TH100758B - ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคของวัสดุเชิงประกอบของซิลิคอน-โลหะและวิธีการผลิตสิ่งเดียวกันนี้ - Google Patents

ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคของวัสดุเชิงประกอบของซิลิคอน-โลหะและวิธีการผลิตสิ่งเดียวกันนี้

Info

Publication number
TH100758B
TH100758B TH801005895A TH0801005895A TH100758B TH 100758 B TH100758 B TH 100758B TH 801005895 A TH801005895 A TH 801005895A TH 0801005895 A TH0801005895 A TH 0801005895A TH 100758 B TH100758 B TH 100758B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
silicon
micro
metal composite
composite material
mechanical component
Prior art date
Application number
TH801005895A
Other languages
English (en)
Other versions
TH100758A (th
Inventor
นาย มาร์โคเวราโด นาย เธียร์รี่โคนัส นาย ฌอง-ฟิลิปเป้ธีบัวด์ นาย ฌอง เบอร์ยาร์ดปีเตอร์ นาย ฌอง-ชาร์ลส์เยคคาบริโน
Original Assignee
ไนวารอกซ์ฟาร์ เอสเอ ไนวารอกซ์ฟาร์ เอสเอ
Filing date
Publication date
Application filed by ไนวารอกซ์ฟาร์ เอสเอ ไนวารอกซ์ฟาร์ เอสเอ filed Critical ไนวารอกซ์ฟาร์ เอสเอ ไนวารอกซ์ฟาร์ เอสเอ
Publication of TH100758B publication Critical patent/TH100758B/th
Publication of TH100758A publication Critical patent/TH100758A/th

Links

Abstract

การประดิษฐ์ในที่นี้เกี่ยวข้องกับวิธีการ (1) ของการผลิตส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคของวัสดุ เชิงประกอบของซิลิคอน-โลหะ (51) ซึ่งประกอบด้วยกระบวนการ DIRE และ LIGA รวมกัน นอกจากนี้ การประดิษฐ์ในที่นี้ยังเกี่ยวข้องกับส่วนประกอบเชิงกลจุลภาค (51) ที่มีชั้นซึ่งมี ส่วนหนึ่ง (53) ทำจากซิลิคอนและอีกส่วนหนึ่ง (41) ทำจากโลหะเพื่อสร้างส่วนประกอบเชิงกลจุลภาค ของวัสดุเชิงประกอบ (51) การประดิษฐ์ในที่นี้มุ่งเน้นไปที่สาขาวิทยาการด้านการเดินของนาฬิกา

Claims (1)

  1. วิธีการผลิต (1) ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคของวัสดุเชิงประกอบของซิลิคอน-โลหะ (51, 51', 51") ซึ่งประกอบด้วยขั้นตอนต่อไปนี้ a) การจัดทำ (11) ฐานรอง (3) ที่มีชั้นของซิลิคอนด้านบนสุด (5) และด้านล่างสุด (7) ซึ่ง มีชั้นของซิลิคอนออกไซด์คั่นกลาง (9) แทรกอยู่ระหว่างกลาง b) การเลือกกัด (13) บริเวณโพรง (37, 45, 45") อย่างน้อยหนึ่งแห่งในชั้นบนสุด (5) เพื่อให้เกิดแพตเทิร์นของส่วนที่เป็นซิลิคอน (53, 53") ของส่วนประกอบดังกล่าว c) การกัด (15) บริเวณโพรง (37, 45, 45") อย่างน้อยห
TH801005895A 2008-11-14 ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคของวัสดุเชิงประกอบของซิลิคอน-โลหะและวิธีการผลิตสิ่งเดียวกันนี้ TH100758A (th)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH100758B true TH100758B (th) 2010-03-26
TH100758A TH100758A (th) 2010-03-26

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2010011842A3 (en) Bonded intermediate substrate and method of making same
WO2010031192A8 (en) Methods for manufacturing ultrasound transducers and other components
EP3449519A4 (en) Metal alloy layers on substrates, methods of making same, and uses thereof
JP2019504490A5 (th)
WO2011081308A3 (ko) 수소 센서 및 그 제조 방법
EP2042613A4 (en) COPPER BASED ROLL ALLOY AND METHOD OF MANUFACTURING THEREOF
WO2012177304A3 (en) Micro-electro-mechanical system (mems) and related actuator bumps, method of manufacture and design structures
WO2010143895A3 (en) Semiconductor substrate, semiconductor device, and manufacturing methods thereof
FR2957280B1 (fr) Procede de fabrication d'un complexe metallique
WO2015038367A3 (en) Forming through wafer vias in glass
WO2008136898A3 (en) Methods and apparatus for making honeycomb structures with chamfered after-applied skin and honeycomb structures produced thereby
WO2012120060A3 (de) Verfahren zur herstellung eines thermoelektrischen moduls
WO2007121735A3 (de) Verbundsubstrat und verfahren zur herstellung eines verbundsubstrats
MY191753A (en) Polishing pad with foundation layer and window attached thereto
EP2369940A4 (en) SOLID MILK AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
TW201129497A (en) silicon substrate having nanostructures and method for producing the same and application thereof
EP2689881A4 (en) BONDED OBJECT BASED ON A SUPER HARD TUNGSTEN CARBIDE ALLOY AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
JP2011228680A5 (ja) Ｓｏｉ基板の作製方法、および半導体基板の作製方法
WO2009100809A3 (de) Thermo-elektrischer wandler und zugehöriges herstellungsverfahren
WO2007003826A3 (fr) Procede de realisation de nanostructures
EP1930474A4 (en) SURFACE CONDITIONING COMPOSITION, PRODUCTION METHOD AND SURFACE CONDITIONING METHOD
WO2013174749A3 (fr) Composant d'habillage d'horlogerie bi-métal brasé
EP1930475A4 (en) SURFACE CONDITIONING COMPOSITION, PRODUCTION METHOD AND SURFACE CONDITIONING METHOD
FR2904304B1 (fr) Procede de fabrication d'une nanostructure sur un substrat pre-grave.
TH100758B (th) ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคของวัสดุเชิงประกอบของซิลิคอน-โลหะและวิธีการผลิตสิ่งเดียวกันนี้