TH15410B - วิธีการและอุปกรณ์สำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็ง - Google Patents
วิธีการและอุปกรณ์สำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็งInfo
- Publication number
- TH15410B TH15410B TH9701000687A TH9701000687A TH15410B TH 15410 B TH15410 B TH 15410B TH 9701000687 A TH9701000687 A TH 9701000687A TH 9701000687 A TH9701000687 A TH 9701000687A TH 15410 B TH15410 B TH 15410B
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- plate
- rotation
- turntable
- abrasive
- abrasive material
- Prior art date
Links
Abstract
DC60 (13/06/46) วิธีการและอุปกรณ์สำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็ง ซึ่งจะทำการขัดถู จานบันทึกโดยสม่ำเสมอ ซึ่งจะกำจัดไฟฟ้าจากความเสียดทานระหว่างจานบันทึกและวัสดุสำหรับ ขัด และซึ่งจะป้องกันจานบันทึกจากการเปลี่ยนแปลงที่ถูกให้ความร้อนโดยใช้ความเสียดทาน แท่นหมุนสำหรับการวางจานบันทึกบนนั้น เป็นแท่นที่สามารถหมุนได้อย่างเป็น อิสระ โดยไม่ต้องเชื่อมต่อกับมอเตอร์ใดๆ หรือแรงขับเคลื่อนอื่นๆ วัสดุสำหรับขัดจะหมุนตาม แนวราบและขัดถูผิวหน้าของจานบันทึกโดยการสัมผัสกับผิวหน้าของมัน แท่นหมุนจะเลื่อนอย่าง สัมพัทธ์ต้านกับผิวหน้าของวัสดุสำหรับขัด แกนหมุนของวัสดุสำหรับขัดจะลาดเอียงเล็กน้อยเข้าหา ศูนย์กลางของแท่นหมุนจากแกนแนวดิ่งของจานบันทึก แท่นหมุนจะถูกหมุนในทิศทางตรงกันข้าม กับทิศทางการหมุนของจานบันทึก การหมุนของแท่นหมุนจะถูกทำให้เกิดขึ้นโดยการหมุนของวัสดุ สำหรับขัดที่ถูกส่งผ่านมาโดยความเสียดทานระหว่างจานบันทึกและแท่นหมุน จานบันทึกจะถูก เชื่อมต่อทางไฟฟ้าลงดินอย่างแท้จริงระหว่างการขัดถู วิธีการและอุปกรณ์สำหรับการขัดถูผิวหน้าของจานบันทึกชนิดแข็ง ซึ่งจะทำการขัดถู จานบันทึกโดยสม่ำเสมอ ซึ่งจะกำจัดไฟฟ้าจากความเสียดทานระหว่างจานบันทึกและวัสดุสำหรับ ขัด และซึ่งจะป้องกันจานบันทึกจากการเปลี่ยนแปลงที่ถูกให้ความร้อนโดยใช้ความเสียดทาน แท่นหมุนสำหรับการวางจานบันทึกบนนั้น เป็นแท่นที่สามารถหมุนได้อย่างเป็น อิสระ โดยไม่ต้องเชื่อมต่อกับมอเตอร์ใดๆ หรือแรงขับเคลื่อนอื่น ๆ วัสดุสำหรับขัดจะหมุนตาม แนวราบและขัดถูผิวหน้าของจานบันทึกโดยการสัมผัสกับผิวหน้าของมัน แท่นหมุนจะเลื่อนอย่าง สัมพัทธ์ต้านกับผิวหน้าของวัสดุสำหรับขัด แกนหมุนของวัสดุสำหรับขัดจะลาดเอียงเล็กน้อยเข้าหา ศูนย์กลางของแท่นหมุนจากแกนแนวดิ่งของจานบันทึก แท่นหมุนจะถูกหมุนในทิศทางตรงกันข้าม กับทิศทางการหมุนของจานบันทึก การหมุนของแท่นหมุนจะถูกทำให้เกิดขึ้นโดยการหมุนของวัสดุ สำหรับขัดที่ถูกส่งผ่านมาโดยคามเสียดทานระหว่างจานบันทึกและแท่นหมุน จานบันทึกจะถูก เชื่อมต่อทางไฟฟ้าลงดินอย่างแท้จริงระหว่างการขัดถู
Claims (3)
