TH34401B - สารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมและของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียม - Google Patents
สารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมและของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมInfo
- Publication number
- TH34401B TH34401B TH201004262A TH0201004262A TH34401B TH 34401 B TH34401 B TH 34401B TH 201004262 A TH201004262 A TH 201004262A TH 0201004262 A TH0201004262 A TH 0201004262A TH 34401 B TH34401 B TH 34401B
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- cerium
- abrasive
- viscous liquid
- conforming
- mass
- Prior art date
Links
Abstract
DC60 (13/12/45) สารขัดซึ่งประกอบด้วยซีเรียมออกไซด์ในฐานะเป็นส่วนประกอบหลัก มีความหนาแน่น จำเพาะรวมของตะกอนในช่วงเป็น 0.8 g/ml ถึง 1.0 g/ml เมื่อถูกกระจายในน้ำในปริมาณเป็น 10% โดยมวล มีขนาดอนุภาคระยะแรกในช่วงเป็น 40 nm ถึง 80 nm และพื้นที่ผิวจำเพาะในช่วงเป็น 2 ตารางเมตร/g ถึง 5 ตารางเมตร/g สารขัดที่ได้รับเช่นนี้จัดเตรียมสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมและของเหลวข้นของ สารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมซึ่งเพิ่มอัตราเร็วการขัดและทำให้เกิดรอยขีดข่วนจำนวนน้อยที่สร้างความ- เสียหายบนผิวหน้าของสารขัดและได้รับคุณภาพที่สูงของผิวหน้าที่ได้รับการขัด สารขัดซึ่งประกอบด้วยซีเรียมออกไซด์ในฐานะเป็นส่วนประกอบหลัก มีความหนาแน่น จำเพาะรวมของตะกอนในช่วงเป็น 0.8 g/ml ถึง 1.0 g/ml เมื่อถูกกระจายในน้ำในปริมาณเป็น 10% โดยมวล มีขนาดอนุภาคระยะแรกในช่วงเป็น 40 nm ถึง 80 nm และพื้นที่ผิวจำเพาะในช่วงเป็น 2 m2/g ถึง 5 m2/g สารขัดที่ได้รับเช่นนี้จัดเตรียมสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมและของเหลวข้นของ สารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมซึ่งเพิ่มอัตราเร็วการขัดและทำให้เกิดรอยขีดข่วนจำนวนน้อยที่สร้างความ- เสียหายบนผิวหน้าของสารขัดและได้รับคุณภาพที่สูงของผิวหน้าที่ได้รับการขัด
Claims (12)
1. สารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมซึ่งประกอบด้วยซีเรียมออกไซด์ในฐานะเป็นส่วนประกอบหลัก ที่ถูกแสดงลักษณะเฉพาะโดยซึ่งสารขัดมีความหนาแน่นจำเพาะรวมของตะกอนในช่วงเป็น 0.8 g/ml ถึง 1.0 g/ml เมื่อถูกกระจายในน้ำในปริมาณเป็น 10% โดยมวล ที่ถูกแสดงลักษณะเฉพาะโดย การได้รับขนาดอนุภาคระยะแรกในช่วงเป็น 40 nm ถึง 80 nm และที่ถูกแสดงลักษณะเฉพาะโดยการ ได้รับพื้นที่ผิวจำเพาะในช่วงเป็น 2m2/g ถึง 5m2/g
2. สารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมตามความสอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ถูกแสดงลักษณะเฉพาะ โดยประกอบด้วย Ce ในปริมาณเป็น 35% โดยมวลหรือมากกว่าดังที่ถูกวัดในปริมาณของซีเรียม ออกไซด์
3. ของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมที่ถูกก่อรูปโดยการกระจายสารขัดที่มีฐานเป็น ซีเรียมในตัวกลางการกระจายตามความสอดคล้องกับข้อถือสิทธิ 1 หรือ 2 บรรลุถึงความเข้มข้น ในช่วงเป็น 5% ถึง 30% โดยมวล
4. ของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมตามความสอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 3 ที่ถูก แสดงลักษณะเฉพาะโดยที่ตัวกลางการกระจายเป็นน้ำ
5. ของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมตามความสอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 3 ที่ถูก แสดงลักษณะเฉพาะโดยที่ตัวกลางการกระจายเป็นตัวทำละลายอินทรีย์
6. ของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมตามความสอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 5 ที่ถูก แสดงลักษณะเฉพาะโดยที่ตัวทำละลายอินทรีย์ประกอบด้วยอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดที่ถูกเลือกจาก หมู่ซึ่งประกอบด้วยแอลกอฮอล์ พอลิออล แอซีโทนและเตตระไฮโดรฟูแรน
7. ของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมตามความสอดคล้องกับข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือ สิทธิข้อ 3 ถึง 6 ที่ถูกแสดงลักษณะเฉพาะโดยประกอบด้วยสารลดแรงตึงผิว
8. ของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมตามความสอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 7 ที่ถูก แสดงลักษณะเฉพาะโดยสารลดแรงตึงผิวอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดถูกเลือกจากหมู่ซึ่งประกอบด้วย สารลดแรงตึงผิวชนิดแอนไอออนิกและสารลดแรงตึงผิวชนิดนอนไอออนิก
9. ของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมตามความสอดคล้องกับข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือ สิทธิข้อ 8 ที่ถูกแสดงลักษณะเฉพาะโดยที่สารลดแรงตึงผิวชนิดแอนไอออนิกอย่างน้อยที่สุดหนึ่ง ชนิดถูกเลือกจากหมู่ซึ่งประกอบด้วยคาร์บอกซิเลต ซัลโฟเนต ซัลเฟตและหรือฟอสเฟตซึ่งมี น้ำหนักน้ำหนักโมเลกุลต่ำหรือน้ำหนักโมเลกุลสูง
10. ของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมตามความสอดคล้องกับข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือ สิทธิข้อ 8 ที่ถูกแสดงลักษณะเฉพาะโดยที่สารลดแรงตึงผิวชนิดนอนไอออนิกอย่างน้อยที่สุดถูก เลือกจากหมู่ซึ่งประกอบด้วยพอลิออกซีเอธิลีนอัลคิลฟีนอลอีเธอร์ พอลิออกซีเอธิลีนอัลคิลอีเธอร์ และพอลิออกซีเอธิลีนแฟตตีแอสิดเอสเทอร์
11. วิธีการสำหรับการขัดซับสเทรตที่เป็นแก้วโดยใช้ของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียม ตามความสอดคล้องกับข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อ 3 ถึง 10
12. กระบวนการสำหรับการผลิตซับสเทรตที่เป็นแก้วซึ่งรวมไปถึงขั้นตอนของการใช้วิธีการ สำหรับการขัดซับสเทรตที่เป็นแก้วตามความสอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 11
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH64980A TH64980A (th) | 2004-11-18 |
| TH34401B true TH34401B (th) | 2012-11-26 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5689970B2 (ja) | 高速及び低欠陥性のシリコン研磨組成物 | |
| KR101685144B1 (ko) | 개선된 psd 성능을 갖는 규소 연마 조성물 | |
| KR101477826B1 (ko) | 유리 연마 조성물 및 방법 | |
| KR101333866B1 (ko) | 산화인듐주석 표면의 cmp를 위한 조성물 및 방법 | |
| CN105038605B (zh) | 蓝宝石粗磨液 | |
| CN103937414B (zh) | 一种计算机硬盘盘基片的精抛光液 | |
| US20070270085A1 (en) | Chemical mechanical polishing slurry, cmp process and electronic device process | |
| CA2315057A1 (en) | Process for producing semiconductor device | |
| RU2006104117A (ru) | Абразивные частицы для механической полировки | |
| JP6375623B2 (ja) | 研磨剤、研磨剤セット及び基体の研磨方法 | |
| KR20110076796A (ko) | 합성 석영 유리 기판의 제조 방법 | |
| CN102369268A (zh) | 脆性材料用加工液以及硬质材料用加工液 | |
| CN115044299A (zh) | 一种水溶性高比重大尺寸磨料悬浮助剂、制备方法、用途及包含其的研磨液 | |
| CN104736651A (zh) | 添加剂混合物和组合物以及用于抛光玻璃基底的方法 | |
| CN113105952A (zh) | 一种汽车玻璃清洁剂及其制备方法和应用 | |
| CN105038607A (zh) | 高效蓝宝石精磨方法及精磨液 | |
| CN112680110A (zh) | 一种新型环保的微乳液型金刚石抛光液 | |
| EP1554357A1 (en) | Polishing slurry and polished substrate | |
| EP0258707B1 (en) | Liquid cleanser composition | |
| TH64980A (th) | สารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมและของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียม | |
| CN109551312A (zh) | 一种钛宝石的表面冷加工方法 | |
| JP2001300285A (ja) | 研磨用砥粒分散剤及び研磨用スラリー | |
| JP7096714B2 (ja) | 研磨液組成物用シリカスラリー | |
| KR20110104066A (ko) | 와이어 쏘잉 동안 건조 상태를 개선시키는 조성물 | |
| JPH11246847A (ja) | 研磨液組成物 |