TH113079A

TH113079A - ระบบและวิธีการสำหรับขนส่งชิ้นส่วนสารกึ่งตัวนำแบบความเร็วสูงยืดหยุ่น

Info

Publication number: TH113079A
Application number: TH601005790A
Authority: TH
Inventors: เจียงปิง จิน; เจียนปิง จิน; ลี กวาง เฮง
Original assignee: เซมิคอนดัคเตอร์ เทคโนโลยีส์ แอนด์ อินสตรูเมนท์ พีทีอี แอลทีดี; นางสาวสุวดี ศิริชีพชัยยันต์; นายมนูญ ช่างชำนิ
Filing date: 2010-11-01
Publication date: 2012-03-20

Abstract

หน้า 1 ของจำนวน 1 หน้า บทสรุปการประดิษฐ์ ระบบสำหรับการขนส'งชินส่วนสารกึ่งตัวนำประกอบรวมด้วยโครงสร้างเทอร์เร็ต (turret) แบบหมุน ตัวพาที่หนึ่ง ตัวพาที่สอง และกลไกจับและวางเป็นกลุ่ม เทอร์เร็ตประกอบรวมด้วยเพลากลางและจำนวน หนึ่งของหัวหยิบจับที่สามารถหมุนรอบเพลา หัวหยิบจับถูกทำให้เคลื่อนที่อย่างหมุนได้เพื่อขนส่งชินส่วน สารกึ่งตัวนำระหว่างมอดูลปฏิบัติการเพื่อปฏิบัติการต่อชินส่วนต่าง ๆ ชินส่วนสารกึ่งตัวนำถูกขนส่ง ในลักษณะเรียงต่อกันจากหัวหยิบจับไปบังตัวพาที่หนึ่งและตัวพาที่ลอง กลไกจับและวางเป็นกลุ่มขนส่ง ชินส่วนสารกึ่งตัวนำแบบรวมเป็นกลุ่มจากตัวพาที่หนึ่งและลองไปไว้บนมีเดียบรรจุภัณฑ์ การเคลื่อนที่ ฃึ๋น-ลงแบบทันทของหัวเทอร์เร็ตระหว่างสถานีปฏิบัติการ ตัวพาคู่หนึ่งซึ่งดำเนินการในลักษณะเคลื่อนไหว แบบเป็นวงกลมซึ่งกันและกันสำหรับการขนส่งชินส่วนต่าง ๆ จากเทอร์เร็ตไปบังตำแหน่งแยกชนิด และกลไก จับและวางเป็นกลุ่มเพื่อแยกกลุ่มของชินส่วนจากตัวพาคู่หนึ่งเข้าไปในถาดเอาต์พุตช่วยเพิ่ม UPH ในระบบ ให้ดีฃึน

Claims

1. : หน้า 1 ของจำนวน 1 หน้า บทสรุปการประดิษฐ์ ระบบสำหรับการขนส\'งชินส่วนสารกึ่งตัวนำประกอบรวมด้วยโครงสร้างเทอร์เร็ต (turret) แบบหมุน ตัวพาที่หนึ่ง ตัวพาที่สอง และกลไกจับและวางเป็นกลุ่ม เทอร์เร็ตประกอบรวมด้วยเพลากลางและจำนวน หนึ่งของหัวหยิบจับที่สามารถหมุนรอบเพลา หัวหยิบจับถูกทำให้เคลื่อนที่อย่างหมุนได้เพื่อขนส่งชินส่วน สารกึ่งตัวนำระหว่างมอดูลปฏิบัติการเพื่อปฏิบัติการต่อชินส่วนต่าง ๆ ชินส่วนสารกึ่งตัวนำถูกขนส่ง ในลักษณะเรียงต่อกันจากหัวหยิบจับไปบังตัวพาที่หนึ่งและตัวพาที่ลอง กลไกจับและวางเป็นกลุ่มขนส่ง ชินส่วนสารกึ่งตัวนำแบบรวมเป็นกลุ่มจากตัวพาที่หนึ่งและลองไปไว้บนมีเดียบรรจุภัณฑ์ การเคลื่อนที่ ฃึ๋น-ลงแบบทันทของหัวเทอร์เร็ตระหว่างสถานีปฏิบัติการ ตัวพาคู่หนึ่งซึ่งดำเนินการในลักษณะเคลื่อนไหว แบบเป็นวงกลมซึ่งกันและกันสำหรับการขนส่งชินส่วนต่าง ๆ จากเทอร์เร็ตไปบังตำแหน่งแยกชนิด และกลไก จับและวางเป็นกลุ่มเพื่อแยกกลุ่มของชินส่วนจากตัวพาคู่หนึ่งเข้าไปในถาดเอาต์พุตช่วยเพิ่ม UPH ในระบบ ให้ดีฃึน ข้อถือสิทธิ์ (ข้อที่หนึ่ง) ซึ่งจะปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา : หน้า 1 ของจำนวน 10 หน้า แท็ก :