TH47378A - หัวปล่อยของเหลว วิธีการผลิตหัวปล่อยของเหลว และอุปกรณ์ไฟฟ้าเชิงกลระดับจุลภาค - Google Patents

Abstract

DC60 (26/08/43) ได้มีการจัดเตรียมหัวปล่อยของเหลวซึ่งประกอบรวมด้วย ชั้นฐาน แผ่นเพดานที่เชื่อมต่ออยู่ กับชั้นฐาน เส้นทางการไหลของของเหลว ซึ่งก่อรูปอยู่ระหว่างชั้นฐานและแผ่นเพดาน และ ชิ้นประกอบเคลื่อนที่ได้ซึ่งมีลักษณะคล้ายคานยื่นที่มีด้านปลายยึด อยู่กับที่ ซึ่งยึดติดอยู่กับชั้นฐานและ ด้านปลายอิสระที่ ยื่นเข้าไปในเส้นทางการไหลของของเหลว ที่ซึ่งชิ้นประกอบ เคลื่อนที่ได้ดังกล่าว ได้รับการก่อรูปขึ้นมาจากชั้นปก ป้องด้านล่าง ชั้นความต้านทานกำเนิดความร้อน ชั้นขั้วไฟฟ้าด้าน ล่าง ชั้นฉนวน ชั้นขั้วไฟฟ้าด้านบน และชั้นปกป้องด้านบน ซึ่งวาง ซ้อนกันจากทางด้านของชั้นฐาน ตามลำดับที่กล่าวมาแล้ว และ ที่ซึ่งการจ่ายแรงดันให้กับส่วนกำเนิดความร้อนของชั้นความ ต้านทาน กำเนิดความร้อนจะทำให้เกิดฟองของของเหลวอยู่ใน เส้นทางการไหลของของเหลวระหว่างชิ้น ประกอบเคลื่อนที่ได้และ ชั้นฐาน เพื่อที่จะปล่อยของเหลว ได้มีการจัดเตรียมหัวปล่อยของเหลวที่ประกอบด้วย ชั้นฐาน แผ่นเพดานที่เชื่อมผนึกอยู่กับ ชั้นฐาน เส้นทางการไหลของของเหลว ซึ่งก่อรูปอยู่ระหว่างชั้นฐานและเพดาน และชิ้นประกอบ เคลื่อนที่ได้ซึ่งมีลักษณะคล้ายคานยื่นที่มีด้านปลายยึด อยู่กับที่ ซึ่งยึดติดอยู่กับชั้นฐานและด้านปลาย อิสระที่ ยื่นเข้าไปในเส้นทางการไหลของของเหลว ที่ซึ่งชิ้นประกอบ เคลื่อนที่ได้ดังกล่าวได้รับการ ก่อรูปขึ้นมาจากชั้นปก ป้องด้านล่าง ชั้นความต้านทานที่กำเนิดความร้อน ชั้นขั้วไฟฟ้าด้านล่าง ชั้นฉนวน ชั้นขั้วไฟฟ้าด้านบน และชั้นปกป้องด้านบน ซึ่งวาง ซ้อนกันจากทางด้านของชั้นฐานโดย เรียงตามลำดับดังกล่าว และ ที่ซึ่งการจ่ายแรงดันให้กับส่วนกำเนิดความร้อนของชั้นความ ต้านทานที่ กำเนิดความร้อนจะทำให้เกิดฟองของของเหลวอยู่ใน เส้นทางการไหลของของเหลวระหว่างชิ้น ประกอบเคลื่อนที่ได้และ ชั้นฐาน เพื่อที่จะปล่อยของเหลว

Claims (6)

