TH10450B - หน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูป วิธีการในการทำหน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูป และสารหุ้มห่อหุ้มสำหรับใช้ในหน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูป - Google Patents

Abstract

ได้มีการเปิดเผยถึงหน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูปที่ไดรับการปรับปรุงให้ดีขึ้นอันหนึ่ง ทำชุดสำเร็จรูปนี้ด้วย อุปกรณ์สารกึ่งตัวนำที่มีขั้วไฟฟ้าอันหนึ่ง พื้นชั้นล้างอันหนึ่งที่มีขั้วไฟฟ้าปลาย ทางอันหนึ่ง ขั้วไฟฟ้ากันชนอันหนึ่งที่ทำไว้บนชั้นขั้วไฟฟ้า ชั้นกาวตัวนำอันหนึ่งมที่มีความยึดหยุ่นและชั้น ห่อหุ้มอันหนึ่งทำที่ให้เกิดขึ้นโดยการบ่มสูตรผสมที่มีความหนืดและดัชนีธิกโซโทรพีซึ่งต่ำกว่า 100 พาสคาล. วินาที และต่ำกว่า 1.1 ตามลำดับ สูตรผสมดังกล่าวมีส่วนสำคัญประกอบด้วย (A) เรซินตัวยึดเหนี่ยวอันหนึ่งที่มียกตัวอย่างเช่น แอลิอีพอกไซด์อันหนึ่ง แอนไฮไดรด์ของกรดอันหนึ่งและ สารปรับสภาพกระแสวิทยาอันหนึ่งและ (B) ตัวเติมอันหนึ่ง สารปรับสภาพกระแสวิทยาเป็นชนิดที่ สามารถขัดขวางการทำปฏิกิริยากันระหว่างกรดอิสระอันหนึ่งที่มีอยู่ในแอนไฮไดรด์ของกรดและหมู่ โพลาร์อันหนึ่งที่ผิวของตัวเร่ง ใช้สารห่อหุ้มอันหนึ่งที่มีความสามารถไหลได้ที่ได้รับการปรับปรุงให้ ดีขึ้นเพื่อให้สารห่อหุ้มพร้อมจะไหลและแพร่ออกได้ง่ายเพื่อบรรจุช่องว่างระหว่างอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ และพื้นชั้นล่างโดยไม่มีฟองอากาศนี้สามารถบรรลุผลสำเร็จผิวหล่อสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูปที่มีความ สามารถวางใจได้สูงและมีผลิตสูง

Claims (9)

