TH15410B - วิธีการและอุปกรณ์สำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็ง - Google Patents

วิธีการและอุปกรณ์สำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็ง

Info

Publication number
TH15410B
TH15410B TH9701000687A TH9701000687A TH15410B TH 15410 B TH15410 B TH 15410B TH 9701000687 A TH9701000687 A TH 9701000687A TH 9701000687 A TH9701000687 A TH 9701000687A TH 15410 B TH15410 B TH 15410B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
plate
rotation
turntable
abrasive
abrasive material
Prior art date
Application number
TH9701000687A
Other languages
English (en)
Other versions
TH34301A (th
Inventor
คูโบ นายยูโช
Original Assignee
นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า
นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า นายธเนศ เปเรร่า
นายธเนศ เปเรร่า
Filing date
Publication date
Application filed by นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า, นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า นายธเนศ เปเรร่า, นายธเนศ เปเรร่า filed Critical นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า
Publication of TH34301A publication Critical patent/TH34301A/th
Publication of TH15410B publication Critical patent/TH15410B/th

Links

Abstract

DC60 (13/06/46) วิธีการและอุปกรณ์สำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็ง ซึ่งจะทำการขัดถู จานบันทึกโดยสม่ำเสมอ ซึ่งจะกำจัดไฟฟ้าจากความเสียดทานระหว่างจานบันทึกและวัสดุสำหรับ ขัด และซึ่งจะป้องกันจานบันทึกจากการเปลี่ยนแปลงที่ถูกให้ความร้อนโดยใช้ความเสียดทาน แท่นหมุนสำหรับการวางจานบันทึกบนนั้น เป็นแท่นที่สามารถหมุนได้อย่างเป็น อิสระ โดยไม่ต้องเชื่อมต่อกับมอเตอร์ใดๆ หรือแรงขับเคลื่อนอื่นๆ วัสดุสำหรับขัดจะหมุนตาม แนวราบและขัดถูผิวหน้าของจานบันทึกโดยการสัมผัสกับผิวหน้าของมัน แท่นหมุนจะเลื่อนอย่าง สัมพัทธ์ต้านกับผิวหน้าของวัสดุสำหรับขัด แกนหมุนของวัสดุสำหรับขัดจะลาดเอียงเล็กน้อยเข้าหา ศูนย์กลางของแท่นหมุนจากแกนแนวดิ่งของจานบันทึก แท่นหมุนจะถูกหมุนในทิศทางตรงกันข้าม กับทิศทางการหมุนของจานบันทึก การหมุนของแท่นหมุนจะถูกทำให้เกิดขึ้นโดยการหมุนของวัสดุ สำหรับขัดที่ถูกส่งผ่านมาโดยความเสียดทานระหว่างจานบันทึกและแท่นหมุน จานบันทึกจะถูก เชื่อมต่อทางไฟฟ้าลงดินอย่างแท้จริงระหว่างการขัดถู วิธีการและอุปกรณ์สำหรับการขัดถูผิวหน้าของจานบันทึกชนิดแข็ง ซึ่งจะทำการขัดถู จานบันทึกโดยสม่ำเสมอ ซึ่งจะกำจัดไฟฟ้าจากความเสียดทานระหว่างจานบันทึกและวัสดุสำหรับ ขัด และซึ่งจะป้องกันจานบันทึกจากการเปลี่ยนแปลงที่ถูกให้ความร้อนโดยใช้ความเสียดทาน แท่นหมุนสำหรับการวางจานบันทึกบนนั้น เป็นแท่นที่สามารถหมุนได้อย่างเป็น อิสระ โดยไม่ต้องเชื่อมต่อกับมอเตอร์ใดๆ หรือแรงขับเคลื่อนอื่น ๆ วัสดุสำหรับขัดจะหมุนตาม แนวราบและขัดถูผิวหน้าของจานบันทึกโดยการสัมผัสกับผิวหน้าของมัน แท่นหมุนจะเลื่อนอย่าง สัมพัทธ์ต้านกับผิวหน้าของวัสดุสำหรับขัด แกนหมุนของวัสดุสำหรับขัดจะลาดเอียงเล็กน้อยเข้าหา ศูนย์กลางของแท่นหมุนจากแกนแนวดิ่งของจานบันทึก แท่นหมุนจะถูกหมุนในทิศทางตรงกันข้าม กับทิศทางการหมุนของจานบันทึก การหมุนของแท่นหมุนจะถูกทำให้เกิดขึ้นโดยการหมุนของวัสดุ สำหรับขัดที่ถูกส่งผ่านมาโดยคามเสียดทานระหว่างจานบันทึกและแท่นหมุน จานบันทึกจะถูก เชื่อมต่อทางไฟฟ้าลงดินอย่างแท้จริงระหว่างการขัดถู

