TH149304A - สิ่งเคลือบกระจกแบบไม่ชอบรับน้ำ - Google Patents

สิ่งเคลือบกระจกแบบไม่ชอบรับน้ำ

Info

Publication number
TH149304A
TH149304A TH1401002640A TH1401002640A TH149304A TH 149304 A TH149304 A TH 149304A TH 1401002640 A TH1401002640 A TH 1401002640A TH 1401002640 A TH1401002640 A TH 1401002640A TH 149304 A TH149304 A TH 149304A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
silicon oxycarbide
layer
carbon
sih4
silane
Prior art date
Application number
TH1401002640A
Other languages
English (en)
Other versions
TH1401002640A (th
TH149304B (th
Inventor
แคลร์
ธูมาเซ็ท
มาร์ติน
เมลเชอร์
Original Assignee
แซ็งต์ กอแบ็ง กลาสส์ ฟรานซ์
Filing date
Publication date
Publication of TH1401002640A publication Critical patent/TH1401002640A/th
Application filed by แซ็งต์ กอแบ็ง กลาสส์ ฟรานซ์ filed Critical แซ็งต์ กอแบ็ง กลาสส์ ฟรานซ์
Publication of TH149304A publication Critical patent/TH149304A/th
Publication of TH149304B publication Critical patent/TH149304B/th

Links

Abstract

DC60 (14/05/57) การประดิษฐ์จะเกี่ยวข้องกับกระบวนการสำหรับการผลิตสิ่งเคลือบที่ไม่ชอบรับน้ำที่ประกอบ รวมด้วยขั้นตอนต่อเนื่องดังต่อไปนี้: (a) การก่อรูปของชั้นซิลิกอนออกซีคาร์ไบด์ที่มีคาร์บอนในปริมาณมาก (SiOxCy) ที่พื้นผิว ของซับสเทรทที่ทำมาจากกระจกแร่โดยการตกพอกพูนของไอทางเคมี (CVD) บนอย่าง น้อยที่สุดส่วนหนึ่งของพื้นผิวของซับสเทรทดังกล่าวโดยการนำพื้นผิวดังกล่าวไปสัมผัส กับกระแสของแก๊สที่เกิดปฏิกิริยาที่ประกอบรวมด้วยเอทิลีน (C2H4), ไซเลน (SiH4) และ คาร์บอนไดออกไซด์ (CO2) ที่อุณหภูมิระหว่าง 600 องศาเซลเซียส และ 680 องศา เซลเซียส, อัตราส่วนโดยปริมาตรของเอทิลิน/ไซเลน (C2H4/SiH4) ในระหว่างขั้นตอน (a) ที่น้อยกว่าหรือเท่ากับ 3.3 (b) การก่อรูปของชั้น SiO2 บนชั้นซิลิกอนออกซีคาร์ไบด์ที่ตกพอกพูนในขั้นตอน (a) หรือ (b') การก่อรูปของชั้นซิลิกอนออกซีคาร์ไบด์ที่มีคาร์บอนในปริมาณน้อยที่มีอัตราส่วน C/Si เฉลี่ยน้อยกว่า 0.2, (c) การอบเหนียวและ/หรือการขึ้นรูปซับสเทรทที่ได้มาตามการสรุปของขั้นตอน (b) หรือ (b') ที่อุณหภูมิระหว่าง 580 องศาเซลเซียส และ 700 องศาเซลเซียส, (d) การกระตุ้นชั้นซิลิกาที่ได้รับการก่อรูปในขั้นตอน (b) หรือชั้นซิลิกอนออกซีคาร์ไบด์ที่ ได้รับการก่อรูปในขั้นตอน (b') โดยการปฏิบัติด้วยพลาสมาหรือการปฏิบัติด้วยสารเคมี ที่เป็นกรดหรือที่เป็นเบส และ (e) การเชื่อมติด, โดยการเกิดพันธะโควาเลนท์, ตัวกระทำการที่ไม่ชอบรับน้ำที่ผ่านการ ฟลูโอริเนท การประดิษฐ์ยังจะเกี่ยวข้องอีกด้วยกับสิ่งเคลือบที่ไม่ชอบรับน้ำ, ถ้าจะให้ดีแล้วเป็นกระจกบัง ลมหน้า, ที่สามารถถูกทำให้ได้มาโดยกระบวนการดังกล่าว การประดิษฐ์จะเกี่ยวข้องกับกระบวนการสำหรับการผลิตสิ่งเคลือบที่ไม่ชอบรับน้ำที่ประกอบ รวมด้วยขั้นตอนต่อเนื่องดังต่อไปนี้: (a)การก่อรูปของชั้นซิลิกอนออกซีคาร์ไบด์ที่มีคาร์บอนในปริมาณมาก(SiOxCy)ที่พื้นผิว ของซับสเทรทที่ทำมาจากกระจกแร่โดยการตกพอกพูนของไอทางเคมี(CVD)บนอย่าง น้อยที่สุดส่วนหนึ่งของพื้นผิวของซับสเทรทดังกล่าวโดยการนำพื้นผิวดังกล่าวไปสัมผัส กับกระแสของแก๊สที่เกิดปฏิกิริยาที่ประกอบรวมด้วยเอทิลีน(C2,H4),ไซเลน (SiH4) และ คาร์บอนไดออกไซด์(CO2)ที่อุณหภูมิระหว่าง 600 องศาเซลเซียส และ 680 องศา เซลเซียส,อัตราส่วนโดยปริมาตรของเอทิลิน/ไซเลน (C2H2/SiH4)ในระหว่างขั้นตอน (a) ที่น้อยกว่าหรือเท่ากับ 3.3 (b)การก่อรูปของชั้น SiO2 บนชั้นซิลิกอนออกซีคาร์ไบด์ที่ตกพอกพูนในขั้นตอน(a)หรือ (b')การก่อรูปของชั้นซิลิกอนออกซีคาร์ไบด์ที่มีคาร์บอนในปริมาณน้อยที่มีอัตราส่วน C/Si เฉลี่ยน้อยกว่า 0.2, (c)การอบเหนียวและ/หรือการขึ้นรูปซับสเทรทที่ได้มาตามการสรุปของขั้นตอน(b)หรือ (b')ที่มีอุณหภูมิระหว่าง 580 องศาเซลเซียส และ 700 องศาเซลเซียส, (d)การกระตุ้นชั้นซิลิกาที่ได้รับการก่อรูปในขั้นตอน(b)หรือชั้นซิลิกอนออกซีคาร์ไบด์ที่ ได้รับการก่อรูปในขั้นตอน(b')โดยการปฏิบัติด้วยพลาสมาหรือการปฏิบัติด้วยสารเคมี ที่เป็นกรดหรือที่เป็นเบส และ (e)การเชื่อมติด,โดยการเกิดพันธะโควาเลนท์,ตัวกระทำการที่ไม่ชอบรับน้ำที่ผ่านการ ฟลูโอริเนท การประดิษฐ์ยังเกี่ยวข้องอีกด้วยกับสิ่งเคลือบที่ไม่ชอบรับน้ำ,ถ้าจะให้ดีแล้วเป็นกระจกบัง ลมหน้า,ที่สามารถถูกทำให้ได้มาโดยกระบวนการดังกล่าว
TH1401002640A 2012-11-14 สิ่งเคลือบกระจกแบบไม่ชอบรับน้ำ TH149304B (th)

