TH100758A - ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคของวัสดุเชิงประกอบของซิลิคอน-โลหะและวิธีการผลิตสิ่งเดียวกันนี้ - Google Patents

Abstract

DC60 การประดิษฐ์ในที่นี้เกี่ยวข้องกับวิธีการ (1) ของการผลิตส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคของวัสดุ เชิงประกอบของซิลิคอน-โลหะ (51) ซึ่งประกอบด้วยกระบวนการ DIRE และ LIGA รวมกัน นอกจากนี้ การประดิษฐ์ในที่นี้ยังเกี่ยวข้องกับส่วนประกอบเชิงกลจุลภาค (51) ที่มีชั้นซึ่งมี ส่วนหนึ่ง (53) ทำจากซิลิคอนและอีกส่วนหนึ่ง (41) ทำจากโลหะเพื่อสร้างส่วนประกอบเชิงกลจุลภาค ของวัสดุเชิงประกอบ (51) การประดิษฐ์ในที่นี้มุ่งเน้นไปที่สาขาวิทยาการด้านการเดินของนาฬิกา การประดิษฐ์ในที่นี้เกี่ยวข้องกับวิธีการ (1) ของการผลิตส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคของวัสดุ เชิงประกอบของซิลิคอน-โลหะ (51) ซึ่งประกอบด้วยกระบวนการ DIRE และ LIGA รวมกัน นอกจากนี้ การประดิษฐ์ในที่นี้ยังเกี่ยวข้องกับส่วนประกอบเชิงกลจุลภาค (51) ที่มีชั้นซึ่งมี ส่วนหนึ่ง (53) ทำจากซิลิคอนและอีกส่วนหนึ่ง (41) ทำจากโลหะเพื่อสร้างส่วนประกอบเชิงกลจุลภาค ของวัสดุเชิงประกอบ (51) การประดิษฐ์ในที่นี้มุ่งเน้นไปที่สาขาวิทยาการด้านการเดินของนาฬิกา

Claims (32)

1. วิธีการผลิต (1) ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคของวัสดุเชิงประกอบของซิลิคอน-โลหะ (51, 51', 51") ซึ่งประกอบด้วยขั้นตอนต่อไปนี้ a) การจัดทำ (11) ฐานรอง (3) ที่มีชั้นของซิลิคอนด้านบนสุด (5) และด้านล่างสุด (7) ซึ่ง มีชั้นของซิลิคอนออกไซด์คั่นกลาง (9) แทรกอยู่ระหว่างกลาง b) การเลือกกัด (13) บริเวณโพรง (37, 45, 45") อย่างน้อยหนึ่งแห่งในชั้นบนสุด (5) เพื่อให้เกิดแพตเทิร์นของส่วนที่เป็นซิลิคอน (53, 53") ของส่วนประกอบดังกล่าว c) การกัด (15) บริเวณโพรง (37, 45, 45") อย่างน้อยหนึ่งแห่งดังกล่าวต่อไปในชั้น คั่นกลาง (9) ซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะว่าวิธีการดังกล่าวมีขั้นตอนเพิ่มเติมดังต่อไปนี้ d) การทำให้ชั้นโลหะ (63) มีปริมาณที่หนาขึ้น (17, 21, 23) จากบริเวณอย่างน้อยหนึ่ง ส่วนของโพรง (37, 45, 45") อย่างน้อยแห่งดังกล่าวเพื่อสร้างส่วนที่เป็นโลหะ (41, 41', 41") ขึ้นมา ในความหนาของส่วนประกอบดังกล่าวเพื่อสร้างฉนวนกันส่วนที่เป็นซิลิคอน (53, 53") ของ ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคดังกล่าวให้พ้นจากแรงเค้นที่สร้างความเสียหาย e) การถอด (33) ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคของวัสดุเชิงประกอบของซิลิคอน - โลหะ (51, 51', 51") ออกจากฐานรอง (3)
2. 2. วิธีการ (1) ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะว่าขั้นตอน d) ประกอบด้วย ขั้นตอนต่อไปนี้ - การนำเรซินไวแสง (57) มาปิดทับ (17) ส่วนบนสุดของฐานรอง (3) ดังกล่าว - การเลือกพิมพ์ออฟเซต (21) บนเรซินไวแสง (57) เพื่อวางโครงสร้างทางแสง (71, 73, 75) ให้กับเรซินดังกล่าวตามแพตเทิร์นที่ได้กำหนดไว้ล่วงหน้าของส่วนที่เป็นโลหะ (39,41) ดังกล่าว - การใส่ (23) ชั้นโลหะทับลงไปโดยการชุบด้วยไฟฟ้าให้กับชั้น (63) ที่อยู่ระหว่างเรซินที่ ถูกวางโครงสร้างทางแสง (75) และชั้นคั่นกลาง (9) หรือชั้นบนสุด (5) เพื่อสร้างส่วนที่เป็นโลหะ (41, 41', 41") ตามแพตเทิร์นดังกล่าวโดยเริ่มจากพื้นผิวด้านบนสุดที่มีการนำไฟฟ้าของชั้นล่างสุด (7) ซึ่งอยู่ ในแนวตั้งเมื่อเทียบกับโพรง (37, 45, 45") อย่างน้อยหนึ่งแห่งดังกล่าวโดยการทำให้มีปริมาตรที่หนา ขึ้นจากส่วนล่างสุดและมีการดำเนินการตามขั้นตอน e) โดยการทำให้เรซินที่ถูกวางโครงสร้างทางแสง (71,73,75) หลุดออกไป (33)
