TH50981B - Method of polishing and polishing equipment - Google Patents

Method of polishing and polishing equipment

Info

Publication number
TH50981B
TH50981B TH801000785A TH0801000785A TH50981B TH 50981 B TH50981 B TH 50981B TH 801000785 A TH801000785 A TH 801000785A TH 0801000785 A TH0801000785 A TH 0801000785A TH 50981 B TH50981 B TH 50981B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
polishing
disc
brush
shaped
stacked
Prior art date
Application number
TH801000785A
Other languages
Thai (th)
Other versions
TH97472A (en
TH97472B (en
Inventor
ฮาเนดะ นายคาซูยูคิ
ฟูจินามิ นายซาโตชิ
Original Assignee
นางสาวปวริศา อุดมธนภัทร
นางสาวปัณณพัฒน์ เหลืองธาตุทอง
นางสาวปัณณพัฒน์ เหลืองธาตุทอง นางสาวยิ่งลักษณ์ ไกรฤกษ์ นางสาวปวริศา อุดมธนภัทร
นางสาวยิ่งลักษณ์ ไกรฤกษ์
Filing date
Publication date
Application filed by นางสาวปวริศา อุดมธนภัทร, นางสาวปัณณพัฒน์ เหลืองธาตุทอง, นางสาวปัณณพัฒน์ เหลืองธาตุทอง นางสาวยิ่งลักษณ์ ไกรฤกษ์ นางสาวปวริศา อุดมธนภัทร, นางสาวยิ่งลักษณ์ ไกรฤกษ์ filed Critical นางสาวปวริศา อุดมธนภัทร
Publication of TH97472A publication Critical patent/TH97472A/en
Publication of TH97472B publication Critical patent/TH97472B/en
Publication of TH50981B publication Critical patent/TH50981B/en

Links

Abstract

DC60 วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานสำหรับการขัดเงาแนวรอบด้านนอก 13 ของชั้นรองรูปทรง แบบจานโดยการใช้สารเหลวข้นจะถูกจัดให้มีตามลำดับด้วยกระบวนการการขัดเงาที่หนึ่งสำหรับการ ขัดเงาแนวรอบด้านนอก 13 โดยการใช้แปรงที่มีเม็ดขัด 50 ที่ถูกทำด้วยเรซินซึ่งจะมีเม็ดขัดการขัดเงา และกระบวนการการขัดเงาที่สองสำหรับการขัดเงาแนวรอบด้านนอก 13 โดยการใช้แปรงแบบเรซิน 60 ที่ถูกทำด้วยเรซินซึ่งจะไม่มีเม็ดขัดการขัดเงา วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานสำหรับการขัดเงาแนวรอบด้านนอก 13 ของชั้นรองรูปทรง แบบจานโดยการใช้สารเหลวข้นจะถูกจัดให้มีตามลำดับด้วยกระบวนการการขัดเงาที่หนึ่งสำหรับการ ขัดเงาแนวรอบด้านนอก 13 โดยการใช้แปรงที่มีเม็ดขัด 50 ที่ถูกทำด้วยเรซินซึ่งจะมีเม็ดขัดการขัดเงา และกระบวนการการขัดเงาที่สองสำหรับการขัดเงาแนวรอบด้านนอก 13 โดยการใช้แปรงแบบเรซิน 60 ที่ถูกทำด้วยเรซินซึ่งจะไม่มีเม็ดขัดการขัดเงา DC60 Disc-shaped substrate polishing method for polishing the outer 13 contour layers. Disc type by slurry is arranged sequentially with the first polishing process for the Polish the outer contour 13 using a brush with resin-treated 50 grit, which contains grit beads. And a second polishing process for the outer contour 13 using a resin brush 60 which is treated with resin without any polishing beads. Disc-shape substrate polishing method for polishing the outer 13 contours of the contour substrate. Disc type by slurry is arranged sequentially with the first polishing process for the Polish the outer contour 13 using a brush with resin-treated 50 grit, which contains grit beads. And a second polishing process for the outer contour 13 using a resin brush 60 which is treated with resin without any polishing beads.