1. หัวปล่อยของเหลวซึ่งประกอบด้วย ชั้นฐาน แผ่นเพดานที่เชื่อมผนึกอยู่กับชั้นฐาน เส้น ทางการไหลของของเหลวซึ่งก่อรูปอยู่ ระหว่างชั้นฐานและแผ่นเพดาน และชิ้นประกอบเคลื่อนที่ได้ ซึ่ง มีลัการะคล้ายคานยื่นที่มีด้านปลายยึดอยู่กับที่ ซึ่งยึด ติดอยู่กับชั้นฐานและด้านปลายอิสระที่ยื่นเข้า ไปในเส้นทาง การไหลของของเหลว ที่ซึ่งชิ้นประกอบเคลื่อนที่ได้ดังกล่าว ได้รับการก่อรูปขึ้นมาจาก ชั้นปกป้องด้านล่าง ชั้นความต้าน ทานที่กำ เนิดความร้อน ชั้นขั่วไฟฟ้าด้านล่าง ชั้นฉนวน ชั้นขั้ว ไฟฟ้าด้าน บน และชั้นปกป้องด้านบน ซึ่งวางซ้อนกันจากทางด้านของชั้นฐานโดย เรียงตามลำดับดัง กล่าว และที่ซึ่งการจ่ายแรงดันให้กับส่วน กำเนิดความร้อนของชั้นความต้านทานที่กำเนิดความร้อน จะทำให้ เกิดฟองของของเหลวอยู่ในเส้นทางการไหลของของเหลวระหว่าง ชิ้นประกอบของเคลื่อนที่ได้ และชั้นฐาน เพื่อที่จะปล่อยของเ หลว 2. หัวปล่อยของเหลวตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่งชั้นขั้ว ไฟฟ้าด้านบนและชั้นขั้วไฟฟ้าด้านล่าง ได้รับการก่อรูปขึ้นมา จากโลหะที่มีจุดหลอมเหลวสูง 3. หัวปล่อยของเหลวตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่งชั้นฉนวนได้ รับการสร้างขึ้นมาจาก SiN 4. หัวปล่อยของเหลวตามข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งชั้นความต้าน ทานที่กำเนิดความร้อนได้รับการ เชื่อมต่อทางไฟฟ้ากับชั้นขั้ว ไฟฟ้าทางด้านต้นทางและทางด้านปลายทาง ในทิศทางการปล่อยออก ของ ส่วนกำเนิดความร้อน 5. หัวปล่อยของเหลวตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่งชั้นขั้ว ไฟฟ้าด้านบนและชั้นขั้วไฟฟ้าด้านล่าง ได้รับการก่อรูปขึ้น เพื่อทำให้มีช่วงตั้งแต่ทางด้านพื้นผิวด้านหน้าจนถึงด้าน พื้นผิวด้านหลังของ ชิ้นประกอบเคลื่อนที่ได้ 6. หัวปล่อยของเหลวตามข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งยังประกอบด้วย อุปกรณ์ทำความร้อนสำหรับการ ปรับ ซึ่งจัดเตรียมเอาไว้แยกต่าง หากจากส่วนกำเนิดความร้อนในเส้นทางการไหลของของเหลว โดย สอด คล้องกับอุปกรณ์ทำความร้อนสำหรับการปล่อยออก และวงจรขับ สำหรับอุปกรณ์ทำความร้อน สำหรับการปรับ สำหรับการขับอุปกรณ์ทำความร้อนสำหรับการปรับดังกล่าว 7. หัวปล่อยของเหลวตามข้อถือสิทธิที่ 6 ที่ซึ่งแรงดันที่จ่ายให้ กับอุปกรณ์ทำความร้อน สำหรับการปรับจะมีค่าต่ำกว่าแรงดันที่ จ่ายให้กับส่วนกับเนิดความร้อน 8. หัวปล่อยของเหลวตามข้อถือสิทธิที่ 7 ที่ซึ่งแผ่นเพดาน อาจจะได้รับการจัดเตรียมเอาไว้ ด้วยวงจรแปลงแรงดัน เพื่อรับ ประกันว่าแรงดันที่จ่ายให้กับอุปกรณ์ทำความร้อนสำหรับการ ปรับ โดยวงจรแปลงแรงดันดังกล่าว จะมีค่าต่ำกว่าแรงดันที่ จ่ายให้กับส่วนกำเนิดความร้อน 9.หัวปล่อยของเหลวตามข้อถือสิทธิที่ 7 ที่ซึ่งอุปกรณ์ทำ ความร้อนสำหรับการปรับได้รับ การเชื่อมต่อเข้ากับแหล่งกำลัง งานซึ่งแตกต่างจากแหล่งกำลังงานที่เชื่อมต่อกับส่วนกำเนิด ความร้อน เพื่อรับประกันว่าแรงดันที่จ่ายให้กับอุปกรณ์ทำความ ร้อนสำหรับการปรับจะมีค่าต่ำกว่าแรงดันที่จ่าย ให้กับ ส่วนกำเนิดความร้อน 1 0. หัวปล่อยของเหลวตามข้อถือสิทธิที่ 9 ที่ซึ่งแหล่งกำลัง งานที่เชื่อมต่อกับอุปกรณ์ทำความ ร้อนสำหรับการปรับ คือแหล่ง กำลังงานสำหรับวงจรตรรก 1

