TH75573B - เครื่องมือวัดสเปกตรัมแสงแบบหลายช่องวัด - Google Patents
เครื่องมือวัดสเปกตรัมแสงแบบหลายช่องวัดInfo
- Publication number
- TH75573B TH75573B TH1001001004A TH1001001004A TH75573B TH 75573 B TH75573 B TH 75573B TH 1001001004 A TH1001001004 A TH 1001001004A TH 1001001004 A TH1001001004 A TH 1001001004A TH 75573 B TH75573 B TH 75573B
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- spectrum
- measure
- specimen
- points
- size
- Prior art date
Links
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 title abstract 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title abstract 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract 7
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 abstract 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 abstract 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 abstract 1
Abstract
DC60 สเปกโตรมิเตอร์แบบหลายช่องวัดตามการประดิษฐ์นี้ สามารถใช้วัดสเปกตรัมเชิงแสงจาก หลายจุดวัดบนตัวอย่างชิ้นงานได้อย่างต่อเนื่อง มีความแม่นยำในการวัดสูง และสามารถปรับขนาด ตำแหน่ง หรือจำนวนจุดวัดได้อย่างยืดหยุ่น สิ่งประดิษฐ์นี้ใช้อุปกรณ์เอสแอลเอ็ม (Special light modulator, SLM) ทำหน้าที่เป็นช่องเปิดรับแสง ซึ่งจะยินยอมให้แสงสะท้อนหรือทะลุผ่านจาก ตำแหน่งบนตัวอย่างชิ้นงานที่ต้องการวัดสเปกตรัม สามารถเคลื่อนที่ผ่านไปยังสเปกโตรมิเตอร์เพื่อ ทำหน้าที่วัดสเปกตรัมแสงได้ เมื่อต้องการวัดสเปกตรัมจากหลายจุดวัดบนตัวอย่างชิ้นงาน ก็จะ โปรแกรมการทำงานของอุปกรณ์เอสแอลเอ็ม ให้เปิดช่องรับแสงให้ตรงกับขนาดและตำแหน่งของ จุดวัดบนตัวอย่างชิ้นงานในแต่ละจุดไปเรื่อยๆ เมื่อต้องการวัดสเปกตรัมอย่างต่อเนื่องตามเวลา ก็ สามารถโปรแกรมให้เครื่องมือดังกล่าวทำงานซ้ำไปเรื่อยๆ ได้ ทำให้สิ่งประดิษฐ์นี้สามารถวัด สเปกตรัมแสงจากตำแหน่งต่างๆ ได้ โดยไม่มีการเคลื่อนไหวเชิงกลของอุปกรณ์การวัดหรือการ เลื่อนตำแหน่งตัวอย่างชิ้นงาน จึงทำให้สามารถวัดสเปกตรัมจากจุดต่างๆ ได้อย่างต่อเนื่องและมี ความแม่นยำสูง ลักษณะพิเศษของสิ่งประดิษฐ์นี้ยังประกอบด้วยอุปกรณ์ตรวจสอบตำแหน่งและ ขนาดช่องเปิดรับแสงบนอุปกรณ์เอสแอลเอ็มว่าตรงกับตำแหน่งบนตัวอย่างชิ้นงานหรือไม่ โดยใช้ กล้องรับภาพวางไว้ในตำแหน่ง ที่สามารถมองเห็นช่องเปิดรับแสงบนอุปกรณ์เอสแอลเอ็มและ ตัวอย่างชิ้นงานพร้อมกัน ความสามารถดังกล่าวจะทำให้ผู้สามารถกำหนดตำหน่ง ขนาด และ จำนวนจุดวัดสเปกตรัมบนตัวอย่างชิ้นงานได้อย่างยืดหยุ่น สเปกโตรมิเตอร์แบบหลายช่องวัดตามการประดิษฐ์นี้ สามารถใช้วัดสเปกตรัมเชิงแสงจาก หลายจุดวัดบนตัวอย่างชิ้นงานได้อย่างต่อเนื่อง มีความแม่นยำในการวัดสูง และสามารถปรับขนาด ตำแหน่ง หรือจำนวนจุดวัดได้อย่างยืดหยุ่น สิ่งประดิษฐ์นี้ใช้อุปกรณ์เอสแอลเอ็ม (Special light modulator, SLM) ทำหน้าที่เป็นช่องเปิดรับแสง ซึ่งจะยินยอมให้แสงสะท้อนหรือทุลุผ่านจาก ตำแหน่งบนตัวอย่างชิ้นงานที่ต้องการวัดสเปกตรัม สามารถเคลื่อนที่ผ่านไปยังสเปกโตรมิเตอร์เพื่อ ทำหน้าที่วัดสเปกตรัมแสงได้ เมื่อต้องการวัดสเปกตรัมจากหลายจุดวัดบนตัวอย่างชิ้นงาน ก็จะ โปรแกรมการทำงานของอุปกรณ์เสอแอลเอ็ม ให้เปิดช่องรับแสงให้ตรงกับขนาดและตำแหน่งของ จุดวัดบนตัวอย่างชิ้นงานในแต่ละจุดไปเรื่อยๆ เมื่อต้องการวัดสเปกตรัมอย่างต่อเนื่องตามเวลา ก็ สามารถโปรแกรมให้เครื่องมือดังกล่าวทำงานซ้ำไปเรื่อยๆ ได้ ทำให้สิ่งประดิษฐ์นี้สามารถวัด สเปกตรัมแสงจากตำแหน่งต่างๆ ได้ โดยไม่มีการเคลื่อนไหวเชิงกลของอุปกรณ์การวัดหรือการ เลื่อนตำแหน่งตัวอย่างชิ้นงาน จึงทำให้สามารถวัดสเปกตรัมจากจุดต่างๆ ได้อย่างต่อเนื่องและมี ความแม่นยำสูง ลักษณะพิเศษของสิ่งประดิษฐ์นี้ยังประกอบด้วยอุปกรณ์ตรวจสอบตำแหน่งและ ขนาดช่องเปิดรับแสงบนอุปกรณ์เอสแอลเอ็มว่าตรงกับตำแหน่งบนตัวอย่างชิ้นงานหรือไม่ โดยใช้ กล้องรับภาพวางไว้ในตำแหน่ง ที่สามารถมองเห็นช่องเปิดรับแสงบนอุปกรณ์เอสแอลเอ็มและ ตัวอย่างชิ้นงานพร้อมกัน ความสามารถดังกล่าวจะทำให้ผู้สามารถกำหนดตำหน่ง ขนาด และ จำนวนจุดวัดสเปกตรัมบนตัวอย่างชิ้นงานได้อย่างยืดหยุ่น
Claims (1)
1. ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา :
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH115487A TH115487A (th) | 2012-07-31 |
| TH75573B true TH75573B (th) | 2020-04-09 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| IL232255B (en) | Methods and apparatus for measuring a property of a substrate | |
| EP4317947A4 (en) | Fluorescence measuring device | |
| DK3865850T3 (da) | Lyskilde til spektroskopisk analyse, spektroskopisk analyseindretning og spektroskopisk analysefremgangsmåde | |
| EP4036537A4 (en) | MEASURING DEVICE | |
| JP2017516075A5 (th) | ||
| EP4209761C0 (en) | MEASURING DEVICE | |
| DK3523029T3 (da) | Fremgangsmåde til at teste en prøve | |
| EP4102175A4 (en) | Position measurement device | |
| FI20136036A7 (fi) | Laite ja menetelmä kohteen optiseksi mittaamiseksi | |
| EP3748339C0 (en) | Device for gas analysis using raman spectroscopy | |
| CN104280348A (zh) | 一种应用于光电直读光谱分析仪的光学系统 | |
| NO20080166L (no) | Spektrometeranordning for maling av forskjovede spektrale distribusjoner | |
| IL280874A (en) | Light attenuation device for high power uv inspection tool | |
| EP4512282A4 (en) | EXPOSURE DEVICE | |
| EP4372389A4 (en) | Test device | |
| TH75573B (th) | เครื่องมือวัดสเปกตรัมแสงแบบหลายช่องวัด | |
| EP4239997A4 (en) | CAMERA DEVICE FOR DISTANCE MEASUREMENT | |
| EP4379403A4 (en) | Test apparatus | |
| EP3974105C0 (en) | MEASURING DEVICE | |
| TH115487A (th) | เครื่องมือวัดสเปกตรัมแสงแบบหลายช่องวัด | |
| EP4001890A4 (en) | Particle quantitative measurement device | |
| EP4368983C0 (en) | MEASURING DEVICE | |
| EP4538682A4 (en) | PLASMA MEASURING DEVICE | |
| TWI801243B (zh) | 試料檢查裝置 | |
| EP4350377A4 (en) | Magnetism measuring device |