Claims (3)

1. อุปกรณ์สำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็ง (hard discs) ประกอบด้วย แท่นหมุนสำหรับการวางจานบันทึกบนนั้น แท่นหมุนดังกล่าวสามารถหมุนได้ อย่างเป็นอิสระ และไม่ต้องอาศัยกลไกขับเคลื่อนโดยตรงใด ๆ และ วัสดุสำหรับขัดสำหรับการขัดถูกผิวหน้าของขานบันทึกดังกล่าวโดยการสัมผัส กับผิวหน้าดังกล่าว วัสดุสำหรับขัดดังกล่าวจะหมุนรอบแกนที่ตั้งฉากกับระนาบของจานบันทึก ดังกล่าว ที่ซึ่งแท่นหมุนดังกล่าวจะถูกหมุนด้วยแรงที่เกิดจากการหมุนของวัสดุสำหรับ ขัดดังกล่าว 2. อุปกรณ์สำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็งดังที่ระบุในข้อถือสิทธิ 1 ยังประกอบต่อไปด้วย แผ่นรองที่เป็นรูพรุนถูกจัดวางไว้ระหว่างวัสดุสำหรับขัดและแกนหมุนของ ส่วนนั้น 3. อุปกรณ์สำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็งดังที่ระบุในข้อถือสิทธิ 1 หรือ 2 ยังประกอบด้วยทางเข้าสุญญากาศที่ถูกกำหนดตำแหน่งข้างใต้ของด้านนอกของแท่นหมุน ดังกล่าวและทางเข้าสุญญากาศดังกล่าวจะถูกต่อประกบกับตัวทำความสะอาดสุญญากาศ 4. อุปกรณ์สำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็งดังที่ระบุในข้อถือสิทธิ 1 หรือ 2 ยังประกอบด้วย ที่ปล่อยอากาศที่ถูกจัดให้มีขึ้นเหนือแท่นหมุนดังกล่าวโดยที่ว่าอากาศจะถูกเป่า จากที่ปล่อยอากาศดังกล่าวกับผิวหน้าการหมุนของจานบันทึกดังกล่าว และโดยที่จานบันทึก ดังกล่าจะถูกทำให้เย็นลง 5. วิธีการสำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็งประกอบด้วยขั้นตอนของ การจัดให้มีจานบันทึกชนิดแข็งบนแท่นหมุน แท่นหมุนดังกล่าวสามารถ หมุนได้อย่างเป็นอิสระและไม่ต้องอาศัยกลไกขับเคลื่อนโดยตรงใด ๆ การจัดตำแหน่งวัสดุสำหรับขัดสำหรับการขัดถูผิวหน้าของจานบันทึกดังกล่าว โดยการสัมผัสระหว่างนั้น และ การหมุนจานบันทึกดังกล่าวในทิศทางที่ตรงกันข้ามกับทิศทางการหมุนของ วัสดุสำหรับขัดด้วยแรงเสียดทานที่เกิดจากการสัมผัสของจานบันทึกดังกล่าวกับวัสดุสำหรับขัด ดังกล่าว โดยวิธีดังกล่าจะทำให้เกิดการหมุนของแท่นหมุนดังกล่าว ในทิศทางการหมุนของ จานบันทึกดังกล่าว โดยการหมุนจานบันทึกดังกล่าว ทำให้เกิดการขัดถูที่คงที่และสม่ำเสมอบน ผิวหน้าของจานบันทึกดังกล่าว 6. วิธีการสำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็งตามข้อถือสิทธิ 5 ที่ซึ่งมุมเอียงของ แกนหมุนดังกล่าวของวัสดุสำหรับขัดดังกล่าวจะสามารถที่จะปรับได้ 7. วิธีการสำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็งดังที่ระบุในข้อถือสิทธิ 5 ที่ซึ่งเมื่อ จัดตำแหน่งของวัสดุสำหรับขัดดังกล่าวสำหรับการขัดถูผิวหน้าของจานบันทึกดังกล่าวแล้ว แกนหมุนของวัสดุสำหรับขัดดังกล่าว จะเอียงเล็กน้อยเข้าหาศูนย์กลางของแท่นหมุนดังกล่าวจาก แกนดิ่งของจานบันทึกดังกล่าว 8. วิธีการสำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็งประกอบด้วยขั้นตอนของ การจัดให้มีจานบันทึกชนิดแข็งดังกล่าวบนแท่นหมุน ซึ่งแทนหมุนดังกล่าว สามารถหมุนได้อย่างเป็นอิสระ และไม่ต้องอาศัยกลไกขับเคลื่อนโดยตรงใด ๆ การจัดตำแหน่งวัสดุสำหรับขัดสำหรับการขัดถูผิวหน้าของจานบันทึกดังกล่าว