TH34401B - สารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมและของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียม - Google Patents

สารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมและของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียม

Info

Publication number
TH34401B
TH34401B TH201004262A TH0201004262A TH34401B TH 34401 B TH34401 B TH 34401B TH 201004262 A TH201004262 A TH 201004262A TH 0201004262 A TH0201004262 A TH 0201004262A TH 34401 B TH34401 B TH 34401B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
cerium
abrasive
viscous liquid
conforming
mass
Prior art date
Application number
TH201004262A
Other languages
English (en)
Other versions
TH64980A (th
Inventor
เบสโช นายนาโอกิ
Original Assignee
โชวะ เดนโกะ เคเค
นางดารานีย์ วัจนะวุฒิวงศ์
นางสาวสนธยา สังขพงศ์
นายธเนศ เปเรร่า
นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า
นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า นายธเนศ เปเรร่า นางดารานีย์ วัจนะวุฒิวงศ์ นางสาวสนธยา สังขพงศ์
Filing date
Publication date
Application filed by โชวะ เดนโกะ เคเค, นางดารานีย์ วัจนะวุฒิวงศ์, นางสาวสนธยา สังขพงศ์, นายธเนศ เปเรร่า, นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า, นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า นายธเนศ เปเรร่า นางดารานีย์ วัจนะวุฒิวงศ์ นางสาวสนธยา สังขพงศ์ filed Critical โชวะ เดนโกะ เคเค
Publication of TH64980A publication Critical patent/TH64980A/th
Publication of TH34401B publication Critical patent/TH34401B/th

Links

Abstract

DC60 (13/12/45) สารขัดซึ่งประกอบด้วยซีเรียมออกไซด์ในฐานะเป็นส่วนประกอบหลัก มีความหนาแน่น จำเพาะรวมของตะกอนในช่วงเป็น 0.8 g/ml ถึง 1.0 g/ml เมื่อถูกกระจายในน้ำในปริมาณเป็น 10% โดยมวล มีขนาดอนุภาคระยะแรกในช่วงเป็น 40 nm ถึง 80 nm และพื้นที่ผิวจำเพาะในช่วงเป็น 2 ตารางเมตร/g ถึง 5 ตารางเมตร/g สารขัดที่ได้รับเช่นนี้จัดเตรียมสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมและของเหลวข้นของ สารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมซึ่งเพิ่มอัตราเร็วการขัดและทำให้เกิดรอยขีดข่วนจำนวนน้อยที่สร้างความ- เสียหายบนผิวหน้าของสารขัดและได้รับคุณภาพที่สูงของผิวหน้าที่ได้รับการขัด สารขัดซึ่งประกอบด้วยซีเรียมออกไซด์ในฐานะเป็นส่วนประกอบหลัก มีความหนาแน่น จำเพาะรวมของตะกอนในช่วงเป็น 0.8 g/ml ถึง 1.0 g/ml เมื่อถูกกระจายในน้ำในปริมาณเป็น 10% โดยมวล มีขนาดอนุภาคระยะแรกในช่วงเป็น 40 nm ถึง 80 nm และพื้นที่ผิวจำเพาะในช่วงเป็น 2 m2/g ถึง 5 m2/g สารขัดที่ได้รับเช่นนี้จัดเตรียมสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมและของเหลวข้นของ สารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมซึ่งเพิ่มอัตราเร็วการขัดและทำให้เกิดรอยขีดข่วนจำนวนน้อยที่สร้างความ- เสียหายบนผิวหน้าของสารขัดและได้รับคุณภาพที่สูงของผิวหน้าที่ได้รับการขัด

Claims (12)

1. สารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมซึ่งประกอบด้วยซีเรียมออกไซด์ในฐานะเป็นส่วนประกอบหลัก ที่ถูกแสดงลักษณะเฉพาะโดยซึ่งสารขัดมีความหนาแน่นจำเพาะรวมของตะกอนในช่วงเป็น 0.8 g/ml ถึง 1.0 g/ml เมื่อถูกกระจายในน้ำในปริมาณเป็น 10% โดยมวล ที่ถูกแสดงลักษณะเฉพาะโดย การได้รับขนาดอนุภาคระยะแรกในช่วงเป็น 40 nm ถึง 80 nm และที่ถูกแสดงลักษณะเฉพาะโดยการ ได้รับพื้นที่ผิวจำเพาะในช่วงเป็น 2m2/g ถึง 5m2/g
2. สารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมตามความสอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ถูกแสดงลักษณะเฉพาะ โดยประกอบด้วย Ce ในปริมาณเป็น 35% โดยมวลหรือมากกว่าดังที่ถูกวัดในปริมาณของซีเรียม ออกไซด์
3. ของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมที่ถูกก่อรูปโดยการกระจายสารขัดที่มีฐานเป็น ซีเรียมในตัวกลางการกระจายตามความสอดคล้องกับข้อถือสิทธิ 1 หรือ 2 บรรลุถึงความเข้มข้น ในช่วงเป็น 5% ถึง 30% โดยมวล
4. ของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมตามความสอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 3 ที่ถูก แสดงลักษณะเฉพาะโดยที่ตัวกลางการกระจายเป็นน้ำ
5. ของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมตามความสอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 3 ที่ถูก แสดงลักษณะเฉพาะโดยที่ตัวกลางการกระจายเป็นตัวทำละลายอินทรีย์
6. ของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมตามความสอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 5 ที่ถูก แสดงลักษณะเฉพาะโดยที่ตัวทำละลายอินทรีย์ประกอบด้วยอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดที่ถูกเลือกจาก หมู่ซึ่งประกอบด้วยแอลกอฮอล์ พอลิออล แอซีโทนและเตตระไฮโดรฟูแรน
7. ของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมตามความสอดคล้องกับข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือ สิทธิข้อ 3 ถึง 6 ที่ถูกแสดงลักษณะเฉพาะโดยประกอบด้วยสารลดแรงตึงผิว
8. ของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมตามความสอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 7 ที่ถูก แสดงลักษณะเฉพาะโดยสารลดแรงตึงผิวอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดถูกเลือกจากหมู่ซึ่งประกอบด้วย สารลดแรงตึงผิวชนิดแอนไอออนิกและสารลดแรงตึงผิวชนิดนอนไอออนิก
9. ของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมตามความสอดคล้องกับข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือ สิทธิข้อ 8 ที่ถูกแสดงลักษณะเฉพาะโดยที่สารลดแรงตึงผิวชนิดแอนไอออนิกอย่างน้อยที่สุดหนึ่ง ชนิดถูกเลือกจากหมู่ซึ่งประกอบด้วยคาร์บอกซิเลต ซัลโฟเนต ซัลเฟตและหรือฟอสเฟตซึ่งมี น้ำหนักน้ำหนักโมเลกุลต่ำหรือน้ำหนักโมเลกุลสูง
10. ของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมตามความสอดคล้องกับข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือ สิทธิข้อ 8 ที่ถูกแสดงลักษณะเฉพาะโดยที่สารลดแรงตึงผิวชนิดนอนไอออนิกอย่างน้อยที่สุดถูก เลือกจากหมู่ซึ่งประกอบด้วยพอลิออกซีเอธิลีนอัลคิลฟีนอลอีเธอร์ พอลิออกซีเอธิลีนอัลคิลอีเธอร์ และพอลิออกซีเอธิลีนแฟตตีแอสิดเอสเทอร์
11. วิธีการสำหรับการขัดซับสเทรตที่เป็นแก้วโดยใช้ของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียม ตามความสอดคล้องกับข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อ 3 ถึง 10
12. กระบวนการสำหรับการผลิตซับสเทรตที่เป็นแก้วซึ่งรวมไปถึงขั้นตอนของการใช้วิธีการ สำหรับการขัดซับสเทรตที่เป็นแก้วตามความสอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 11
TH201004262A 2002-11-15 สารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมและของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียม TH34401B (th)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH64980A TH64980A (th) 2004-11-18
TH34401B true TH34401B (th) 2012-11-26

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5689970B2 (ja) 高速及び低欠陥性のシリコン研磨組成物
KR101685144B1 (ko) 개선된 psd 성능을 갖는 규소 연마 조성물
KR101477826B1 (ko) 유리 연마 조성물 및 방법
KR101333866B1 (ko) 산화인듐주석 표면의 cmp를 위한 조성물 및 방법
CN105038605B (zh) 蓝宝石粗磨液
CN103937414B (zh) 一种计算机硬盘盘基片的精抛光液
US20070270085A1 (en) Chemical mechanical polishing slurry, cmp process and electronic device process
CA2315057A1 (en) Process for producing semiconductor device
RU2006104117A (ru) Абразивные частицы для механической полировки
JP6375623B2 (ja) 研磨剤、研磨剤セット及び基体の研磨方法
KR20110076796A (ko) 합성 석영 유리 기판의 제조 방법
CN102369268A (zh) 脆性材料用加工液以及硬质材料用加工液
CN115044299A (zh) 一种水溶性高比重大尺寸磨料悬浮助剂、制备方法、用途及包含其的研磨液
CN104736651A (zh) 添加剂混合物和组合物以及用于抛光玻璃基底的方法
CN113105952A (zh) 一种汽车玻璃清洁剂及其制备方法和应用
CN105038607A (zh) 高效蓝宝石精磨方法及精磨液
CN112680110A (zh) 一种新型环保的微乳液型金刚石抛光液
EP1554357A1 (en) Polishing slurry and polished substrate
EP0258707B1 (en) Liquid cleanser composition
TH64980A (th) สารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมและของเหลวข้นของสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียม
CN109551312A (zh) 一种钛宝石的表面冷加工方法
JP2001300285A (ja) 研磨用砥粒分散剤及び研磨用スラリー
JP7096714B2 (ja) 研磨液組成物用シリカスラリー
KR20110104066A (ko) 와이어 쏘잉 동안 건조 상태를 개선시키는 조성물
JPH11246847A (ja) 研磨液組成物