TH100758A - ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคของวัสดุเชิงประกอบของซิลิคอน-โลหะและวิธีการผลิตสิ่งเดียวกันนี้ - Google Patents
ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคของวัสดุเชิงประกอบของซิลิคอน-โลหะและวิธีการผลิตสิ่งเดียวกันนี้Info
- Publication number
- TH100758A TH100758A TH801005895A TH0801005895A TH100758A TH 100758 A TH100758 A TH 100758A TH 801005895 A TH801005895 A TH 801005895A TH 0801005895 A TH0801005895 A TH 0801005895A TH 100758 A TH100758 A TH 100758A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- silicon
- micro
- mechanical
- invention here
- metal composite
- Prior art date
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract 6
- 239000002905 metal composite material Substances 0.000 title claims abstract 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract 4
- 238000003801 milling Methods 0.000 claims 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
Abstract
DC60 การประดิษฐ์ในที่นี้เกี่ยวข้องกับวิธีการ (1) ของการผลิตส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคของวัสดุ เชิงประกอบของซิลิคอน-โลหะ (51) ซึ่งประกอบด้วยกระบวนการ DIRE และ LIGA รวมกัน นอกจากนี้ การประดิษฐ์ในที่นี้ยังเกี่ยวข้องกับส่วนประกอบเชิงกลจุลภาค (51) ที่มีชั้นซึ่งมี ส่วนหนึ่ง (53) ทำจากซิลิคอนและอีกส่วนหนึ่ง (41) ทำจากโลหะเพื่อสร้างส่วนประกอบเชิงกลจุลภาค ของวัสดุเชิงประกอบ (51) การประดิษฐ์ในที่นี้มุ่งเน้นไปที่สาขาวิทยาการด้านการเดินของนาฬิกา การประดิษฐ์ในที่นี้เกี่ยวข้องกับวิธีการ (1) ของการผลิตส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคของวัสดุ เชิงประกอบของซิลิคอน-โลหะ (51) ซึ่งประกอบด้วยกระบวนการ DIRE และ LIGA รวมกัน นอกจากนี้ การประดิษฐ์ในที่นี้ยังเกี่ยวข้องกับส่วนประกอบเชิงกลจุลภาค (51) ที่มีชั้นซึ่งมี ส่วนหนึ่ง (53) ทำจากซิลิคอนและอีกส่วนหนึ่ง (41) ทำจากโลหะเพื่อสร้างส่วนประกอบเชิงกลจุลภาค ของวัสดุเชิงประกอบ (51) การประดิษฐ์ในที่นี้มุ่งเน้นไปที่สาขาวิทยาการด้านการเดินของนาฬิกา
Claims (1)
- : DC60 การประดิษฐ์ในที่นี้เกี่ยวข้องกับวิธีการ (1) ของการผลิตส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคของวัสดุ เชิงประกอบของซิลิคอน-โลหะ (51) ซึ่งประกอบด้วยกระบวนการ DIRE และ LIGA รวมกัน นอกจากนี้ การประดิษฐ์ในที่นี้ยังเกี่ยวข้องกับส่วนประกอบเชิงกลจุลภาค (51) ที่มีชั้นซึ่งมี ส่วนหนึ่ง (53) ทำจากซิลิคอนและอีกส่วนหนึ่ง (41) ทำจากโลหะเพื่อสร้างส่วนประกอบเชิงกลจุลภาค ของวัสดุเชิงประกอบ (51) การประดิษฐ์ในที่นี้มุ่งเน้นไปที่สาขาวิทยาการด้านการเดินของนาฬิกา การประดิษฐ์ในที่นี้เกี่ยวข้องกับวิธีการ (1) ของการผลิตส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคของวัสดุ เชิงประกอบของซิลิคอน-โลหะ (51) ซึ่งประกอบด้วยกระบวนการ DIRE และ LIGA รวมกัน นอกจากนี้ การประดิษฐ์ในที่นี้ยังเกี่ยวข้องกับส่วนประกอบเชิงกลจุลภาค (51) ที่มีชั้นซึ่งมี ส่วนหนึ่ง (53) ทำจากซิลิคอนและอีกส่วนหนึ่ง (41) ทำจากโลหะเพื่อสร้างส่วนประกอบเชิงกลจุลภาค ของวัสดุเชิงประกอบ (51) การประดิษฐ์ในที่นี้มุ่งเน้นไปที่สาขาวิทยาการด้านการเดินของนาฬิกาข้อถือสิทธิ์ (ข้อที่หนึ่ง) ซึ่งจะปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา : วิธีการผลิต (1) ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคของวัสดุเชิงประกอบของซิลิคอน-โลหะ (51, 51\', 51") ซึ่งประกอบด้วยขั้นตอนต่อไปนี้ a) การจัดทำ (11) ฐานรอง (3) ที่มีชั้นของซิลิคอนด้านบนสุด (5) และด้านล่างสุด (7) ซึ่ง มีชั้นของซิลิคอนออกไซด์คั่นกลาง (9) แทรกอยู่ระหว่างกลาง b) การเลือกกัด (13) บริเวณโพรง (37, 45, 45") อย่างน้อยหนึ่งแห่งในชั้นบนสุด (5) เพื่อให้เกิดแพตเทิร์นของส่วนที่เป็นซิลิคอน (53, 53") ของส่วนประกอบดังกล่าว c) การกัด (15) บริเวณโพรง (37, 45, 45") อย่างน้อยหแท็ก :
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH100758B TH100758B (th) | 2010-03-26 |
| TH100758A true TH100758A (th) | 2010-03-26 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW200733318A (en) | Wafer-level package structure and production method therefor | |
| SG169394A1 (en) | Method for producing partial soi structures comprising zones connecting a superficial layer and a substrate | |
| TW200730062A (en) | Multilayered wiring substrate and method of manufacturing the same | |
| WO2004095552A3 (de) | Verfahren zur herstellung einer verspannten schicht auf einem substrat und schichtstruktur | |
| MY150139A (en) | Laminated body, method of manufacturing substrate, substrate and semiconductor device | |
| DE502008003135D1 (de) | Verbund aus mindestens zwei halbleitersubstraten sowie herstellungsverfahren | |
| NO20073888L (no) | Panelbord | |
| WO2014107204A3 (en) | Additive manufacture of turbine component with multiple materials | |
| WO2007104171A3 (fr) | Procede de fabrication par liga-uv d'une structure metallique multicouche a couches adjacentes non entierement superposees, et structure obtenue | |
| WO2011081308A3 (ko) | 수소 센서 및 그 제조 방법 | |
| WO2007121735A3 (de) | Verbundsubstrat und verfahren zur herstellung eines verbundsubstrats | |
| WO2010011009A9 (ko) | 전자부품 모듈용 금속 기판과 이를 포함하는 전자부품 모듈 및 전자부품 모듈용 금속 기판 제조방법 | |
| EP2086737A4 (en) | SUBSTRATE FOR HOLLOW STRUCTURE FORMING, METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF, AND METHOD FOR PRODUCING A HOLLOW STRUCTURE THEREWITH | |
| DE602005025375D1 (de) | Strukturen für mikroelektronik und mikrosystem sowie herstellungsverfahren | |
| DE502007001735D1 (de) | Mikromechanisches bauelement mit waferdurchkontaktierung sowie entsprechendes herstellungsverfahren | |
| TW200746388A (en) | Complex oxide laminate, method of manufacturing complex oxide laminate, and device | |
| WO2007003826A3 (fr) | Procede de realisation de nanostructures | |
| WO2006074175A3 (en) | Method and structure for forming an integrated spatial light modulator | |
| WO2009001582A1 (ja) | 縫製手袋及びその生産方法 | |
| WO2013174749A3 (fr) | Composant d'habillage d'horlogerie bi-métal brasé | |
| TWI268183B (en) | Capacitive ultrasonic transducer and method of fabricating the same | |
| SG162774A1 (en) | Interconnect capping layer and method of fabrication | |
| FR2904304B1 (fr) | Procede de fabrication d'une nanostructure sur un substrat pre-grave. | |
| TH100758A (th) | ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคของวัสดุเชิงประกอบของซิลิคอน-โลหะและวิธีการผลิตสิ่งเดียวกันนี้ | |
| DE602007006916D1 (de) | Keramik-harz-verbundrolle und herstellungsverfahren dafür |