ่งหรือกลุ่มของแปรงที่สอง --------------------------------------------------------------------- 1. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานสำหรับการขัดเงาผิวขอบของชั้นรองรูปทรงแบบจานโดย การใช้ของเหลวขัดเงาประกอบตามลำดับด้วย กระบวนการการขัดเงาที่หนึ่งสำหรับการขัดเงาผิวขอบโดยการใช้แปรงที่หนึ่งที่ถูกทำด้วยเรซินซึ่ง จะมีเม็ดขัดการขัดเงา, และ กระบวนการการขัดเงาที่สองสำหรับการขัดเงาผิวขอบโดยการใช้แปรงที่สองที่ถูกทำด้วยเซินซึ่ง จะไม่มีเม็ดขัดการขัดเงา 2. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 1 เป็นแบบที่เม็ดขัดการขัดเงาจะถูก สร้างจากอลูมินัมออกไซด์หรือเพชร 3. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 1 เป็นแบบที่เซินที่เป็นวัสดุของแปรงที่ หนึ่งคือโพลีอาไมด์เรซินหรือโพลีเอสเตอร์เรซิน 4. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 1 เป็นแบบที่ในกระบวนการการขัดเงา ที่หนึ่งและกระบวนการการขัดเงาที่สองชั้นรองรูปทรงแบบจานจะถูกวางซ้อนกันเพื่อให้ผิวขอบแนวรอบ ด้านนอกของชั้นรองรูปทรงแบบจานอยู่ตรงข้ามกับแปรงที่หนึ่งหรือสอง และส่วนผนังด้านข้างและส่วน ที่ถูกลบมุมที่ถูกจัดให้มีบนผิวขอบแนวรอบด้านนอกจะถูกขัดเงาที่เวลาเดียวกัน 5. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 4 เป็นแบบที่ชั้นรองรูปทรงแบบจานจะ ถูกวางซ้อนกันโดยมีตัวกั้นแยกถูกวางระหว่างชั้นรองรูปทรงแบบจานที่อยู่ติดกันโดยที่ตัวกั้นแยกมี เส้นผ่าศูนย์กลางภายนอกเล็กกว่าเส้นผ่าศูนย์กลางของชั้นรองรูปทรงแบบจาน 6. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 4 เป็นแบบที่ในกระบวนการการขัดเงา ที่หนึ่ง ชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันจะอยู่ตรงข้ามกับแปรงที่หนึ่งและถูกขัดเงา และชั้นรอง รูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันจะถูกกลับเพื่อให้อีกด้านตรงข้ามกับแปรงที่หนึ่งและถูกขัดเงา 7. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 4 เป็นแบบที่ในกระบวนการการขัดเงา ที่สอง ชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันจะอยู่ตรงข้ามกับแปรงที่สองและถูกขัดเงา และชั้นรอง รูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันจะถูกกลับเพื่อให้อีกด้านตรงข้ามกับแปรงที่สองและถูกขัดเงา 8. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 4 เป็นแบบที่ในกระบวนการการขัดเงา ที่หนึ่งจะมีการจัดให้มีกลุ่มของแปรงที่หนึ่งโดยที่มีกลุ่มของชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันถูก ตั้งตำแหน่งต่างกันซึ่งแต่ละหนึ่งของกลุ่มของชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันจะถูกขัดเงาใน ขณะที่สัมผัสกับกลุ่มของแปรงที่หนึ่ง และจากนั้นแต่ละหนึ่งของกลุ่มของชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูก วางซ้อนกันจะถูกเคลื่อนไปยังหนึ่งของตำแหน่งของชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันอื่นและถูก ขัดเงาในขณะที่สัมผัสกับกลุ่มของแปรงที่หนึ่ง 9. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 4 เป็นแบบในกระบวนการการขัดเงา ที่สองจะมีการจัดให้มีกลุ่มของแปรงที่สองโดยที่มีกลุ่มของชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันถูก ตั้งที่ตำแหน่งต่างกันซึ่งแต่ละหนึ่งของกลุ่มของชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันจะถูกขัดเงาใน ขณะที่สัมผัสกับกลุ่มของแปรงที่สอง และจากนั้นแต่ละหนึ่งของกลุ่มของชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูก วางซ้อนกันจะถูกเคลื่อนไปยังหนึ่งของตำแหน่งของชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันอื่นและถูก ขัดเงาในขณะที่สัมผัสกับกลุ่มของแปรงที่สอง 1 0. อุปกรณ์การขัดเงาที่ขัดผิวขอบแนวรอบด้านนอกของชั้นรองรูปทรงแบบจานโดยการใช้ ของเหลวขัดเงาเป็นอุปกรณ์การขัดเงาที่ประกอบด้วย หน่วยการติดตั้งที่ติดตั้งชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันที่มีตัวกั้นแยกอยู่ระหว่างกลาง, และ หน่วยการขัดเงาที่ประกอบด้วยแปรงที่ถูกทำด้วยเรซินซึ่งจะมีอนุภาคขัดการขัดเงา และที่จะขัด เงาส่วนผนังด้านข้างและส่วนที่ถูกลบมุมพร้อมกันโดยการทำให้แปรงสัมผัสกับส่วนผนังด้านข้างและ ส่วนที่ถูกลบมุมบนผิวขอบแนวรอบด้านนอกของชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกติดตั้งบนหน่วยการติดตั้ง 1
1. อุปกรณ์การขัดเงาตามข้อถือสิทธิที่ 10 เป็นแบบที่หน่วยการขัดเงาประกอบด้วย กลไกการหมุนที่หนึ่งที่หมุนชั้นรองรูปทรงแบบจานในทิศที่หนึ่ง, กลไกการหมุนที่สองที่หมุนแปรงในทิศที่สองที่ตรงข้ามกับทิศที่หนึ่ง, และ กลไกการเคลื่อนที่เคลื่อนชั้นรองรูปทรงแบบจานและแปรงไปมาสัมพัทธ์กันในทิศแกน 1
2. อุปกรณ์การขัดเงาตามข้อถือสิทธิที่ 10 เป็นแบบที่แปรงจะถูกทำด้วยโพลีอาไมด์เรซินหรือโพลี ดอสเตอร์เรซิน และเม็ดขัดการขัดเงาจะถูกสร้างขึ้นจากอลูมินัมออกไซด์หรือเพชร
TH801000785A 2008-02-18 วิธีการขัดเงาและอุปกรณ์การขัดเงา TH50981B (th)

