TH115487B - เครื่องมือวัดสเปกตรัมแสงแบบหลายช่องวัด - Google Patents

เครื่องมือวัดสเปกตรัมแสงแบบหลายช่องวัด

Info

Publication number
TH115487B
TH115487B TH1001001004A TH1001001004A TH115487B TH 115487 B TH115487 B TH 115487B TH 1001001004 A TH1001001004 A TH 1001001004A TH 1001001004 A TH1001001004 A TH 1001001004A TH 115487 B TH115487 B TH 115487B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
spectrum
measure
specimen
sample
points
Prior art date
Application number
TH1001001004A
Other languages
English (en)
Other versions
TH75573B (th
TH115487A (th
Inventor
นายอาโมทย์ สมบูรณ์แก้ว นายรัฐศาสตร์ อัมฤทธิ์ นายบุญส่ง สุตะพันธ์
Original Assignee
สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
Filing date
Publication date
Application filed by สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ filed Critical สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
Publication of TH115487B publication Critical patent/TH115487B/th
Publication of TH115487A publication Critical patent/TH115487A/th
Publication of TH75573B publication Critical patent/TH75573B/th

Links

Abstract

สเปกโตรมิเตอร์แบบหลายช่องวัดตามการประดิษฐ์นี้ สามารถใช้วัดสเปกตรัมเชิงแสงจาก หลายจุดวัดบนตัวอย่างชิ้นงานได้อย่างต่อเนื่อง มีความแม่นยำในการวัดสูง และสามารถปรับขนาด ตำแหน่ง หรือจำนวนจุดวัดได้อย่างยืดหยุ่น สิ่งประดิษฐ์นี้ใช้อุปกรณ์เอสแอลเอ็ม (Special light modulator, SLM) ทำหน้าที่เป็นช่องเปิดรับแสง ซึ่งจะยินยอมให้แสงสะท้อนหรือทุลุผ่านจาก ตำแหน่งบนตัวอย่างชิ้นงานที่ต้องการวัดสเปกตรัม สามารถเคลื่อนที่ผ่านไปยังสเปกโตรมิเตอร์เพื่อ ทำหน้าที่วัดสเปกตรัมแสงได้ เมื่อต้องการวัดสเปกตรัมจากหลายจุดวัดบนตัวอย่างชิ้นงาน ก็จะ โปรแกรมการทำงานของอุปกรณ์เสอแอลเอ็ม ให้เปิดช่องรับแสงให้ตรงกับขนาดและตำแหน่งของ จุดวัดบนตัวอย่างชิ้นงานในแต่ละจุดไปเรื่อยๆ เมื่อต้องการวัดสเปกตรัมอย่างต่อเนื่องตามเวลา ก็ สามารถโปรแกรมให้เครื่องมือดังกล่าวทำงานซ้ำไปเรื่อยๆ ได้ ทำให้สิ่งประดิษฐ์นี้สามารถวัด สเปกตรัมแสงจากตำแหน่งต่างๆ ได้ โดยไม่มีการเคลื่อนไหวเชิงกลของอุปกรณ์การวัดหรือการ เลื่อนตำแหน่งตัวอย่างชิ้นงาน จึงทำให้สามารถวัดสเปกตรัมจากจุดต่างๆ ได้อย่างต่อเนื่องและมี ความแม่นยำสูง ลักษณะพิเศษของสิ่งประดิษฐ์นี้ยังประกอบด้วยอุปกรณ์ตรวจสอบตำแหน่งและ ขนาดช่องเปิดรับแสงบนอุปกรณ์เอสแอลเอ็มว่าตรงกับตำแหน่งบนตัวอย่างชิ้นงานหรือไม่ โดยใช้ กล้องรับภาพวางไว้ในตำแหน่ง ที่สามารถมองเห็นช่องเปิดรับแสงบนอุปกรณ์เอสแอลเอ็มและ ตัวอย่างชิ้นงานพร้อมกัน ความสามารถดังกล่าวจะทำให้ผู้สามารถกำหนดตำหน่ง ขนาด และ จำนวนจุดวัดสเปกตรัมบนตัวอย่างชิ้นงานได้อย่างยืดหยุ่น

Claims (1)

1. เครื่องมือวัดสเปกตรัมแสงแบบหลายช่องวัด มีลักษณะเฉพาะ คือประกอบด้วย
TH1001001004A 2010-07-05 เครื่องมือวัดสเปกตรัมแสงแบบหลายช่องวัด TH75573B (th)

Publications (3)

Publication Number Publication Date
TH115487B true TH115487B (th) 2012-07-31
TH115487A TH115487A (th) 2012-07-31
TH75573B TH75573B (th) 2020-04-09

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102307923B1 (ko) 형광 x 선 분석 장치
WO2013169791A8 (en) Metrology tool with combined x-ray and optical scatterometers
RU2015117776A (ru) Спектроскопическое измерительное устройство
GB2495998B (en) Measurement apparatus
WO2015132391A3 (en) Imaging device for a microscope
EP3588068A3 (en) X-ray analysis device and method for optical axis alignment thereof
EP3994431C0 (en) OPTICAL MEASURING DEVICE WITH INTERNAL SPECTRAL REFERENCE
JP2015052616A5 (ja) 光学特性測定装置
PL412267A1 (pl) Układ pomiarowy do wyznaczania położenia płaszczyzny ogniskowej i długości ogniskowej układu optycznego oraz sposób wyznaczania położenia płaszczyzny ogniskowej i długości ogniskowej układu optycznego
DK3865850T3 (da) Lyskilde til spektroskopisk analyse, spektroskopisk analyseindretning og spektroskopisk analysefremgangsmåde
MY180590A (en) Talbot interferometer, its adjustment method, and measurement method
JP2017516075A5 (th)
WO2015140411A3 (en) Coil arrangement for sample measurement with a spatially variable magnetic field
DK3880072T3 (da) Indretning til måling af åndefugtighed
CN104280348A (zh) 一种应用于光电直读光谱分析仪的光学系统
NO20080166L (no) Spektrometeranordning for maling av forskjovede spektrale distribusjoner
EP3701854C0 (en) DEVICE FOR INSPECTING A HAIR SAMPLE
TH115487B (th) เครื่องมือวัดสเปกตรัมแสงแบบหลายช่องวัด
TH75573B (th) เครื่องมือวัดสเปกตรัมแสงแบบหลายช่องวัด
TH115487A (th) เครื่องมือวัดสเปกตรัมแสงแบบหลายช่องวัด
JP5985629B2 (ja) 測光装置
TWI801243B (zh) 試料檢查裝置
TR201814812A2 (tr) Performans ölçme prosesi̇
TW201129789A (en) Goniophotometry testing apparatus
DK3914887T5 (da) Prøvningsanordning til tæthedsprøvning