Claims (2)

ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา :แก้ไข 12/3/2558 1. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานสำหรับการขัดเงาผิวของชั้นรองรูปทรงแบบจานโดย การใช้ของเหลงขัดเงา ซึ่งเป็นวิธีการขัดเงาของชั้นรองรูทรงแบบจาน ประกอบตามลำดับด้วย กระบวนการขัดเงาที่หนึ่งสำหรับการขัดเงาผิวขอบโดยการใช้แปรงที่หนึ่งที่ถูกทำด้วยเรซินซึ่ง จะมีเม็ดขัดการเงาถูกรวมอยู่ด้วย; และ กระบวนการการขัดเงาที่สองสำหรับการขัดเงาผิวขอบโดยการใช้แปรงที่สองที่ถูกทำด้วยเรซินซึ่ง จะไม่มีเม็ดชขัดการขัดเงาถูกรวมอยู่ด้วย กระบวนการขัดเงาที่สองตามการขัดเงาผิวขอบ โดยการใช้ แปรงที่หนึ่งในกระบวนการขัดเงาที่หนึ่งดังกล่าว และ ในกระบวนการขัดเงาที่หนึ่งหรือกระบวนการการขัดเงาที่สอง ชั้นรองรูปทรงแบบจาน ดัง นั้น ผิวขอบแนวรอบด้านนอกของชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันอยู่ตรงข้ามกับแปรงที่หนึ่ง หรือแปรงที่สองในทิศทางแกนของแปรง และส่วนผนัวงด้านข้างและส่วนที่ถูกลบมุมที่ถูกจัดให้มีบนผิว ขอบแนวรอบด้านนอกจะถูกขัดเงาที่เวลาเดียวกัน และ ชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันจะอยู่ตรงข้ามกับแปรงที่หนึ่งหรือแปรงที่สองและถูก ขัดเงา และชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันจะถูกกลับเพื่อให้อีกด้านตรงข้ามกับแปรงที่หนึ่ง หรือแปรงที่สองและถูกขัดเงา 2. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 1 เป็นแบบที่เม็ดขัดการนขัดเงาเป็น อลูมินัมออกไซด์หรือเพชร 3. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 1 เป็นแบบที่เรซินที่เป็นวัสดุของแปรงที่ หนึ่งคือโพลีอาไมด์เรซินหรือโพลีเอสเตอร์เรซิน 4. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 1 เป็นแบบที่ชั้นรองรูปทรงแบบจานจะ ถูกวางซ้อนกันโดยมีตัวกั้นแยกถูกวางระหว่างชั้นรองรูปทรงแบบจานที่อยู่ติดกันโดยที่ตัวกั้นแยกมีเส้น ผ่าศูนย์กลางถายนอกเล็กกว่าเส้นผ่านศูนย์กลางของชั้นรองรูปทรงแบบจาน 5. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 1 เป็นแบบที่ในกระบวนการการขัดเงา ที่หนึ่งหรือสองจะมีการจัดให้มีกลุ่มของแปรงที่หนึ่งหรือกลุ่มของแปรงที่สองโดยที่มีกลุ่มของชั้นรองรูป ทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันจะถูกขัดเงาในชณะที่สัมผัสกับกลุ่มของแปรงที่หนึ่งหรือสอง และจากนั้น กลุ่มของชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันจะถูกเคลื่อนไปยังตำแหน่งของชั้นรองรูปทรงแบบจาน ที่ถูกวางซ้อนกันและถูกขัดเงาในขณะที่สัมผัสกับกลุ่มของแปรงที่หนึ่งหรือกลุ่มของแปรงที่สอง --------------------------------------------------------------------- 1. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานสำหรับการขัดเงาผิวขอบของชั้นรองรูปทรงแบบจานโดย การใช้ของเหลวขัดเงาประกอบตามลำดับด้วย กระบวนการการขัดเงาที่หนึ่งสำหรับการขัดเงาผิวขอบโดยการใช้แปรงที่หนึ่งที่ถูกทำด้วยเรซินซึ่ง จะมีเม็ดขัดการขัดเงา, และ กระบวนการการขัดเงาที่สองสำหรับการขัดเงาผิวขอบโดยการใช้แปรงที่สองที่ถูกทำด้วยเซินซึ่ง จะไม่มีเม็ดขัดการขัดเงา 2. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 1 เป็นแบบที่เม็ดขัดการขัดเงาจะถูก สร้างจากอลูมินัมออกไซด์หรือเพชร 3. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 1 เป็นแบบที่เซินที่เป็นวัสดุของแปรงที่ หนึ่งคือโพลีอาไมด์เรซินหรือโพลีเอสเตอร์เรซิน 4. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 1 เป็นแบบที่ในกระบวนการการขัดเงา ที่หนึ่งและกระบวนการการขัดเงาที่สองชั้นรองรูปทรงแบบจานจะถูกวางซ้อนกันเพื่อให้ผิวขอบแนวรอบ ด้านนอกของชั้นรองรูปทรงแบบจานอยู่ตรงข้ามกับแปรงที่หนึ่งหรือสอง และส่วนผนังด้านข้างและส่วน ที่ถูกลบมุมที่ถูกจัดให้มีบนผิวขอบแนวรอบด้านนอกจะถูกขัดเงาที่เวลาเดียวกัน 5. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 4 เป็นแบบที่ชั้นรองรูปทรงแบบจานจะ ถูกวางซ้อนกันโดยมีตัวกั้นแยกถูกวางระหว่างชั้นรองรูปทรงแบบจานที่อยู่ติดกันโดยที่ตัวกั้นแยกมี เส้นผ่าศูนย์กลางภายนอกเล็กกว่าเส้นผ่าศูนย์กลางของชั้นรองรูปทรงแบบจาน 6. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 4 เป็นแบบที่ในกระบวนการการขัดเงา ที่หนึ่ง ชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันจะอยู่ตรงข้ามกับแปรงที่หนึ่งและถูกขัดเงา และชั้นรอง รูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันจะถูกกลับเพื่อให้อีกด้านตรงข้ามกับแปรงที่หนึ่งและถูกขัดเงา 7. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 4 เป็นแบบที่ในกระบวนการการขัดเงา ที่สอง ชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันจะอยู่ตรงข้ามกับแปรงที่สองและถูกขัดเงา และชั้นรอง รูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันจะถูกกลับเพื่อให้อีกด้านตรงข้ามกับแปรงที่สองและถูกขัดเงา 8. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 4 เป็นแบบที่ในกระบวนการการขัดเงา ที่หนึ่งจะมีการจัดให้มีกลุ่มของแปรงที่หนึ่งโดยที่มีกลุ่มของชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันถูก ตั้งตำแหน่งต่างกันซึ่งแต่ละหนึ่งของกลุ่มของชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันจะถูกขัดเงาใน ขณะที่สัมผัสกับกลุ่มของแปรงที่หนึ่ง และจากนั้นแต่ละหนึ่งของกลุ่มของชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูก วางซ้อนกันจะถูกเคลื่อนไปยังหนึ่งของตำแหน่งของชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันอื่นและถูก ขัดเงาในขณะที่สัมผัสกับกลุ่มของแปรงที่หนึ่ง 9. วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานตามข้อถือสิทธิที่ 4 เป็นแบบในกระบวนการการขัดเงา ที่สองจะมีการจัดให้มีกลุ่มของแปรงที่สองโดยที่มีกลุ่มของชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันถูก ตั้งที่ตำแหน่งต่างกันซึ่งแต่ละหนึ่งของกลุ่มของชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันจะถูกขัดเงาใน ขณะที่สัมผัสกับกลุ่มของแปรงที่สอง และจากนั้นแต่ละหนึ่งของกลุ่มของชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูก วางซ้อนกันจะถูกเคลื่อนไปยังหนึ่งของตำแหน่งของชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันอื่นและถูก ขัดเงาในขณะที่สัมผัสกับกลุ่มของแปรงที่สอง 1 0. อุปกรณ์การขัดเงาที่ขัดผิวขอบแนวรอบด้านนอกของชั้นรองรูปทรงแบบจานโดยการใช้ ของเหลวขัดเงาเป็นอุปกรณ์การขัดเงาที่ประกอบด้วย หน่วยการติดตั้งที่ติดตั้งชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกวางซ้อนกันที่มีตัวกั้นแยกอยู่ระหว่างกลาง, และ หน่วยการขัดเงาที่ประกอบด้วยแปรงที่ถูกทำด้วยเรซินซึ่งจะมีอนุภาคขัดการขัดเงา และที่จะขัด เงาส่วนผนังด้านข้างและส่วนที่ถูกลบมุมพร้อมกันโดยการทำให้แปรงสัมผัสกับส่วนผนังด้านข้างและ ส่วนที่ถูกลบมุมบนผิวขอบแนวรอบด้านนอกของชั้นรองรูปทรงแบบจานที่ถูกติดตั้งบนหน่วยการติดตั้ง 1Disclaimer (all) which will not appear on the advertisement page: EDIT 12/3/2015 1. Polishing method of disc shape underlay for polishing the surface of plate shape underlay by The use of polish Which is the polishing method of the plate shape hole runner Followed by The first polishing process is for edge polishing using a resin-treated first brush. There will be polishing beads included; And a second polishing process for edge polishing using a second resin brush which No polishing beads are included. A second polishing process follows an edge finish by brushing in one of the first polishing processes and in the first or second polishing processes. The disc-shaped secondary layer, therefore, the perimeter of the stacked disc-shaped liner is opposite to the first brush. Or a second brush in the axial direction of the brush And the side flaps and chamfered parts were provided on the surface. The perimeter is polished at the same time, and the stacked disc-shape liner is opposite to the first brush or the second brush and is polished and the disc-shaped liner is placed. The nested are reversed so that the other side is opposite to the first brush. Or the second brush and polished. 2. Method of polishing the substrate, the shape of the plate according to claim 1, is the type that the polishing grain is Aluminum oxide or diamond 3. The polishing method of the disc-shaped substrate according to claim 1 is the type that the resin is the material of the brush. One is polyamide resin or polyester resin. 4. How to polish the plate-shape liner according to claim 1 is the type in which the plate-shape liner is Are stacked, with separators placed between adjacent disc-shaped substrates, where the separators have lines. The outer diameter is smaller than the diameter of the disc-shaped substrate. 5. The polishing method of the disc-shaped substrate according to claim 1 is the type that in the polishing process. At one or two, one group of brushes or a group of two brushes are arranged, with a group of sub-shaped layers. The stacked disc shape is polished as it touches the first or second brush group, and then the stacked disc shape is moved to the position of the stack. Plate shape Are stacked and polished while touching one brush group or a second brush group. -------------------------------------------------- ------------------- 1. Method for polishing the disc-shaped substrate for polishing the edge surface of the disc-shaped substrate by The use of the polishing liquid is also composed in sequence. The first polishing process is for edge polishing using a resin-treated first brush. There is a second polishing grind, and a second polishing process for finishing the edges using a second brush made with a sern which There will be no polishing grains. 2. Polishing method of the disc shape sub layer according to claim 1 is the type in which the polishing grain will be polished. It is made of aluminum oxide or diamond. 