Publications (3)

Publication Number Publication Date
TH97472A TH97472A (th) 2009-08-06
TH97472B TH97472B (th) 2009-08-06
TH50981B true TH50981B (th) 2016-08-30

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101671708B1 (ko) 불균일한 개구들 분포를 가지는 연마물품
US9895790B2 (en) Multi-abrasive tool
CN103084957B (zh) 玻璃板及其制造方法、玻璃板端缘部的研磨方法及装置
US5951380A (en) Polishing apparatus for a semiconductor wafer
US20130324021A1 (en) Diamond impregnated polishing pad with diamond pucks
JP3933432B2 (ja) ガラス基板のクランプ治具、ガラス基板の加工方法およびガラス基板
JP4949677B2 (ja) 重複する段差溝構造を有するcmpパッド
CN105324213A (zh) 基于向日葵图案的经涂覆磨料制品
CN1711152A (zh) 用于信息记录介质的玻璃衬底及其制造方法
US20060228997A1 (en) Apparatus for polishing edge surface of glass substrate for magnetic recording media, and process for producing glass substrate
WO1998055262A1 (en) Methods and apparatus for conditioning grinding stones
TWI426980B (zh) 具有溝槽以減少漿液之消耗之研磨墊及其製造方法
JP2013202715A (ja) 表面加工方法
CN102398212A (zh) 一种化学机械研磨设备
TH50981B (th) วิธีการขัดเงาและอุปกรณ์การขัดเงา
TH97472A (th) วิธีการขัดเงาและอุปกรณ์การขัดเงา
CN107363693A (zh) 玻璃基板和玻璃基板的制造方法
TWI577502B (zh) The method of dressing the elastic stone
TW201639664A (zh) 研磨墊及研磨墊的製造方法
JP4960395B2 (ja) 研磨装置とそれを用いた半導体装置の製造方法
CN203887685U (zh) 整理盘、研磨垫整理器及研磨装置
CN209175567U (zh) 一种高速打磨砂页盘砂布
CN204525211U (zh) 一种防堵塞的立体结构型磨具
CN106737130A (zh) 蓝宝石基板研磨装置
CN206436115U (zh) 蓝宝石基板研磨装置