1. หัวปล่อยของเหลวตามข้อถือสิทธิที่ 6 ที่ซึ่งอุปกรณ์ทำ ความร้อนสำหรับการปรับได้รับ การจัดเตรียมอยู่ทางด้านปลาย ทาง ในทิศการปล่อยออกของส่วนกำเนิดความร้อน 1

2. หัวปล่อยของเหลวตามข้อถือสิทธิทธิที่ 6 ที่ซึ่งอุปกรณ์ ทำความร้อนสำหรับการปรับได้รับ การจัดเตรียมอยู่ทางด้านต้น ทางเมื่อ ในทิศการปล่อยออกของส่วนกำเนิดความร้อน 1

3. หัวปล่อยของเหลวตามข้อถือสิทธิที่ 6 ที่ซึ่งพื้นที่ของ อุปกรณ์ทำความร้อนสำหรับการ ปรับ มีขนาดเล็กกว่าพื้นที่ของ ส่วนกำเนิดความร้อน 1

4. หัวปล่อยของเหลวตามข้อถือสิทธิที่ 6 ที่ซึ่งพื้นที่ของ วงจรขับสำหรับอุปกรณ์ทำความ ร้อนสำหรับการปรับ มีขนาดเล็ก กว่าพื้นที่ของวงจรขับสำหรับส่วนกำเนิดความร้อน 1 5. หัวปล่อยของเหลวตามข้อถือสิทธิที่ 6 ที่ซึ่งส่วนกำเนิด สัญญาณของวงจรขับสำหรับส่วน กำเนิดความร้อน เป็นส่วนกำเนิด สัญญาณร่วมกันกับของวงจรขับสำหรับอุปกรณ์ทำความร้อนสำหรับ การ ปรับ 1 6. หัวปล่อยของเหลวตามข้อถือสิทธิที่ 6 ที่ซึ่งแผ่นเพดาน ยังประกอบด้วยตัวตรวจวัดอยู่ใน เส้นทางการไหลของของเหลว สำหรับการตรวจวัดสภาพภายในของเส้นทางการไหลของของเหลว โดยสอด คล้องกับอุปกรณ์ทำความร้อนสำหรับการปรับ 1 7. วิธีการผลิตหัวปล่อยของเหลวซึ่งปรกอบด้วย ชั้นฐาน แผ่น เพดานที่เชื่อมผนึกอยู่กับชั้น ฐาน เส้นทางการไหลของของเหลว ซึ่งก่อรูปอยู่ระหว่างชั้นฐานและแผ่นเพดาน และชิ้นประกอบ เค ลื่อนที่ได้ซึ่งมีลักษณะคล้ายคานยื่นมีด้านปลายยึดอยู่ กับที่ ซึ่งยึดติดอยู่กับชั้นฐานและด้านปลาย อิสระที่ยื่น เข้าไปในเส้นทางการไหลของของเหลว วิธีการดังกล่าวประกอบ ด้วยขั้นตอน การจัดเตรียมชิ้นประกอบการก่อรูปช่องว่างอยู่บนชั้นฐาน การก่อรูปชิ้นประกอบเคลื่อนที่ได้ของชั้นปกป้องด้านล่าง ชั้นความต้านทางที่กำเนิดความ ร้อน ชั้นขั้วไฟฟ้าด้านล่าง ชั้น ฉนวน ชั้นขั้วไฟฟ้าด้านบน และชั้นปกป้องด้านบนซึ่งวางซ้อนกัน จากทางด้านของฐานโดยเรียงตามลำดับดังกล่าว และ การกำจัดชิ้น ประกอบการก่อรูปช่องว่างอกไปเพื่อทำให้รูปทรงของชิ้นประกอบ เคลื่อนที่ได้ ให้มีรูปแบบของคานยื่น 1 8. วิธีการผลิตหัวปล่อยของเหลวตามข้อถือสิทธิที่ 17 ที่ ซึ่งชั้นขั้วไฟฟ้าด้านบนและชั้นขั้ว ไฟฟ้าด้านล่างได้รับการ ก่อรูปขึ้นมาจากโลหะที่มีจุดหลอมเหลวสูง 1 9. วิธีการผลิตหัวปล่อยของเหลวตามข้อถือสิทธิที่ 