3. How to polish the substrate, the disc shape according to claim 1 is the type that the shen is the material of the brush. One is polyamide resin or polyester resin. 4. The polishing method of the plate-shape sub layer according to claim 1 is the one that in the polishing process. First and second polishing process, the disc shape secondary layers are stacked to provide a contoured surface. The outside of the dish-shaped liner is opposite to the first or second brush. And the side walls and sections The chamfer that has been provided on the perimeter surface will be polished at the same time. 5. Polishing method of the disc-shaped substrate according to claim 4 is the type that the contour substrate is. Plate will Are stacked, with separators placed between adjacent disc-shaped substrates, provided that the separators have The outer diameter is smaller than the diameter of the disc-shaped mat. 6. The polishing method of the disc-shaped mat according to claim 4 is such that in the first polishing process, the disc-shaped mat is placed. The overlapping layer is opposite to the first brush and is polished, and the stacked disc shape underlay is reversed so that the other side is opposite to the first brush and is polished. The disc-shaped liner according to claim 4 is the one in which, in the second polishing process, the stacked disc-shaped liner is opposite to the second brush and is polished and the contoured liner. The overlapping disc shapes are reversed so that the opposite side is the second brush and is polished. 8. The polishing method of the sub-plate shape according to claim 4 is that in the polishing process. shadow At one, a group of brushes is arranged, where a group of plates-shaped substrates are stacked. Set different positions, where each one of the groups of the stacked disc-shaped substrates is polished in While touching one group of brushes And then each one of the groups of plate-shaped substrates was The stack is moved to one of the other stacked disc-shaped decks, and is Polishing while touching the first group of brushes. 9. The polishing method of the disc shape sub layer according to claim 4 is in the polishing process. Second, a second group of brushes is provided, where a group of plate-shaped substrates are stacked. Set at different positions, where each one of the groups of the stacked disc-shaped substrates is polished in While touching the second group of brushes And then each one of the groups of plate-shaped substrates was The stack is moved to one of the other stacked disc-shaped decks, and is Polishing while touching the second brush group 1 0. Polishing device that polishes the perimeter of the disc-shaped substrate by using. The polish liquid is a polishing device consisting of The installation unit is equipped with a stacked plate-shaped substrate with a separator in the middle, and a polishing unit consisting of a resin-treated brush with a polished abrasive particle and a buffer. It will polish the side walls and the chamfered sections together by making the brush in contact with the side walls and The chamfered portion on the perimeter of the plate-shaped substrate installed on installation unit 1. 1. อุปกรณ์การขัดเงาตามข้อถือสิทธิที่ 10 เป็นแบบที่หน่วยการขัดเงาประกอบด้วย กลไกการหมุนที่หนึ่งที่หมุนชั้นรองรูปทรงแบบจานในทิศที่หนึ่ง, กลไกการหมุนที่สองที่หมุนแปรงในทิศที่สองที่ตรงข้ามกับทิศที่หนึ่ง, และ กลไกการเคลื่อนที่เคลื่อนชั้นรองรูปทรงแบบจานและแปรงไปมาสัมพัทธ์กันในทิศแกน 11. The polishing equipment according to claim 10 is the type that the polishing unit consists of. The first rotation mechanism that rotates the disc-shaped substrate in the first direction, the second rotation mechanism that rotates the brush in the second opposite direction to the first, and the disc-shaped substrate movement mechanism and Brushes back and forth relative to each other in the 1 axis direction. 2. อุปกรณ์การขัดเงาตามข้อถือสิทธิที่ 10 เป็นแบบที่แปรงจะถูกทำด้วยโพลีอาไมด์เรซินหรือโพลี ดอสเตอร์เรซิน และเม็ดขัดการขัดเงาจะถูกสร้างขึ้นจากอลูมินัมออกไซด์หรือเพชร2. The polishing device according to claim 10 is a type in which the brushes are made of polyamide resin or poly. Doster resin And the polishing beads are made up of aluminum oxide or diamond.
TH801000785A 2008-02-18 Method of polishing and polishing equipment TH50981B (en)