Publications (3)

Publication Number Publication Date
TH1401002640A TH1401002640A (th)
TH149304A true TH149304A (th) 2016-04-26
TH149304B TH149304B (th) 2016-04-26

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BR112014010421A2 (pt) vidraça hidrofóbica
JP6050370B2 (ja) アルカリ金属に対するSiOCバリア層
MX2011007156A (es) Sustrato hidrofobo comprendiendo una capa de cebador del tipo oxicarburo de silicio activado por plasma.
WO2011041135A3 (en) Method of making coated metal articles
JP2021038471A (ja) コーティングされた物品及び化学蒸着方法
WO2010151856A3 (en) Chemical vapor deposition process for aluminum silicon nitride
WO2009149167A3 (en) Low temperature deposition of silicon-containing films
GB201207448D0 (en) Method of depositing silicon dioxide films
DE602007005017D1 (de) Verfahren für leicht zu reinigende substrate und artikel daraus
BRPI0909305A2 (pt) Processo e sistema de depósito de um metal ou metaloide sobre nanotubos de carbono
WO2010107837A3 (en) Wafer carrier track
WO2013012536A3 (en) Surface treatment and deposition for reduced outgassing
DE602007008977D1 (de) Vorrichtung um ein Plasma-CVD-Verfahren durchzuführen und Verfahren zur Herstellung einer optischen Faser
MX2014004334A (es) Articulo revestido con recubrimiento de baja-e que tiene una capa absorbente encima de una capa funcional diseñada para incrementar la reflectancia exterior.
EP2362003A3 (en) Methods of depositing SiO2 films
RU2014117616A (ru) Нанесение оксида кремния путем химического осаждения из паровой фазы при атмосферном давлении
ATE531674T1 (de) Verfahren zur durchführung einer plasmachemischen dampfabscheidung und verfahren zur herstellung einer optischen vorform
TH149304A (th) สิ่งเคลือบกระจกแบบไม่ชอบรับน้ำ
BRPI0413937A (pt) processo para a deposição de um revestimento de sìlica por sobre um substrato de vidro aquecido, artigo de vidro revestido, e processo para deposição de um revestimento de sìlica por sobre um substrato de vidro aquecido em um processo de produção "float glass" on-line
EP3031949B1 (en) Oled manufacturing device
JP2010278121A5 (ja) 半導体装置の製造方法
JP6318433B2 (ja) シリコン窒化膜の形成方法及びシリコン窒化膜
TH149304B (th) สิ่งเคลือบกระจกแบบไม่ชอบรับน้ำ
PH12014501053A1 (en) Coated articles having abrasion resistant, glass-like coatings
TWI659121B (zh) 半導體製造方法