TH75573B - เครื่องมือวัดสเปกตรัมแสงแบบหลายช่องวัด - Google Patents

เครื่องมือวัดสเปกตรัมแสงแบบหลายช่องวัด

Info

Publication number
TH75573B
TH75573B TH1001001004A TH1001001004A TH75573B TH 75573 B TH75573 B TH 75573B TH 1001001004 A TH1001001004 A TH 1001001004A TH 1001001004 A TH1001001004 A TH 1001001004A TH 75573 B TH75573 B TH 75573B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
spectrum
measure
specimen
points
size
Prior art date
Application number
TH1001001004A
Other languages
English (en)
Other versions
TH115487A (th
Inventor
สุตะพันธ์ นายบุญส่ง
อัมฤทธิ์ นายรัฐศาสตร์
สมบูรณ์แก้ว นายอาโมทย์
Original Assignee
นางสาวอรกนก พรรณรักษา
นางสาวอรุณศรี ศรีธนะอิทธิพล
นางสาวอรุณศรี ศรีธนะอิทธิพล นายชาญชัย นีรพัฒนกุล นางสาวอรกนก พรรณรักษา
นายชาญชัย นีรพัฒนกุล
Filing date
Publication date
Application filed by นางสาวอรกนก พรรณรักษา, นางสาวอรุณศรี ศรีธนะอิทธิพล, นางสาวอรุณศรี ศรีธนะอิทธิพล นายชาญชัย นีรพัฒนกุล นางสาวอรกนก พรรณรักษา, นายชาญชัย นีรพัฒนกุล filed Critical นางสาวอรกนก พรรณรักษา
Publication of TH115487A publication Critical patent/TH115487A/th
Publication of TH75573B publication Critical patent/TH75573B/th

Links

Abstract

DC60 สเปกโตรมิเตอร์แบบหลายช่องวัดตามการประดิษฐ์นี้ สามารถใช้วัดสเปกตรัมเชิงแสงจาก หลายจุดวัดบนตัวอย่างชิ้นงานได้อย่างต่อเนื่อง มีความแม่นยำในการวัดสูง และสามารถปรับขนาด ตำแหน่ง หรือจำนวนจุดวัดได้อย่างยืดหยุ่น สิ่งประดิษฐ์นี้ใช้อุปกรณ์เอสแอลเอ็ม (Special light modulator, SLM) ทำหน้าที่เป็นช่องเปิดรับแสง ซึ่งจะยินยอมให้แสงสะท้อนหรือทะลุผ่านจาก ตำแหน่งบนตัวอย่างชิ้นงานที่ต้องการวัดสเปกตรัม สามารถเคลื่อนที่ผ่านไปยังสเปกโตรมิเตอร์เพื่อ ทำหน้าที่วัดสเปกตรัมแสงได้ เมื่อต้องการวัดสเปกตรัมจากหลายจุดวัดบนตัวอย่างชิ้นงาน ก็จะ โปรแกรมการทำงานของอุปกรณ์เอสแอลเอ็ม ให้เปิดช่องรับแสงให้ตรงกับขนาดและตำแหน่งของ จุดวัดบนตัวอย่างชิ้นงานในแต่ละจุดไปเรื่อยๆ เมื่อต้องการวัดสเปกตรัมอย่างต่อเนื่องตามเวลา ก็ สามารถโปรแกรมให้เครื่องมือดังกล่าวทำงานซ้ำไปเรื่อยๆ ได้ ทำให้สิ่งประดิษฐ์นี้สามารถวัด สเปกตรัมแสงจากตำแหน่งต่างๆ ได้ โดยไม่มีการเคลื่อนไหวเชิงกลของอุปกรณ์การวัดหรือการ เลื่อนตำแหน่งตัวอย่างชิ้นงาน จึงทำให้สามารถวัดสเปกตรัมจากจุดต่างๆ ได้อย่างต่อเนื่องและมี ความแม่นยำสูง ลักษณะพิเศษของสิ่งประดิษฐ์นี้ยังประกอบด้วยอุปกรณ์ตรวจสอบตำแหน่งและ ขนาดช่องเปิดรับแสงบนอุปกรณ์เอสแอลเอ็มว่าตรงกับตำแหน่งบนตัวอย่างชิ้นงานหรือไม่ โดยใช้ กล้องรับภาพวางไว้ในตำแหน่ง ที่สามารถมองเห็นช่องเปิดรับแสงบนอุปกรณ์เอสแอลเอ็มและ ตัวอย่างชิ้นงานพร้อมกัน ความสามารถดังกล่าวจะทำให้ผู้สามารถกำหนดตำหน่ง ขนาด และ จำนวนจุดวัดสเปกตรัมบนตัวอย่างชิ้นงานได้อย่างยืดหยุ่น สเปกโตรมิเตอร์แบบหลายช่องวัดตามการประดิษฐ์นี้ สามารถใช้วัดสเปกตรัมเชิงแสงจาก หลายจุดวัดบนตัวอย่างชิ้นงานได้อย่างต่อเนื่อง มีความแม่นยำในการวัดสูง และสามารถปรับขนาด ตำแหน่ง หรือจำนวนจุดวัดได้อย่างยืดหยุ่น สิ่งประดิษฐ์นี้ใช้อุปกรณ์เอสแอลเอ็ม (Special light modulator, SLM) ทำหน้าที่เป็นช่องเปิดรับแสง ซึ่งจะยินยอมให้แสงสะท้อนหรือทุลุผ่านจาก ตำแหน่งบนตัวอย่างชิ้นงานที่ต้องการวัดสเปกตรัม สามารถเคลื่อนที่ผ่านไปยังสเปกโตรมิเตอร์เพื่อ ทำหน้าที่วัดสเปกตรัมแสงได้ เมื่อต้องการวัดสเปกตรัมจากหลายจุดวัดบนตัวอย่างชิ้นงาน ก็จะ โปรแกรมการทำงานของอุปกรณ์เสอแอลเอ็ม ให้เปิดช่องรับแสงให้ตรงกับขนาดและตำแหน่งของ จุดวัดบนตัวอย่างชิ้นงานในแต่ละจุดไปเรื่อยๆ เมื่อต้องการวัดสเปกตรัมอย่างต่อเนื่องตามเวลา ก็ สามารถโปรแกรมให้เครื่องมือดังกล่าวทำงานซ้ำไปเรื่อยๆ ได้ ทำให้สิ่งประดิษฐ์นี้สามารถวัด สเปกตรัมแสงจากตำแหน่งต่างๆ ได้ โดยไม่มีการเคลื่อนไหวเชิงกลของอุปกรณ์การวัดหรือการ เลื่อนตำแหน่งตัวอย่างชิ้นงาน จึงทำให้สามารถวัดสเปกตรัมจากจุดต่างๆ ได้อย่างต่อเนื่องและมี ความแม่นยำสูง ลักษณะพิเศษของสิ่งประดิษฐ์นี้ยังประกอบด้วยอุปกรณ์ตรวจสอบตำแหน่งและ ขนาดช่องเปิดรับแสงบนอุปกรณ์เอสแอลเอ็มว่าตรงกับตำแหน่งบนตัวอย่างชิ้นงานหรือไม่ โดยใช้ กล้องรับภาพวางไว้ในตำแหน่ง ที่สามารถมองเห็นช่องเปิดรับแสงบนอุปกรณ์เอสแอลเอ็มและ ตัวอย่างชิ้นงานพร้อมกัน ความสามารถดังกล่าวจะทำให้ผู้สามารถกำหนดตำหน่ง ขนาด และ จำนวนจุดวัดสเปกตรัมบนตัวอย่างชิ้นงานได้อย่างยืดหยุ่น