3. 3. วิธีการ (1) ตามข้อถือสิทธิที่ 2 ซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะว่าพื้นผิวนำไฟฟ้าด้านบนสุด (7) ดังกล่าวของชั้นล่างสุด (7) ซึ่งอยู่ในแนวตั้งเมื่อเทียบกับโพรง (37, 45, 45") อย่างน้อยหนึ่งแห่งดังกล่าว ถูกทำให้มีการนำไฟฟ้าโดยการเจือสารเข้าไปในชั้นล่างสุด (7) และ/หรือโดยการเคลือบ (29) ชั้นที่มี การนำไฟฟ้า (61) ทับลงไป
4. 4. วิธีการ (1) ตามข้อถือสิทธิที่ 2 หรือ 3 ซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะว่าระหว่างขั้นตอนการ พิมพ์ออฟเซต (21) เรซินที่มีการวางโครงสร้างทางแสง (71,73,75) ดังกล่าวจะยื่น (73,75) ออกมาจาก ชั้นบนสุด (5) ของฐานรอง (3) เพื่อให้ชั้น (63) ดังกล่าวสามารถมีปริมาตรที่หนาขึ้นต่อไปได้โดยการ ชุบไฟฟ้า (23) ให้กับบริเวณอย่างน้อยระหว่างส่วนที่ยื่นออกของเรซินที่มีการวางโครงสร้างทางแสง (73,75) ดังกล่าวเพื่อสร้างส่วนที่เป็นโลหะที่สอง (39) ของส่วนประกอบเชิงกลจุลภาค (51, 51') เหนือ ส่วนที่เป็นซิลิคอน (53)
5. 5. วิธีการ (1) ตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิในข้างต้นซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะ ว่าวิธีการดังกล่าวประกอบด้วยขั้นตอนต่อจากขั้นตอน d) คือขั้นตอน (25) ของการกลึงแต่งพื้นผิวด้าน บนสุดของฐานรอง (3) เพื่อทำให้ชั้นโลหะ (63) มีความสูงเท่ากับส่วนปลายด้านบนสุดของเรซินที่มีการ วางโครงสร้างทางแสง (73,75) ดังกล่าว
6. 6. วิธีการ (1) ตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิในข้างต้นซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะ ว่าชั้นโลหะ (63,39,39',41,41',41") ดังกล่าวมีนิกเกิลรวมอยู่ด้วย
7. 7. วิธีการ (1) ตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิในข้างต้นซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะ ว่าวิธีการดังกล่าวประกอบด้วยขั้นตอนของการกลึงแต่ง (27) และกัด (31) โพรง (47,49) อย่างน้อยหนึ่ง แห่งในชั้นล่างสุด (7) ของฐานรอง (3) เพื่อสร้างส่วนที่เป็นซิลิคอนที่สอง (65) ในส่วนประกอบเชิงกล จุลภาค (51,51') ขึ้นมาตามความหนาและรูปทรงที่กำหนดก่อนขั้นตอนการปลดออก (3)
8. 8. วิธีการ (1) ตามข้อถือสิทธิที่ 7 ซึ่งกำหนดคุณลักษณะว่าวิธีการดังกล่าวประกอบด้วย ขั้นตอนระหว่างขั้นตอนของการกลึงแต่งและการกัด (27, 31) ชั้นล่างสุด (7) ของฐานรอง (3) คือ ขั้นตอนการปลดออก (33) และขั้นตอน (17' , 21', 23') ของการทำให้ชั้นโลหะที่สอง (41') มีปริมาตรที่ หนาขึ้นมาโดยการชุบไฟฟ้าในบริเวณอย่างน้อยหนึ่งส่วนของโพรง (47) อย่างน้อยหนึ่งแห่งดังกล่าว ของชั้นล่างสุด (7) เพื่อจัดทำส่วนที่เป็นโลหะเพิ่มเติม (41') อย่างน้อยหนึ่งส่วนขึ้นมาในความหนาของ ชั้นล่างสุด (7) ดังกล่าว
9. 9. วิธีการ (1) ตามข้อถือสิทธิที่ 8 ซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะว่าขั้นตอนการทำให้มีปริมาตรที่ หนาขึ้นดังกล่าวประกอบด้วยขั้นตอนต่อไปนี้ - การนำเรซินไวแสงมาปิดทับ (17') ส่วนล่างสุดของฐานรอง (3) ดังกล่าว - การเลือกพิมพ์ออฟเซต (21') บนเรซินไวแสงเพื่อวางโครงสร้างทางแสงให้กับเรซิน ดังกล่าวตามแพตเทิร์นที่ได้กำหนดไว้ล่วงหน้าของส่วนที่เป็นโลหะ (41') ดังกล่าว - การใส่ชั้นโลหะทับลงไป (23') โดยการชุบด้วยไฟฟ้าชั้นล่างสุดของโพรง (47) อย่าง น้อยหนึ่งแห่งดังกล่าวโดยการทำให้ชั้นสำหรับทำส่วนที่เป็นโลหะ (41') มีปริมาตรที่หนาขึ้นจากชั้น ล่างสุดตามแพตเทิร์นดังกล่าว
