TH170282A

TH170282A - แหล่งระเหยอาร์ค

Info

Publication number: TH170282A
Application number: TH1501006552A
Authority: TH
Inventors: เคน; ชินจิ; โทโมยะสุ; นัวโต; นาราฮาระ; มาทสุโน; โยชิฮาร่า; อิโรชิ; โอคาซากิ; ไอชิซูกะ
Original assignee: ดรพูนเดช ไกรฤทธิ์; นิปปอน ไอทีเอฟ
Filing date: 2013-04-30
Publication date: 2017-11-09

Abstract

แหล่งระเหยอาร์คซึ่งละลายวัสดุแคโทดโดยอาร์คคายประจุในสุญญากาศ ทำให้ระเหย และ สร้างฟิล์มที่พื้นผิวซับสเตรตซึ่งมีแคโทดซึ่งมีการขึ้นรูปเกือบเป็นรูปร่างแผ่นวงกลม และวิถีทางกำเนิด สนามแม่เหล็กซึ่งมีการจัดวางที่ด้านหน้าหลังของแคโทดดังกล่าว วิถีทางกำเนิดสนามแม่เหล็กดังกล่าว มีการสร้างในลักษณะทำให้เกิดสนามแม่เหล็กซึ่งมีการขึ้นรูปโดยเส้นแรงแม่เหล็กมุมแหลมต่อทิศทาง ซับสเตรตดังกล่าวที่หน้ารอบนอกของแคโทด เส้นแรงแม่เหล็กเกือบตั้งฉากต่อหน้าคายประจุที่ส่วนรอบ นอกสุดของหน้าคายประจุของแคโทด เส้นแรงแม่เหล็กมุมแหลมตอ่ทิศทางศูนย์กลางของแคโทดของ บริเวณค่อนไปหน้ารอบนอกของหน้าคายประจุของแคโทดโดยอย่างน้อยหนึ่งแม่เหล็กถาวรซึ่งมีการจัด วางในลักษณะที่ขั้วแม่เหล็กมีการหันในทิศทาง 20 องศา-50 องศ่าต่อหน้าคายประจุของหน้าด้านหลัง ของแคโทด สามารถใช้ประโยชน์แคโทดจนถึงส่วนรอบนอกสุดและสามารเพิ่มประมิทธิภาพการใช้ ประโยชน์ของวัสดุแคโทดขึ้นอย่างผิดหูผิดตา รูปที่เลือกใช้ รูปที่ 1

Claims

: แหล่งระเหยอาร์คซึ่งละลายวัสดุแคโทดโดยอาร์คคายประจุในสุญญากาศ ทำให้ระเหย และ สร้างฟิล์มที่พื้นผิวซับสเตรตซึ่งมีแคโทดซึ่งมีการขึ้นรูปเกือบเป็นรูปร่างแผ่นวงกลม และวิถีทางกำเนิด สนามแม่เหล็กซึ่งมีการจัดวางที่ด้านหน้าหลังของแคโทดดังกล่าว วิถีทางกำเนิดสนามแม่เหล็กดังกล่าว มีการสร้างในลักษณะทำให้เกิดสนามแม่เหล็กซึ่งมีการขึ้นรูปโดยเส้นแรงแม่เหล็กมุมแหลมต่อทิศทาง ซับสเตรตดังกล่าวที่หน้ารอบนอกของแคโทด เส้นแรงแม่เหล็กเกือบตั้งฉากต่อหน้าคายประจุที่ส่วนรอบ นอกสุดของหน้าคายประจุของแคโทด เส้นแรงแม่เหล็กมุมแหลมตอ่ทิศทางศูนย์กลางของแคโทดของ บริเวณค่อนไปหน้ารอบนอกของหน้าคายประจุของแคโทดโดยอย่างน้อยหนึ่งแม่เหล็กถาวรซึ่งมีการจัด วางในลักษณะที่ขั้วแม่เหล็กมีการหันในทิศทาง 20 องศา-50 องศ่าต่อหน้าคายประจุของหน้าด้านหลัง ของแคโทด สามารถใช้ประโยชน์แคโทดจนถึงส่วนรอบนอกสุดและสามารเพิ่มประมิทธิภาพการใช้ ประโยชน์ของวัสดุแคโทดขึ้นอย่างผิดหูผิดตา รูปที่เลือกใช้ รูปที่ 1ข้อถือสิทธิ์ (ข้อที่หนึ่ง) ซึ่งจะปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา : แก้ไข 12/01/2559

1. แหล่งระเหยอาร์คสำหรับละลายและระเหยวัสดุแคโทดโดยอาร์คคายประจุในสุญญากาศ สำหรับสร้างฟิล์มที่พื้นผิวซับสเตรต ประกอบด้วย แคโทดซึ่งมีการขึ้นรูปเกือบเป็นรูปร่างแผ่นวงกลม อุปกรณ์กำเนิดสนามแม่เหล็กซึ่งมีการจัดวางที่ ด้านหลังของแทโทดดังกล่าว ที่ซึ่งมีลักษณะเฉพาะ คือ อุปกรณ์กำเนิดสนามแม่เหล็กดังกล่าวซึ่งสร้างสนามแม่เหล็กให้เกิดขึ้น เส้นแรงแม่เหล็กซึ่งมีการจัแท็ก :