โดยการสัมผัสระหว่างนั้น ที่ซึ่งขอบรอบของวัสดุสำหรับขัดดังกล่าวจะสัมผัสกับขอบรอบของ จานบันทึกดังกล่าว การหมุนจานบันทึกไปในทิศทางที่ตรงกันข้ามกับทิศทางการหมุนของวัสดุ สำหรับขัดดังกล่าว โดยการหมุนของวัสดุสำหรับขัดดังกล่าว โดยวิธีนี้จะทำให้เกิดการหมุนของ แท่นหมุนดังกล่าวในทิศทางการหมุนของจานบันทึกดังกล่าว โดยการหมุนของจานบันทึกดังกล่าว และ การเลื่อนพื้นที่สัมผัสผิวหน้าระหว่างจานบันทึกดังกล่าวบนแท่นหมุนดังกล่าว และวัสดุสำหรับขัดดังกล่าวอย่างสัมพันธ์กันและไปตามแนวราบเพื่อเคลื่อนวัสดุสำหรับขัดดังกล่าว ไปบนจานบันทึกทีจะถูกขัดถูดังกล่าว ในขณะที่รักษาทิศทางการหมุน เริ่มต้นของแท่นหมุน ดังกล่าวไว้ 9. วิธีการสำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็งตามข้อถือสิทธิ 8 ที่ซึ่งศูนย์กลาง การหมุนของวัสดุขัดถูดังกล่าวจะเลื่อนบนเส้นซึ่งขนานกับเส้นที่ผ่านไปศูนย์กลางของจานบันทึก ดังกล่าว 1 0. วิธีการสำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็งดังที่ระบุในข้อถือสิทธิ 8 ที่ซึ่งเมื่อ จัดตำแหน่งของวัสดุสำหรับขัดดังกล่าวสำหรับการขัดถูผิวหน้าของจานบันทึกดังกล่าวแล้ว แกนหมุนของวัสดุสำหรับขัดดังกล่าว จะเอียงเล็กน้อยเข้าหาศูนย์กลางของแท่นหมุนดังกล่าวจาก แกนดิ่งของจานบันทึกดังกล่าว 1
1. วิธีการสำหรับการขัดถูผิวหน้าของจานบันทึกประกอบด้วยขั้นตอนของ การวางจานบันทึกที่จะถูกขัดถูไว้บนแท่นหมุนที่สามารถหมุนได้อย่างเป็น อิสระ ซึ่งไม่มีกลไกขับเคลื่อนโดยตรงต่ออยู่ การจัดตำแหน่งวัสดุสำหรับขัด ซึ่งหมุนรอบแกนที่จัดว่าตั้งฉากกับระนาบของ จานบันทึกดังกล่าว และการสัมผัสผิวหน้าของจานบันทึกโดยการเคลื่อนที่ขึ้น-ลง ระหว่างวัสดุ สำหรับขัด และจานบันทึกดังกล่าว การขัดถูจานบันทึกดังกล่าวด้วยวัสดุสำหรับขัดที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางที่กว้าง กว่าความกว้างของผิวหน้าของจานบันทึกชนิดแข็งดังกล่าว ที่จะถูกขัดถูโดยการหมุนของวัสดุ สำหรับขัดดังกล่าว และโดยการหมุนของแท่นหมุนที่เกิดจากการหมุนของวัสดุสำหรับขัดผ่าน จานบันทึกดังกล่าว 1
2. วิธีการสำหรับการขัดถูผิวหน้าของจานบันทึกดังในข้อถือสิทธิ 11 ที่ซึ่งรัศมี ของวัสดุสำหรับขัดดังกล่าวจะเท่ากับ หรือมากกว่าความกว้างของผิวหน้าดังกล่าวที่จะถูกขัดถู และ วัสดุสำหรับขัดจะครอบคลุมผิวหน้าที่จะถูกขัดถู และจะขัดถูผิวหน้าดังกล่าวโดยการหมุน จานบันทึกดังกล่าว ในทิศทางตรงกันข้ามกับทิศทางการหมุนของวัสดุสำหรับขัดดังกล่าว 1
3. อุปกรณ์สำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็งดังที่ระบุในข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่ง แกนหมุนของวัสดุสำหรับขัดจะเอียงเล็กน้อยเข้าหาศูนย์กลางของแท่นหมุนดังกล่าว จากแกนดิ่งของ จานบันทึกดังกล่าว
TH9701000687A 1997-02-26 วิธีการและอุปกรณ์สำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็ง TH15410B (th)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH34301A TH34301A (th) 1999-08-06
TH15410B true TH15410B (th) 2003-09-26

