TH170282A - Arc evaporation source - Google Patents

Arc evaporation source

Info

Publication number
TH170282A
TH170282A TH1501006552A TH1501006552A TH170282A TH 170282 A TH170282 A TH 170282A TH 1501006552 A TH1501006552 A TH 1501006552A TH 1501006552 A TH1501006552 A TH 1501006552A TH 170282 A TH170282 A TH 170282A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
cathode
magnetic field
magnetic
discharge
periphery
Prior art date
Application number
TH1501006552A
Other languages
Thai (th)
Inventor
เคน
ชินจิ
โทโมยะสุ
นัวโต
นาราฮาระ
มาทสุโน
โยชิฮาร่า
อิโรชิ
โอคาซากิ
ไอชิซูกะ
Original Assignee
ดรพูนเดช ไกรฤทธิ์
นิปปอน ไอทีเอฟ
Filing date
Publication date
Application filed by ดรพูนเดช ไกรฤทธิ์, นิปปอน ไอทีเอฟ filed Critical ดรพูนเดช ไกรฤทธิ์
Publication of TH170282A publication Critical patent/TH170282A/en

Links

Abstract

แหล่งระเหยอาร์คซึ่งละลายวัสดุแคโทดโดยอาร์คคายประจุในสุญญากาศ ทำให้ระเหย และ สร้างฟิล์มที่พื้นผิวซับสเตรตซึ่งมีแคโทดซึ่งมีการขึ้นรูปเกือบเป็นรูปร่างแผ่นวงกลม และวิถีทางกำเนิด สนามแม่เหล็กซึ่งมีการจัดวางที่ด้านหน้าหลังของแคโทดดังกล่าว วิถีทางกำเนิดสนามแม่เหล็กดังกล่าว มีการสร้างในลักษณะทำให้เกิดสนามแม่เหล็กซึ่งมีการขึ้นรูปโดยเส้นแรงแม่เหล็กมุมแหลมต่อทิศทาง ซับสเตรตดังกล่าวที่หน้ารอบนอกของแคโทด เส้นแรงแม่เหล็กเกือบตั้งฉากต่อหน้าคายประจุที่ส่วนรอบ นอกสุดของหน้าคายประจุของแคโทด เส้นแรงแม่เหล็กมุมแหลมตอ่ทิศทางศูนย์กลางของแคโทดของ บริเวณค่อนไปหน้ารอบนอกของหน้าคายประจุของแคโทดโดยอย่างน้อยหนึ่งแม่เหล็กถาวรซึ่งมีการจัด วางในลักษณะที่ขั้วแม่เหล็กมีการหันในทิศทาง 20 องศา-50 องศ่าต่อหน้าคายประจุของหน้าด้านหลัง ของแคโทด สามารถใช้ประโยชน์แคโทดจนถึงส่วนรอบนอกสุดและสามารเพิ่มประมิทธิภาพการใช้ ประโยชน์ของวัสดุแคโทดขึ้นอย่างผิดหูผิดตา รูปที่เลือกใช้ รูปที่ 1 Arc evaporation source, which dissolves the cathode material by a vacuum-discharging arc, evaporates and forms a film on the cathode substrate surface, forming almost a circular disc shape. And the way of origin A magnetic field, which is located in front of the cathode. Pathway to generate such a magnetic field It is created in such a way that a magnetic field is formed by magnetic lines of sharp angles to direction. Such a substrate on the periphery of the cathode. The magnetic line is almost perpendicular to the perpendicular discharge. Outermost of the cathode discharge face Magnetic line of force is an acute angle towards the center direction of the cathode of The area towards the periphery of the cathode discharge face by at least one permanent magnet, which is Placed in such a way that the magnetic pole is turned in the direction of 20 degrees -50 degrees to the discharge of the cathode back front, the cathode can be utilized to the periphery and can improve the efficiency of the use. The benefits of the cathode material are unusual. Selected picture Figure 1

Claims (1)