17 ที่ ซึ่งชั้นฉนวนได้รับการสร้างขึ้นมา จาก SiN 2 0. วิธีการผลิตหัวปล่อยของเหลวตามข้อถือสิทธิที่ 17 ที่ ซึ่งชั้นความต้านทานที่กำเนิดความ ร้อนได้รับการเชื่อมต่อทาง ไฟฟ้ากับชั้นขั้วไฟฟ้าทางด้านต้นทางและทางด้านปลายทาง ในทิศ การ ปล่อยออกของส่วนกำเนิดความร้อน 2 1. วิธีการผลิตหัวปล่อยของเหลวตามข้อถือสิทธิที่ 17 ที่ ซึ่งชั้นขั้วไฟฟ้าด้านบนและชั้นขั้ว ไฟฟ้าด้านล่าง ได้รับการ ก่อรูปขึ้นเพื่อทำให้มีช่วงตั้งแต่ทางด้านพื้นผิวด้านหน้า จนถึงทางด้านพื้นผิว ด้านหลังของชิ้นประกอบเคลื่อนที่ได้ 2 2. อุปกรณ์ไฟฟ้าเชิงกลระดับดับจุลภาคซึ่งประกอบด้วยชิ้น ประกอบเคลื่อนที่ได้ซึ่งมีลักษณะ คล้ายคานยื่นที่มีด้านปลาย ยึดอยู่กับที่ ซึ่งยึดติดอยู่กับชั้นฐานและด้านปลายอิสระที่ ยื่นเข้าไปในเส้น ทางการไหลของของเหลว ที่ซึ่งชิ้นประกอบ เคลื่อนที่ได้ดังกล่าวได้ รับการก่อรูปขึ้นมาจากชั้นปกป้อง ด้านล่าง ชั้นความต้านทาน ที่กำเนิดความร้อน ชั้นขั้วไฟฟ้าด้านล่าง ชั้นฉนวน ชั้นขั้วไฟฟ้าด้านบน และชั้นปกป้องด้านบนซึ่งวางซ้อนกันจากทางด้านของชั้นฐานโดย เรียงตามลำดับดังกล่าว และที่ซึ่ง การจ่ายแรงดันให้กับส่วน กำเนิดความร้อนของชั้นความต้านทานที่กำเนิดความร้อนจะทำให้ เกิดการ ทำความร้อนของของเหลวอยู่ในเส้นทางการ ไหลของของเหลว 2 3.อุปกรณ์ไฟฟ้าเชิงกลระดับจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 22 ที่ซึ่งชั้นขั้วไฟฟ้าด้านบนและชั้น ขั้วไฟฟ้าด้านล่างได้รับ การก่อรูปขึ้นมาจากโลหะที่มีจุดหลอมเหลวสูง 2 4.อุปกรณ์ไฟฟ้าเชิงกลระดับจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 23 ที่ซึ่งชั้นฉนวนได้รับการสร้างขึ้น มาจาก SiN 2

5. อุปกรณ์ไฟฟ้าเชิงกลระดับจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 22 ที่ซึ่งชั้นความต้านทานที่กำเนิด ความร้อนได้รับการเชื่อม ต่อทางไฟฟ้ากับชั้นขั้วไฟ้าทางด้านต้นทางและทางด้านปลายทาง ในทิศ การปล่อยออกของส่วนกำเนิดความร้อน 2

6. อุปกรณ์ไฟฟ้าเชิงกลระบบดับจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 22 ที่ซึ่งชั้นขั้วไฟฟ้าด้านบนและชั้น ขั้วไฟฟ้าด้านล่าง ได้รับ การก่อรูปขึ้นเพื่อทำให้มีช่วงตั้งแต่ทางด้านพื้นผิวด้าน หน้าจนถึงทางด้าน พื้นผิวด้านหลังของชิ้นประกอบเคลื่อนที่ ได้