1. หน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูปอันหนึ่งซึ่งประกอบด้วย ( a) อุปกรณ์สารกึ่งตัวนำอันหนึ่งที่มีขั้วไฟฟ้าอันหนึ่ง (b ) พื้นชั้นล่างอันหนึ่งที่มีขั้วไฟฟ้าปลายทางอันหนึ่ง (c) ขั้วไฟฟ้ากันชนอันหนึ่งที่ทำไว้บนชั้นขั้วไฟฟ้าดังล่าวของอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ ดังกล่าว (d) ชั้นกาวตัวนำซึ่งประกอบด้วยกาวตัวนำอันหนึ่งที่มีความยืดหยุ่นและซึ่งทำให้เกิด การเชื่อมต่อทางไฟฟ้าระหว่างขั้วไฟฟ้ากันชนดังกล่าวและขั้วไฟฟ้าปลายทางดังกล่าวและ (e) ชั้นห่อหุ้มอันหนึ่งซึ่งทำให้เกิดขึ้นโดยการบ่มสูตรผสมที่มีความหนืดต่ำกว่า 100 พาสคาล. วินาทีและมีดัชนีธิกโซโทรพีต่ำกว่า 1.1 และซึ่งเติมช่องว่างอันที่หนึ่งที่เกิดขึ้นระหว่าง อุปกรณ์สารกึ่งตัวนำดังกล่าวและพื้นชั้นล่างดังกล่าวในลักษณะที่อุปกรณ์สารกึ่งตัวนำดังกล่าวและพื้น ชั้นล่างดังกล่าวเชื่อมต่อด้วยกันทางกล 2. หน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูปอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 1 ที่ สูตรผสมดังกล่าวมีส่วนสำคัญประกอบด้วย ( A) เรซินตัวยึดเหนี่ยวอันหนึ่งที่มีอย่างน้อย ที่สุดพอลิอีพอกไซด์อันหนึ่ง แอนไฮไดรด์ของกรดคาร์บอกซิลิคอันหนึ่ง สารปรับสภาพกระแสวิทยาอันหนึ่ง และตัวเร่งการบ่มแฝงอันหนึ่งและ (B ) ตัวเติมอันหนึ่งที่ประกอบด้วยวัสดุไดอิเล็กทริคอันหนึ่งและ สารปรับสภาพของกระแสวิทยาดังกล่าวทำหน้าที่เพื่อขัดขวางการทำปฏิกิริยากันระหว่าง กรดอิสระอันหนึ่งในแอนไฮไดรด์ดังกล่าวของกรดคาร์บอกซิลิคดังกล่าวและหมู่โพลาร์อันหนึ่งที่ผิวของ ตัวเติมดังกล่าว 3. หน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูปอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 2 ที่สารปรับสภาพกระแสวิทยา ดังกล่าวมีสารชนิดหนึ่งที่สามารถเลือกดูดซับกรดอิสระดังกล่าวในแอนไฮไดรด์ดังกล่าวของกรดคาร์บอก ซิลิคดังกล่าว 4. หน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูปอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 2 ที่สารปรับสภาพกระแสวิทยา ดังกล่าวเป็นสารประกอบ Lewisเบสอันหนึ่ง 5. หน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูปอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 2 ที่สารปรับสภาพกระแสวิทยา ดังกล่าวเป็นสารประกอบเทอร์ซิแอรี แอมีนอันหนึ่ง สารประกอบเทอร์ซิแอรีฟอสฟีนอันหนึ่ง เกลือ ควอร์เทอร์แนรีแอมโมเนียมอันหนึ่ง เกลือควอเทอร์แนรีฟอสโฟเนียมอันหนึ่งหรือสารประกอบเฮเทอ โนไซคลิคอันหนึ่งที่มีไนโทรเจนอะตอมหนึ่งอยู่ในโซ่วงแหวนอันหนึ่งของมัน 6. หน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูปอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 2 ที่แอนไฮไดรด์ดังกล่าวของ กรดคาร์บอกซิลิคดังกล่าวในเรซินตัวยึดเหนี่ยวดังกล่าวมีแอนไฮไดรด์อย่างน้อยที่สุดอันหนึ่งของกรด แอลิไซคลิคอันหนึ่ง 7. หน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูปอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 6 ที่แอนไฮไดรด์ของกรด แอลิไซคลิคดังกล่าวอย่างน้อยที่สุดซึ่งแอนไฮไดรด์อันหนึ่งของกรดไทรแอลคิล เททราไฮโดรพธาลิค อันหนึ่ง 8. หน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูปอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 1 ที่ขั้วไฟฟ้ากันชนดังกล่าวของ อุปกรณ์สารกึ่งตัวนำดังกล่าวเป็นขั้วไฟฟ้าแกนกันชนที่มีส่วนที่ยื่นออกเป็นสองชั้น 9. วิธีการทำหน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูปอันหนึ่งที่ติดตั้งอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำอันหนึ่ง ที่มีขั้วไฟฟ้าอันหนึ่งไว้บนพื้นชั้นล่างอันหนึ่งที่มีขั้วไฟฟ้าปลายทางอันหนึ่งวิธีการดังกล่าวประกอบด้วย (a) ขั้นตอนที่หนึ่ง อันหนึ่งในการทำให้มีขั้วไฟฟ้ากันชนอันหนึ่งบนชั้นขั้วไฟฟ้าดังกล่าว ของอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำดังกล่าว (b) ขั้นตอนที่สองอันหนึ่งของการใช้กาวตัวนำอันหนึ่งรอบปลายของขั้วไฟฟ้ากันชนดังกล่าว (c) ขั้นตอนที่สามอันหนึ่งประกอบด้วย ทำการเรียงขั้วไฟฟ้ากันชนดังกล่าวและขั้วไฟฟ้าปลายทางดังกล่าวให้เป็นแนว วางอุปกรณ์ตัวนำไฟฟ้าดังกล่าวลงบนพื้นชั้นล่างดังกล่าว และ ทำใหัเกิดการเชื่อมต่อทางไฟฟ้าอันหนึ่งระหว่างขั้วไฟฟ้ากันชนดังกล่าวและขั้วไฟฟ้า ปลายทางดังกล่าวจากการใช้กาวตัวนำดังกล่าว (d) ขั้นตอนที่สี่อันหนึ่งของการเตรียม