Claims (1)

1. ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา :
TH1001001004A 2010-07-05 เครื่องมือวัดสเปกตรัมแสงแบบหลายช่องวัด TH75573B (th)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH115487A TH115487A (th) 2012-07-31
TH75573B true TH75573B (th) 2020-04-09

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
IL232255B (en) Methods and apparatus for measuring a property of a substrate
EP4317947A4 (en) Fluorescence measuring device
DK3865850T3 (da) Lyskilde til spektroskopisk analyse, spektroskopisk analyseindretning og spektroskopisk analysefremgangsmåde
EP4036537A4 (en) MEASURING DEVICE
JP2017516075A5 (th)
EP4209761C0 (en) MEASURING DEVICE
DK3523029T3 (da) Fremgangsmåde til at teste en prøve
EP4102175A4 (en) Position measurement device
FI20136036A7 (fi) Laite ja menetelmä kohteen optiseksi mittaamiseksi
EP3748339C0 (en) Device for gas analysis using raman spectroscopy
CN104280348A (zh) 一种应用于光电直读光谱分析仪的光学系统
NO20080166L (no) Spektrometeranordning for maling av forskjovede spektrale distribusjoner
IL280874A (en) Light attenuation device for high power uv inspection tool
EP4512282A4 (en) EXPOSURE DEVICE
EP4372389A4 (en) Test device
TH75573B (th) เครื่องมือวัดสเปกตรัมแสงแบบหลายช่องวัด
EP4239997A4 (en) CAMERA DEVICE FOR DISTANCE MEASUREMENT
EP4379403A4 (en) Test apparatus
EP3974105C0 (en) MEASURING DEVICE
TH115487A (th) เครื่องมือวัดสเปกตรัมแสงแบบหลายช่องวัด
EP4001890A4 (en) Particle quantitative measurement device
EP4368983C0 (en) MEASURING DEVICE
EP4538682A4 (en) PLASMA MEASURING DEVICE
TWI801243B (zh) 試料檢查裝置
EP4350377A4 (en) Magnetism measuring device