การประดิษฐ์ในที่นี้เกี่ยวข้องกับวิธีการ (1) ของการผลิตส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคของวัสดุ เชิงประกอบของซิลิคอน-โลหะ (51) ซึ่งประกอบด้วยกระบวนการ DIRE และ LIGA รวมกัน นอกจากนี้ การประดิษฐ์ในที่นี้ยังเกี่ยวข้องกับส่วนประกอบเชิงกลจุลภาค (51) ที่มีชั้นซึ่งมี ส่วนหนึ่ง (53) ทำจากซิลิคอนและอีกส่วนหนึ่ง (41) ทำจากโลหะเพื่อสร้างส่วนประกอบเชิงกลจุลภาค ของวัสดุเชิงประกอบ (51) การประดิษฐ์ในที่นี้มุ่งเน้นไปที่สาขาวิทยาการด้านการเดินของนาฬิกา The invention here deals with methods (1) of manufacturing the micro-mechanical components of the material. A silicon-metal composite (51), which consists of a combined DIRE and LIGA process. The invention here also involves a layered micro-mechanical component (51) with one (53) made of silicon and another. (41) Made of metal to form micro-mechanical components. (51) The invention here focuses on the field of mechanical watch movement.
Claims (1)
วิธีการผลิต (1) ส่วนประกอบเชิงกลจุลภาคของวัสดุเชิงประกอบของซิลิคอน-โลหะ (51, 51', 51") ซึ่งประกอบด้วยขั้นตอนต่อไปนี้ a) การจัดทำ (11) ฐานรอง (3) ที่มีชั้นของซิลิคอนด้านบนสุด (5) และด้านล่างสุด (7) ซึ่ง มีชั้นของซิลิคอนออกไซด์คั่นกลาง (9) แทรกอยู่ระหว่างกลาง b) การเลือกกัด (13) บริเวณโพรง (37, 45, 45") อย่างน้อยหนึ่งแห่งในชั้นบนสุด (5) เพื่อให้เกิดแพตเทิร์นของส่วนที่เป็นซิลิคอน (53, 53") ของส่วนประกอบดังกล่าว c) การกัด (15) บริเวณโพรง (37, 45, 45") อย่างน้อยหManufacturing method (1) Micro-mechanical component of silicon-metal composite material (51, 51 ', 51 "), which consists of the following steps: a) Preparation (11) substrate (3) with a layer of Top (5) and bottom (7) silicon with an interstitial silicon oxide layer (9) inserted in the middle. B) Select bite (13) cavity area (37, 45, 45 ”) at least one. In the top layer (5) to form at least the silicon (53, 53 ") pattern of the component c) milling (15) the cavity area (37, 45, 45"). O
TH801005895A2008-11-14
The micro-mechanical component of a silicon-metal composite material and the same manufacturing method.
TH100758A
(en)