สารห่อหุ้มอันหนึ่งประกอบด้วยสูตรผสมอันหนึ่ง ที่มีความหนืดและดัชนีธิกโซโทรพีซึ่งต่ำกว่า 100 พาสคาล. วินาที และต่ำกว่า 1.1 ตามลำดับ ( e) ขั้นตอนที่สี่อันหนึ่งของการบรรจุสารห่อหุ้มเข้าไปในช่องว่างที่เกิดขั้นระหว่าง อุปกรณ์สารกึ่งตัวนำดังกล่าวและพื้นรองรับดังกล่าวและ ( f) ขั้นตอนที่หกอันหนึ่งของการบ่มสารห่อหุ้มดังกล่าวเพื่อให้เชื่อมต่ออุปกรณ์สารกึ่ง ตัวนำดังกล่าวและชั้นล่างดังกล่าวทางกล 1 0. วิธีการทำหน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูปอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 9 ที่ สูตรผสมดังกล่าวของขั้นตอนที่สี่ดังกล่าวมีส่วนสำคัญประกอบด้วย (A) เรซินตัวยึด เหนี่ยวอันหนึ่งที่อย่างน้อยที่สุดมีพอลิอีพอกไซด์อันหนึ่ง แอไฮไดรด์อันหนึ่งของกรดคาร์บอกซิลิค อันหนึ่ง สารปรับสภาพกระแสวิทยาอันหนึ่งและตัวเร่งการบ่มแฝงอันหนึ่งและ (B) ตัวเติมอันหนึ่ง ที่ประกอบด้วยวัสดุไดอิเล็กทริคอันหนึ่งและ สารปรับสภาพกระแสวิทยาดังกล่าวทำหน้าที่ขัดขวางการทำปฏิกิริยากับระหว่างกรด อิสระอันหนึ่งในแอนไฮโดรด์ของกรดคาร์บอกซิลิคดังกล่าวและหมู่โพลาร์อันหนึ่งที่ผิวของตัวเติม 1 1. วิธีการในการทำหน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูปอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 9 ที่สาร ปรับสภาพกระแสวิทยาดังกล่าวมีสารอันหนึ่งซึ่งทำหน้าที่เป็นตัวเร่งการบ่มอันหนึ่งาหรับสารห่อหุ้ม ประเภทของเหลวคู่ด้วย ด้วยปริมาณเล็กน้อยดังกล่าวอันหนึ่งเพื่อป้องกันสารดังกล่าวไม่ให้ทำหน้า ที่เร่งการบ่มของมัน 1 2. วิธีการทำหน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูปอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 10 ที่แอนไฮไดรด์ ดังกล่าวของกรดคาร์บอกซิลิคดังกล่าวในเรซินตัวยึดเหนี่ยวดังกล่าวของขั้นตอนที่สี่ดังกล่าวมีแอนไฮไดรด์ อย่างน้อยที่สุดอันหนึ่งของกรดแอลิไซคลิคอันหนึ่ง 1 3. การทำหน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูปอันหนึ่งของข้อถือสทธิ 12 ที่แอนไฮไดรด์ ของกรดแอลิไซคลิคดังกล่าวของขั้นตอนที่สี่ดังกล่าวมีอย่างน้อยที่สุดมีแอนไฮไดรด์ของกรดไทรแอลคิล เททราไฮโดรพธาลิคอันหนึ่ง 1 4. วิธีการทำหน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูปอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 9 ที่ขั้วไฟฟ้ากันชน ดังกล่าวของขั้นตอนที่หนึ่งดังกล่าวเป็นขั้วไฟฟ้าแกนกันชนที่มีส่วนที่ยื่นออกเป็นสองชั้น 1 5. วิธีการทำหน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูปอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 9 ที่มีสารห่อหุ้ม ดังกล่าวในขั้นตอนที่สี่ดังกล่าวเข้าไปในระหว่างอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำดังกล่าวและพื้นชั้นล่างดังกล่าว ที่อุณหภูมิห้อง 1 6. วิธีการทำหน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูปอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 9 ฉีดสารห่อหุ้ม ดังกล่าวในขั้นตอนที่ห้าดังกล่าวเข้าไปในระหว่างอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำดังกล่าวและพื้นชั้นล่างดังกล่าว ภายใต้สภาพลดความดัน 1 7. วิธีการทำหน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูปอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 9 ที่เตรียมสูตร ผสมดังกล่าวของสารห่อหุ้มดังกล่าวในขั้นตอนที่สี่ดังกล่าวโดย การให้มีของผสมอันหนึ่งของแอนไฮไดรด์อันหนึ่งของกรดคาร์บอกซิลิคอันหนึ่งและส่วน หนึ่งของตัวเติมอันหนึ่ง ให้ของผสมดังกล่าวผ่านกรรมวิธีการทำให้มีอายุอันหนึ่งและ การเติมพอลิอีพอกไซด์อันหนึ่งและตัวเติมที่เหลือลงไปในของผสมดังกล่าว 1 8. วิธีการทำหน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูปอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 10 ที่สารปรับสภาพ กระแสวิทยาดังกล่าวมีสารอันหนึ่งซึ่งสามารถเลือกดูดซับกรดอิสระดังกล่าวในแอนไฮไดรด์ดังกล่าว ของกรดคาร์บอกซิลิคดังกล่าว 1 9. วิธีการทำหน่วยสารกึ่งตัวนำสำเร็จรูปอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 10 ที่สารปรับสภาพ กระแสวิทยาดังกล่าวอาจเป็นสารประกอบเทอร์ซิแอรี แอมีนอันหนึ่ง สารประกอบเทอร์ซิแอรีฟอสฟีน อันหนึ่ง เกลือควอเทอร์แนรีแอมโมเนียมอันหนึ่ง เกลือควอเทอร์แรีฟอสโฟเนียมอันหนึ่งหรือสารประกอบ เฮเทอโรไซคลิคอันหนึ่งที่มีไนโตรเจนอะตอมหนึ่งอยู่ในโซ่วงแหวนอันหนึ่ง 2