10. 10. วิธีการ (1) ตามข้อถือสิทธิที่ 9 ซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะว่าเรซินที่มีการวางโครงสร้างทาง แสงจะยื่นออกมาจากชั้นล่างสุด (7) ของฐานรอง (3) ระหว่างขั้นตอนการพิมพ์ออฟเซต (21') ซึ่งจะทำ ให้ชั้นดังกล่าวสามารถมีปริมาตรที่หนาขึ้นไปได้โดยการชุบไฟฟ้า (23') เพื่อสร้างส่วนที่เป็น โลหะเพิ่มเติมที่สอง (39') ของส่วนประกอบเชิงกลจุลภาค (51') ซึ่งอยู่ต่ำกว่าส่วนที่เป็นซิลิคอนที่สอง (65)
11. 11. วิธีการ (1) ตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิในข้างต้นซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะ ว่าวิธีการดังกล่าวประกอบด้วยขั้นตอน (25') ของการกลึงแต่งพื้นผิวด้านล่างสุดของฐานรอง (3) เพื่อ จัดทำส่วนที่เป็นโลหะ (39') ที่มีความสูงเท่ากับส่วนปลายด้านล่างสุดของเรซินที่มีการวางโครงสร้าง ทางแสงดังกล่าวก่อนขั้นตอนการปลดออก (33)
12. 12. วิธีการ (1) ตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิที่ 8 ถึง 11 ซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะ ว่าส่วนที่เป็นโลหะที่สองซึ่งถูกชุบด้วยไฟฟ้า (39' , 41') มีนิกเกิลรวมอยู่ด้วย
13. 13. วิธีการ (1) ตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิในข้างต้นซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะ ว่าส่วนประกอบเชิงกลจุลภาค (51, 51',51") บางส่วนถูกผลิตขึ้นบนฐานรอง (3) อันเดียวกัน
14. 14. ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคของวัสดุเชิงประกอบของซิลิคอน-โลหะ (51, 51',51") ซึ่งมี ส่วนหนึ่ง (53, 53") ที่ถูกจัดทำขึ้นในชั้นซิลิคอน (5) ซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะว่าส่วนที่เป็นซิลิคอน ดังกล่าวประกอบด้วยฟัน (55) สำหรับทำล้อหรือเฟืองเล็กและส่วนที่เป็นโลหะ (39, 41, 41") ไว้อย่าง น้อยตามบริเวณส่วนหนึ่งของความหนาของชิ้นส่วนดังกล่าวโดยมีความหนามากกว่า 6 ไมครอนเพื่อ สร้างฉนวนกันส่วนที่เป็นซิลิคอน (53, 53") ให้พ้นจากแรงเด้นที่สร้างความเสียหาย
15. 15. ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 14 ซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะว่าส่วนที่เป็น โลหะจะทำให้มีปลอกที่ครอบผนังโดยรอบของส่วนที่เป็นซิลิคอนดังกล่าวไว้
16. 16. ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 15 ซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะว่าปลอกดังกล่าว ถูกเชื่อมต่อเข้ากับผนังโดยรอบดังกล่าวโดยใช้วัสดุเชื่อมโยง
17. 17. ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 15 หรือ 16 ซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะว่าส่วน ที่เป็นโลหะดังกล่าวมีส่วนที่เป็นโลหะที่สองอยู่ในส่วนต่อขยายซึ่งยื่นออกมาจากส่วนที่เป็นซิลิคอน ดังกล่าว
18. 18. ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 14 ซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะว่าส่วนที่เป็น โลหะดังกล่าวจะทำให้มีปลอก (41,41") ในโพรง (45,45") ที่ทำขึ้นในส่วนที่เป็นซิลิคอน (53,53") เพื่อใส่ก้านหมุนที่หนมุนรอบแกนซึ่งถูกขับเครลื่อนอยู่ภายใน
19. 19. ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 18 ซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะว่าปลอกดังกล่าว ถูกเชื่อมต่อเข้ากับผนังของโพรงดังกล่าวโดยใช้วัสดุเชื่อมโยง