Publications (3)

Publication Number Publication Date
TH97472A TH97472A (en) 2009-08-06
TH97472B TH97472B (en) 2009-08-06
TH50981B true TH50981B (en) 2016-08-30

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101671708B1 (en) Abrasive article having a non-uniform distribution of openings
US9895790B2 (en) Multi-abrasive tool
CN103084957B (en) Glass plate and manufacture method, the Ginding process of glass plate end edge portion and device
US5951380A (en) Polishing apparatus for a semiconductor wafer
US20130324021A1 (en) Diamond impregnated polishing pad with diamond pucks
JP3933432B2 (en) Glass substrate clamping jig, glass substrate processing method, and glass substrate
JP4949677B2 (en) CMP pad having overlapping step groove structure
CN105324213A (en) Coated abrasive article based on a sunflower pattern
CN1711152A (en) Glass substrate for information recording medium and manufacturing method thereof
US20060228997A1 (en) Apparatus for polishing edge surface of glass substrate for magnetic recording media, and process for producing glass substrate
WO1998055262A1 (en) Methods and apparatus for conditioning grinding stones
TWI426980B (en) Polishing pad with grooves to reduce slurry consumption and method for making the same
JP2013202715A (en) Surface machining method
CN102398212A (en) Chemical mechanical polishing equipment
TH50981B (en) Method of polishing and polishing equipment
TH97472A (en) Method of polishing and polishing equipment
CN107363693A (en) Glass substrate and manufacturing method of glass substrate
TWI577502B (en) The method of dressing the elastic stone
TW201639664A (en) Polishing pad and method for manufacturing polishing pad
JP4960395B2 (en) Polishing apparatus and semiconductor device manufacturing method using the same
CN203887685U (en) Conditioning plate, grinding pad conditioner and grinding device
CN209175567U (en) A kind of high speed polishing sand page disk emery cloth
CN204525211U (en) A kind of anticlogging stereochemical structure type grinding tool
CN106737130A (en) Sapphire substrate lapping device
CN206436115U (en) Sapphire substrate lapping device