: แหล่งระเหยอาร์คซึ่งละลายวัสดุแคโทดโดยอาร์คคายประจุในสุญญากาศ ทำให้ระเหย และ สร้างฟิล์มที่พื้นผิวซับสเตรตซึ่งมีแคโทดซึ่งมีการขึ้นรูปเกือบเป็นรูปร่างแผ่นวงกลม และวิถีทางกำเนิด สนามแม่เหล็กซึ่งมีการจัดวางที่ด้านหน้าหลังของแคโทดดังกล่าว วิถีทางกำเนิดสนามแม่เหล็กดังกล่าว มีการสร้างในลักษณะทำให้เกิดสนามแม่เหล็กซึ่งมีการขึ้นรูปโดยเส้นแรงแม่เหล็กมุมแหลมต่อทิศทาง ซับสเตรตดังกล่าวที่หน้ารอบนอกของแคโทด เส้นแรงแม่เหล็กเกือบตั้งฉากต่อหน้าคายประจุที่ส่วนรอบ นอกสุดของหน้าคายประจุของแคโทด เส้นแรงแม่เหล็กมุมแหลมตอ่ทิศทางศูนย์กลางของแคโทดของ บริเวณค่อนไปหน้ารอบนอกของหน้าคายประจุของแคโทดโดยอย่างน้อยหนึ่งแม่เหล็กถาวรซึ่งมีการจัด วางในลักษณะที่ขั้วแม่เหล็กมีการหันในทิศทาง 20 องศา-50 องศ่าต่อหน้าคายประจุของหน้าด้านหลัง ของแคโทด สามารถใช้ประโยชน์แคโทดจนถึงส่วนรอบนอกสุดและสามารเพิ่มประมิทธิภาพการใช้ ประโยชน์ของวัสดุแคโทดขึ้นอย่างผิดหูผิดตา รูปที่เลือกใช้ รูปที่ 1ข้อถือสิทธิ์ (ข้อที่หนึ่ง) ซึ่งจะปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา : แก้ไข 12/01/2559: Arc evaporation source, which dissolves the cathode material by a vacuum-discharging arc, evaporates and forms a film on the cathode substrate surface, forming almost a circular disc shape. And the way of origin A magnetic field, which is located in front of the cathode. Pathway to generate such a magnetic field It is created in such a way that a magnetic field is formed by magnetic lines of sharp angles to direction. Such a substrate on the periphery of the cathode. The magnetic line is almost perpendicular to the perpendicular discharge. The outermost of the cathode discharge face Magnetic line of force is an acute angle towards the center direction of the cathode of The area towards the periphery of the cathode discharge face by at least one permanent magnet, which is Placed in such a way that the magnetic pole is turned in the direction of 20 degrees -50 degrees to the discharge of the cathode back front, the cathode can be utilized to the periphery and can improve the efficiency of the use. The benefits of the cathode material are unusual. Figure selected for use Figure 1 Claims (Item one) which will appear on the advertisement page: edit 12/01/2016 1. แหล่งระเหยอาร์คสำหรับละลายและระเหยวัสดุแคโทดโดยอาร์คคายประจุในสุญญากาศ สำหรับสร้างฟิล์มที่พื้นผิวซับสเตรต ประกอบด้วย แคโทดซึ่งมีการขึ้นรูปเกือบเป็นรูปร่างแผ่นวงกลม อุปกรณ์กำเนิดสนามแม่เหล็กซึ่งมีการจัดวางที่ ด้านหลังของแทโทดดังกล่าว ที่ซึ่งมีลักษณะเฉพาะ คือ อุปกรณ์กำเนิดสนามแม่เหล็กดังกล่าวซึ่งสร้างสนามแม่เหล็กให้เกิดขึ้น เส้นแรงแม่เหล็กซึ่งมีการจัแท็ก :1. Arc evaporation source for dissolving and evaporating cathode materials by vacuum discharge arc. For creating a film on the substrate surface consisting of a cathode, which is formed almost in a circular disc shape. A magnetic field generator device, which is located at Behind the said Tathod Where unique is the magnetic field generating device that generates a magnetic field Magnetic force lines, which are tagged:
TH1501006552A 2013-04-30 Arc evaporation source TH170282A (en)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TH170282A true TH170282A (en) 2017-11-09

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AR098753A1 (en) PROCESSES TO PRODUCE LAYERS OF EFFECT
BR112016027039A8 (en) pointing pen and pointing pen charging system
MX346051B (en) SPRAYER WITH REPELLENT MAGNETS.
EP2763298A3 (en) Power transmission device
WO2007113357B1 (en) Magnetic motor
TH170282A (en) Arc evaporation source
MX363412B (en) Arc evaporation source.
JP2015017304A5 (en)
MX2017003508A (en) METHOD AND DEVICE FOR MAGNETIZING A PACKING MATERIAL, AND PACKING MATERIAL MAGNETIZED WITH THE METHOD.
TWM512853U (en) Electromagnetic device
IN2014MN01440A (en)
CL2017000838A1 (en) Heat generation system by magnetic induction
MX369729B (en) Arc evaporation source.
AR078066A1 (en) MOTOR MAGNETIC ASSEMBLY
ES2539062A1 (en) Electrical energy generation device in potable water pipes through an improved turbine and an electric generator of permanent magnets (Machine-translation by Google Translate, not legally binding)
TH149120B (en) Power generator
Schram et al. To Yang Lingde 1 (December 14, 1938)
MY182517A (en) Permanent magnet exciter and generator allowing highly efficient delivery of power
JP3164447U (en) Improved power machine using permanent magnets
CN104121256A (en) Fixing device for irregular product
RU2011147336A (en) DEVICE FOR MAGNETO-ULTRASOUND PROCESSING OF POLYMERS
Несина THE ROLE OF FILM ART IN GLOBALIZING WORLD
UA107453U (en) METHOD OF ADVERTISING WITH THE HELP OF ADVERTISING AND ADDITIONAL ADVERTISING MEDIA
MX2018015048A (en) MAGNETIC ROTATION COMPONENT.
TH94000B (en) Portable devices for generating a magnetic field in magnetic therapy.