20. 20. ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 18 และ 19 ซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะว่าส่วน ที่เป็นโลหะ (41) ดังกล่าวประกอบด้วยส่วนที่เป็นโลหะที่สอง (39) ในส่วนต่อขยายซึ่งยื่นออกมาจาก ส่วนที่เป็นซิลิคอน (53)
21. 21. ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 20 ซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะว่าส่วนที่เป็น โลหะที่สอง (39) ดังกล่าวประกอบด้วยฟัน (59) สำหรับทำล้อหรือเฟืองเล็ก
22. 22. ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิที่ 14 ถึง 21 ซึ่งถูก กำหนดคุณลักษณะว่าส่วนที่เป็นโลหะ (63, 39, 41,41") แต่ละส่วนมีนิกเกิลรวมอยู่ด้วย
23. 23. ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิที่ 14 ถึง 22 ซึ่งถูก กำหนดคุณลักษณะว่าส่วนประกอบดังกล่าวประกอบด้วยส่วนที่เป็นซิลิคอนที่สอง (65) ซึ่งทำจากชั้นที่ สอง (7)
24. 24. ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 23 ซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะว่าส่วนที่เป็น ซิลิคอนที่สอง (65) ดังกล่าวประกอบด้วยส่วนที่เป็นโลหะเพิ่มเติม (41') อย่างน้อยในบริเวณส่วนหนึ่ง ของความหนาเพื่อสร้างฉนวนกันส่วนที่เป็นซิลคอนที่สอง (65) ให้พ้นจากแรงเค้นที่สร้างความเสียหาย
25. 25. ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 24 ซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะว่าส่วนที่เป็น โลหะเพิ่มเติมจะทำให้มีปลอก (41') ในโพรง (47) ที่ทำขึ้นในส่วนที่เป็นซิลิคอนที่สอง (65) เพื่อใส่ก้าน หมุนที่หมุนรอบแกนซึ่งถูกขับเคลื่อนอยู่ภายใน
26. 26. ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 14 ซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะว่าปลอกดังกล่าว ถูกเชื่อมต่อเข้ากับผนังของโพรงดังกล่าวโดยใช้วัสดุเชื่อมโยง
27. 27. ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิที่ 24 ถึง 26 ซึ่งถูก กำหนดคุณลักษณะว่าส่วนที่เป็นดลหะเพิ่มเติม (41') ดังกล่าวประกอบด้วยส่วนที่เป็นโลหะเพิ่มเติมที่ สอง (39') อยู่ในส่วนขยายซึ่งยื่นออกมาจากส่วนที่เป็นซิลิคอนที่สอง (65)
28. 28. ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 27 ซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะว่าส่วนที่เป็น โลหะเพิ่มเติมที่สอง (39') ดังกล่าวประกอบด้วยฟัน (59') สำหรับทำล้อหรือเฟืองเล็ก
29. 29. ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิที่ 24 ถึง 28 ซึ่งถูก กำหนดคุณลักษณะว่าส่วนที่เป็นโลหะ (39', 41') แต่ละส่วนมีนิกเกิลรวมอยู่ด้วย
30. 30. ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิที่ 24 ถึง 29 ซึ่งถูก กำหนดคุณลักษณะว่าส่วนที่เป็นซิลิคอนที่สอง (65) ดังกล่าวถูกติดตั้งไว้บนส่วนที่เป็นซิลิคอน (53) โดยผ่านชั้นคั่นกลาง (9) ซึ่งเป็นซิลิคอนออกไซด์
31. 31. ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิที่ 24 ถึง 30 ซึ่งถูก กำหนดคุณลักษณะว่าส่วนที่เป็นซิลิคอนที่สอง (65) ดังกล่าวมีฟัน (67) สำหรับทำล้อหรือเฟืองเล็ก
32. 32. ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิที่ 24 ถึง 28 ซึ่งถูก กำหนดคุณลักษณะว่านาฬิกาซึ่งถูกกำหนดลักษณะว่ามีส่วนประกอบเชิงกลจุลภาค (51, 51',51") ตามข้อถือ สิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิที่ 14 ถึง 13