1. สารห่อหุ้มอันหนึ่งสำหรับบรรจุช่องว่างระหว่างอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำอันหนึ่งและ พื้นชั้นล่างอันหนึ่งสำหรับใช้ในชุดสำเร็จรูปของหน่วยสารกึ่งตัวนำอันหนึ่งสารห่อหุ้มดังกล่าวมีส่วน สำคัญประกอบด้วย (A) เรซินตัวยึดเหนี่ยวอันหนึ่งที่อย่างน้อยที่สุดมีพอลิอีพอกไซด์อันหนึ่ง แอนไฮไดรด์ อันหนึ่งของกรดคาร์บอกซิลิคอันหนึ่ง สารปรับสภาพกระแสวิทยาอันหนึ่งและตัวเร่งการบ่มแฝงอันหนึ่ง ที่เปอร์เซ็นต์โดยน้ำหนักของเรซินตัวยึดเหนี่ยวดังกล่าวอยู่ในระหว่างช่วงของ 80% ถึง 25% และ (B) ตัวเติมอันหนึ่งที่ประกอบด้วยวัสดุไดอิเล็กทริคอันหนึ่งที่เปอร์ออกไซด์โดยน้ำหนัก ของตัวเติมดังกล่าวอยู่ภายในช่วงจาก 20% ถึง 75% ที่สารปรับสภาพกระแสวิทยาดังกล่าวทำหน้าที่เพื่อขัดขวางการทำปฏิกิริยากันระหว่าง กรดอิสระอันหนึ่งในแอนไฮไดรด์ดังกล่าวของกรดคาร์บอกซิลิคดังกล่าวและหมู่โพลาร์อันหนึ่งที่ผิวของ ตัวเติมดังกล่าว 2

