TH34401B - Cerium-based abrasives and cerium-based abrasives slurry - Google Patents
Cerium-based abrasives and cerium-based abrasives slurryInfo
- Publication number
- TH34401B TH34401B TH201004262A TH0201004262A TH34401B TH 34401 B TH34401 B TH 34401B TH 201004262 A TH201004262 A TH 201004262A TH 0201004262 A TH0201004262 A TH 0201004262A TH 34401 B TH34401 B TH 34401B
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- cerium
- accordance
- abrasive
- based abrasive
- slurry
- Prior art date
Links
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 title claims abstract 19
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract 18
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 title claims abstract 8
- 239000002002 slurry Substances 0.000 title claims abstract 6
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract 4
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract 3
- 239000010802 sludge Substances 0.000 claims abstract 3
- 235000008504 concentrate Nutrition 0.000 claims 4
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 claims 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 4
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 claims 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 3
- -1 polyoxymethylene Polymers 0.000 claims 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229930040373 Paraformaldehyde Natural products 0.000 claims 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 claims 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims 2
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 claims 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 claims 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims 1
- 150000005215 alkyl ethers Chemical class 0.000 claims 1
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 claims 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 claims 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 235000014666 liquid concentrate Nutrition 0.000 claims 1
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 claims 1
- 235000021317 phosphate Nutrition 0.000 claims 1
- 150000003013 phosphoric acid derivatives Chemical class 0.000 claims 1
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 claims 1
- 150000003077 polyols Chemical class 0.000 claims 1
- 150000003871 sulfonates Chemical class 0.000 claims 1
- 150000003467 sulfuric acid derivatives Chemical class 0.000 claims 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000002075 main ingredient Substances 0.000 abstract 2
Abstract
DC60 (13/12/45) สารขัดซึ่งประกอบด้วยซีเรียมออกไซด์ในฐานะเป็นส่วนประกอบหลัก มีความหนาแน่น จำเพาะรวมของตะกอนในช่วงเป็น 0.8 g/ml ถึง 1.0 g/ml เมื่อถูกกระจายในน้ำในปริมาณเป็น 10% โดยมวล มีขนาดอนุภาคระยะแรกในช่วงเป็น 40 nm ถึง 80 nm และพื้นที่ผิวจำเพาะในช่วงเป็น 2 ตารางเมตร/g ถึง 5 ตารางเมตร/g สารขัดที่ได้รับเช่นนี้จัดเตรียมสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมและของเหลวข้นของ สารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมซึ่งเพิ่มอัตราเร็วการขัดและทำให้เกิดรอยขีดข่วนจำนวนน้อยที่สร้างความ- เสียหายบนผิวหน้าของสารขัดและได้รับคุณภาพที่สูงของผิวหน้าที่ได้รับการขัด สารขัดซึ่งประกอบด้วยซีเรียมออกไซด์ในฐานะเป็นส่วนประกอบหลัก มีความหนาแน่น จำเพาะรวมของตะกอนในช่วงเป็น 0.8 g/ml ถึง 1.0 g/ml เมื่อถูกกระจายในน้ำในปริมาณเป็น 10% โดยมวล มีขนาดอนุภาคระยะแรกในช่วงเป็น 40 nm ถึง 80 nm และพื้นที่ผิวจำเพาะในช่วงเป็น 2 m2/g ถึง 5 m2/g สารขัดที่ได้รับเช่นนี้จัดเตรียมสารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมและของเหลวข้นของ สารขัดที่มีฐานเป็นซีเรียมซึ่งเพิ่มอัตราเร็วการขัดและทำให้เกิดรอยขีดข่วนจำนวนน้อยที่สร้างความ- เสียหายบนผิวหน้าของสารขัดและได้รับคุณภาพที่สูงของผิวหน้าที่ได้รับการขัด DC60 (13/12/45) An abrasive containing cerium oxide as the main ingredient. dense The total specificity of the sludge ranges from 0.8 g/ml to 1.0 g/ml when dispersed in water as 10% by mass. The initial particle size ranges from 40 nm to 80 nm and the specific surface area in the range is 2 tables. m/g to 5 m/g The abrasive obtained like this provides a cerium-based abrasive and slurry of Cerium-based abrasives which increase the polishing speed and cause a small number of damaging scratches on the abrasive surface and achieve high quality of the polished surface. An abrasive containing cerium oxide as the main ingredient. dense The total specificity of the sludge ranges from 0.8 g/ml to 1.0 g/ml when dispersed in water as 10% by mass. It has an initial particle size in the range of 40 nm to 80 nm and a specific surface area in the range of 2 m2. /g to 5 m2/g The abrasive obtained like this provides a cerium-based abrasive and a slurry of Cerium-based abrasives which increase the polishing speed and cause a small number of damaging scratches on the abrasive surface and achieve high quality of the polished surface.
Claims (2)
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH64980A TH64980A (en) | 2004-11-18 |
| TH34401B true TH34401B (en) | 2012-11-26 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN109135580B (en) | Polishing solution for glass and preparation method thereof | |
| EP2665792B1 (en) | Silicon polishing compositions with improved psd performance | |
| TW200724658A (en) | Abrasive for silicon oxide, additive liquid and polishing method | |
| RU2006104117A (en) | ABRASIVE PARTICLES FOR MECHANICAL POLISHING | |
| CN105038605B (en) | Sapphire roughly grinds liquid | |
| CN103965790B (en) | Zr-Al-Ce polishing solution and preparation method thereof | |
| WO2012030752A2 (en) | Silicon polishing compositions with high rate and low defectivity | |
| TW200840860A (en) | Compositions and methods for CMP of low-k dielectric materials | |
| CN105038607B (en) | Efficient sapphire methods of refining and fine grinding fluid | |
| WO1998021289A1 (en) | Abrasive composition for the base of magnetic recording medium and process for producing the base by using the same | |
| MY129818A (en) | Method for manufacturing substrate | |
| CN113105952A (en) | Automobile glass cleaning agent and preparation method and application thereof | |
| CN112680110A (en) | Novel environment-friendly microemulsion type diamond polishing solution | |
| MY142247A (en) | Polishing composition | |
| CN108250980A (en) | A kind of optical glass polishing high concentration cerium oxide polishing slurry | |
| US10179870B2 (en) | Abrasive composition | |
| US8251777B2 (en) | Polishing slurry for aluminum and aluminum alloys | |
| KR101485630B1 (en) | Polishing composition | |
| TH34401B (en) | Cerium-based abrasives and cerium-based abrasives slurry | |
| CN110862773B (en) | Core-shell structure nano abrasive polishing solution and preparation method thereof | |
| TH64980A (en) | Cerium-based abrasives and cerium-based abrasives slurry | |
| CN110684420A (en) | High-transmittance dustproof anti-fouling matte finish paint and preparation method thereof | |
| CN107663422B (en) | Ceramic polishing grinding fluid | |
| US20180072916A1 (en) | Diamond-based slurries with improved sapphire removal rate and surface roughness | |
| JP4021080B2 (en) | Polishing liquid composition |