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6951507B2 (en) Substrate polishing apparatus
TW320592B (th)
JP2002329687A (ja) デバイスウエハの外周研磨装置及び研磨方法
JPH0735017B2 (ja) ウエハを処理するための組立体
JPH1092075A (ja) ローディング機構
JPH05285825A (ja) 研磨装置及びこれを用いた研磨方法
US6312320B2 (en) Disk cleaner
TH34301A (th) วิธีการและอุปกรณ์สำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็ง
TH15410B (th) วิธีการและอุปกรณ์สำหรับการขัดถูจานบันทึกชนิดแข็ง
JP3183388B2 (ja) 半導体ウェーハ研磨装置
JP2002307276A (ja) 半導体ウエハの外周研磨装置及び研磨方法
KR200337279Y1 (ko) 경질원반의 연마장치
JP2582049B2 (ja) プラスチック製円盤の研磨方法
JP2000052230A5 (th)
JP3032446U (ja) 光ディスク用表面損傷痕等の除去装置
JPH048468A (ja) ワーク研摩機
JPH11300625A (ja) カップ型砥石及び研磨装置及び被研磨基板の研磨方法
JP2001030151A (ja) 両面研磨方法および両面研磨装置
JPS5817724Y2 (ja) 両面研摩装置
JPH071306A (ja) 研磨方法及び研磨装置
JP3025546B2 (ja) 研磨装置
JP2000326216A (ja) 両面研磨装置およびそれを用いたガラス円盤の研磨方法
JPH01216761A (ja) バフ装置
JPH06325529A (ja) スライダーの製造方法
JPH085536A (ja) 摺動装置