2. สารห่อหุ้มอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 21 ที่สารปรับกระแสวิทยาดังกล่าวมีสารอันหนึ่ง ซึ่งสามารถเลือกดูดซับกรดอิสระดังกล่าวในแอนไฮไดรด์ดังกล่าวของกรดคาร์บอกซิลิคดังกล่าว 2

3. สารห่อหุ้มอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 21 ที่สารปรับสภาพกระแสวิทยาดังกล่าวเป็น สารประกอบ Lewis เบสอันหนึ่ง 2

4. สารห่อหุ้มอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 21 ที่สารปรับสภาพกระแสวิทยาดังกล่าวอาจ เป็น สารประกอบเทอร์ซิแอรีแอมีนอันหนึ่ง สารประกอบเทอร์ซิแอรีฟอสฟีนอันหนึ่ง เกลือควอเทอร์ แนรีแอมโมเนียมอันหนึ่ง เกลือควอเทอร์แนรีฟอสโฟเนียทอันหนึ่งหรือสารประกอบเฮเทอโรไซคลิค อันหนึ่งที่มีไนโตรเจนอะตอมหนึ่งในโซ่วงแหวนอันหนึ่งของมัน 2

5. สารห่อหุ้มอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 21 ที่แอนไฮไดรด์ดังกล่าวของกรดคาร์บอกซิลิค ดังกล่าวในเรซินตัวยึดเหนี่ยวดังกล่าวอย่างน้อยที่สุดมีแอนไฮไดรด์อันหนึ่งของกรดแอลิไซคลิคอันหนึ่ง 2

6. สารห่อหุ้มอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 25 ที่แอนไฮไดรด์ของกรดแอลิไซคลิคดังกล่าว อย่างน้อยที่สุดมีแอนไฮไดรด์อันหนึ่งของกรดไทรแอลคิลเททราไฮโดรพธาลิคอันหนึ่ง 2

7. สารห่อหุ้มอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 21 ที่จัดเรซินตัวยึดเหนี่ยวดังกล่าวและตัวเติม ดังกล่าวให้อยู่ในสภาพของเหลวเดี่ยว 2

8. สารห่อหุ้มอันหนึ่งของข้อถือสิทธิ 21 เรซินตัวยึดเหนี่ยวดังกล่าวมีสูตรผสมอันหนึ่งที่ (a) อัตราส่วนสมมูลย์เคมีของแอนไฮไดรด์ดังกล่าวของกรดคาร์บอกซิลิคดังกล่าวต่อ พอลิอีพอกไซด์ดดังกล่าวอยู่ในระหว่างช่วงจาก 0.8 ถึง 1.1 (b) เปอร์เซ็นต์โดยน้ำหนักของตัวเร่งการบ่มดังกล่าวต่อเรซินตัวยึดเหนี่ยวดังกล่าว ทั้งหมดอยู่ภายในช่วงจาก 0.2% ถึง 3% และ (c) เปอร์เซ็นต์โดยน้ำหนักของสารปรับสภาพกระแสวิทยาดังกล่าวต่อเรซินตัวยึด เหนี่ยวดังกล่าวทั้งหมดอยู่ภายในช่วงจาก 0.02% ถึง 0.3% 2

9. สารห่อหุ้มอันหนึ่งสำหรับบรรจุในช่องว่างระหว่างอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำอันหนึ่งและ พื้นรองรับอันหนึ่งสำหรับใช้ในการทำชุดสำเร็จรูปของหน่วยสารกึ่งตัวนำอันหนึ่ง สารห่อหุ้มดังกล่าว มีส่วนสำคัญประกอบด้วย (A) เรซินตัวยึดเหนี่ยวอันหนึ่งที่อย่างน้อยที่สุดมีอีพอกไซด์อันหนึ่ง แอนไฮไดรด์ อันหนึ่งของกรดคาร์บอกซิลิคอันหนึ่ง สารปรับสภาพกระแสวิทยาอันหนึ่งและตัวเร่งการบ่มแฝงอันหนึ่ง ที่เปอร์เซ็นต์โดยน้ำหนักของเรซินตัวยึดเหนี่ยวดังกล่าวอยู่ในช่วงจาก 80% ถึง 25% และ (B) ตัวเติมอันหนึ่งที่ประกอบด้วยวัสดุไดอิเล็กทริคอันหนึ่งที่เปอร์เซ็นต์โดยน้ำหนักของ ตัวเติมดังกล่าวอยู่ภายในช่วงจาก 20% ถึง 75% การทำให้มีของผสมอันหนึ่งของแอนไฮไดรด์อันหนึ่งของกรดคาร์บอกซิลิคอันหนึ่งและ ส่วนของตัวเติมอันหนึ่ง นำของผสมดังกล่าวผ่านกรรมวิธีการทำให้มีอายุอันหนึ่งและ การเติมพอลิอีพอกไซด์อันหนึ่งและตัวเติมส่วนที่เหลือลงไปในของผสมดังกล่าว