TH97472A - วิธีการขัดเงาและอุปกรณ์การขัดเงา - Google Patents
วิธีการขัดเงาและอุปกรณ์การขัดเงาInfo
- Publication number
- TH97472A TH97472A TH801000785A TH0801000785A TH97472A TH 97472 A TH97472 A TH 97472A TH 801000785 A TH801000785 A TH 801000785A TH 0801000785 A TH0801000785 A TH 0801000785A TH 97472 A TH97472 A TH 97472A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- polishing
- disc
- brush
- shaped
- stacked
- Prior art date
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract 39
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 title claims abstract 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract 25
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract 13
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract 12
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract 12
- 239000011324 bead Substances 0.000 claims abstract 7
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims 3
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims 3
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 claims 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 claims 2
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 claims 2
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 abstract 2
Abstract
DC60 วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานสำหรับการขัดเงาแนวรอบด้านนอก 13 ของชั้นรองรูปทรง แบบจานโดยการใช้สารเหลวข้นจะถูกจัดให้มีตามลำดับด้วยกระบวนการการขัดเงาที่หนึ่งสำหรับการ ขัดเงาแนวรอบด้านนอก 13 โดยการใช้แปรงที่มีเม็ดขัด 50 ที่ถูกทำด้วยเรซินซึ่งจะมีเม็ดขัดการขัดเงา และกระบวนการการขัดเงาที่สองสำหรับการขัดเงาแนวรอบด้านนอก 13 โดยการใช้แปรงแบบเรซิน 60 ที่ถูกทำด้วยเรซินซึ่งจะไม่มีเม็ดขัดการขัดเงา วิธีการขัดเงาของชั้นรองรูปทรงแบบจานสำหรับการขัดเงาแนวรอบด้านนอก 13 ของชั้นรองรูปทรง แบบจานโดยการใช้สารเหลวข้นจะถูกจัดให้มีตามลำดับด้วยกระบวนการการขัดเงาที่หนึ่งสำหรับการ ขัดเงาแนวรอบด้านนอก 13 โดยการใช้แปรงที่มีเม็ดขัด 50 ที่ถูกทำด้วยเรซินซึ่งจะมีเม็ดขัดการขัดเงา และกระบวนการการขัดเงาที่สองสำหรับการขัดเงาแนวรอบด้านนอก 13 โดยการใช้แปรงแบบเรซิน 60 ที่ถูกทำด้วยเรซินซึ่งจะไม่มีเม็ดขัดการขัดเงา
Claims (2)
1. อุปกรณ์การขัดเงาตามข้อถือสิทธิที่ 10 เป็นแบบที่หน่วยการขัดเงาประกอบด้วย กลไกการหมุนที่หนึ่งที่หมุนชั้นรองรูปทรงแบบจานในทิศที่หนึ่ง, กลไกการหมุนที่สองที่หมุนแปรงในทิศที่สองที่ตรงข้ามกับทิศที่หนึ่ง, และ กลไกการเคลื่อนที่เคลื่อนชั้นรองรูปทรงแบบจานและแปรงไปมาสัมพัทธ์กันในทิศแกน 1
2. อุปกรณ์การขัดเงาตามข้อถือสิทธิที่ 10 เป็นแบบที่แปรงจะถูกทำด้วยโพลีอาไมด์เรซินหรือโพลี ดอสเตอร์เรซิน และเม็ดขัดการขัดเงาจะถูกสร้างขึ้นจากอลูมินัมออกไซด์หรือเพชร
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH97472A true TH97472A (th) | 2009-08-06 |
| TH97472B TH97472B (th) | 2009-08-06 |
| TH50981B TH50981B (th) | 2016-08-30 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101671708B1 (ko) | 불균일한 개구들 분포를 가지는 연마물품 | |
| US9895790B2 (en) | Multi-abrasive tool | |
| CN103084957B (zh) | 玻璃板及其制造方法、玻璃板端缘部的研磨方法及装置 | |
| US5951380A (en) | Polishing apparatus for a semiconductor wafer | |
| US20130324021A1 (en) | Diamond impregnated polishing pad with diamond pucks | |
| JP3933432B2 (ja) | ガラス基板のクランプ治具、ガラス基板の加工方法およびガラス基板 | |
| JP4949677B2 (ja) | 重複する段差溝構造を有するcmpパッド | |
| CN105324213A (zh) | 基于向日葵图案的经涂覆磨料制品 | |
| CN1711152A (zh) | 用于信息记录介质的玻璃衬底及其制造方法 | |
| US20060228997A1 (en) | Apparatus for polishing edge surface of glass substrate for magnetic recording media, and process for producing glass substrate | |
| WO1998055262A1 (en) | Methods and apparatus for conditioning grinding stones | |
| TWI426980B (zh) | 具有溝槽以減少漿液之消耗之研磨墊及其製造方法 | |
| JP2013202715A (ja) | 表面加工方法 | |
| CN102398212A (zh) | 一种化学机械研磨设备 | |
| TH97472A (th) | วิธีการขัดเงาและอุปกรณ์การขัดเงา | |
| TH50981B (th) | วิธีการขัดเงาและอุปกรณ์การขัดเงา | |
| CN107363693A (zh) | 玻璃基板和玻璃基板的制造方法 | |
| TWI577502B (zh) | The method of dressing the elastic stone | |
| TW201639664A (zh) | 研磨墊及研磨墊的製造方法 | |
| JP4960395B2 (ja) | 研磨装置とそれを用いた半導体装置の製造方法 | |
| CN203887685U (zh) | 整理盘、研磨垫整理器及研磨装置 | |
| CN209175567U (zh) | 一种高速打磨砂页盘砂布 | |
| CN204525211U (zh) | 一种防堵塞的立体结构型磨具 | |
| CN106737130A (zh) | 蓝宝石基板研磨装置 | |
| CN206436115U (zh) | 蓝宝石基板研磨装置 |