1. วิธีการสำหรับการขัดถูผิวหน้าของจานบันทึกประกอบด้วยขั้นตอนของ การวางจานบันทึกที่จะถูกขัดถูไว้บนแท่นหมุนที่สามารถหมุนได้อย่างเป็น อิสระ ซึ่งไม่มีกลไกขับเคลื่อนโดยตรงต่ออยู่ การจัดตำแหน่งวัสดุสำหรับขัด ซึ่งหมุนรอบแกนที่จัดว่าตั้งฉากกับระนาบของ จานบันทึกดังกล่าว และการสัมผัสผิวหน้าของจานบันทึกโดยการเคลื่อนที่ขึ้น-ลง ระหว่างวัสดุ สำหรับขัด และจานบันทึกดังกล่าว การขัดถูจานบันทึกดังกล่าวด้วยวัสดุสำหรับขัดที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางที่กว้าง กว่าความกว้างของผิวหน้าของจานบันทึกชนิดแข็งดังกล่าว ที่จะถูกขัดถูโดยการหมุนของวัสดุ สำหรับขัดดังกล่าว และโดยการหมุนของแท่นหมุนที่เกิดจากการหมุนของวัสดุสำหรับขัดผ่าน จานบันทึกดังกล่าว 1
2. วิธีการสำหรับการขัดถูผิวหน้าของจานบันทึกดังในข้อถือสิทธิ 11 ที่ซึ่งรัศมี ของวัสดุสำหรับขัดดังกล่าวจะเท่ากับ หรือมากกว่าความกว้างของผิวหน้าดังกล่าวที่จะถูกขัดถู และ วัสดุสำหรับขัดจะครอบคลุมผิวหน้าที่จะถูกขัดถู และจะขัดถูผิวหน้าดังกล่าวโดยการหมุน จานบันทึกดังกล่าว ในทิศทางตรงกันข้ามกับทิศทางการหมุนของวัสดุสำหรับขัดดังกล่าว 1
3. อุปกรณ์สำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็งดังที่ระบุในข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่ง แกนหมุนของวัสดุสำหรับขัดจะเอียงเล็กน้อยเข้าหาศูนย์กลางของแท่นหมุนดังกล่าว จากแกนดิ่งของ จานบันทึกดังกล่าว
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TH34301A TH34301A (th) | 1999-08-06 |
TH15410B true TH15410B (th) | 2003-09-26 |
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6951507B2 (en) | Substrate polishing apparatus | |
TW320592B (th) | ||
JP2002329687A (ja) | デバイスウエハの外周研磨装置及び研磨方法 | |
JPH0735017B2 (ja) | ウエハを処理するための組立体 | |
JPH1092075A (ja) | ローディング機構 | |
JPH05285825A (ja) | 研磨装置及びこれを用いた研磨方法 | |
US6312320B2 (en) | Disk cleaner | |
TH34301A (th) | วิธีการและอุปกรณ์สำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็ง | |
TH15410B (th) | วิธีการและอุปกรณ์สำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็ง | |
JP3183388B2 (ja) | 半導体ウェーハ研磨装置 | |
JP2002307276A (ja) | 半導体ウエハの外周研磨装置及び研磨方法 | |
KR200337279Y1 (ko) | 경질원반의 연마장치 | |
JP2582049B2 (ja) | プラスチック製円盤の研磨方法 | |
JP2000052230A5 (th) | ||
JP3032446U (ja) | 光ディスク用表面損傷痕等の除去装置 | |
JPH048468A (ja) | ワーク研摩機 | |
JPH11300625A (ja) | カップ型砥石及び研磨装置及び被研磨基板の研磨方法 | |
JP2001030151A (ja) | 両面研磨方法および両面研磨装置 | |
JPS5817724Y2 (ja) | 両面研摩装置 | |
JPH071306A (ja) | 研磨方法及び研磨装置 | |
JP3025546B2 (ja) | 研磨装置 | |
JP2000326216A (ja) | 両面研磨装置およびそれを用いたガラス円盤の研磨方法 | |
JPH01216761A (ja) | バフ装置 | |
JPH06325529A (ja) | スライダーの製造方法 | |
JPH085536A (ja) | 摺動装置 |