SU997133A1 - Способ юстировки квадрупольного дублета - Google Patents
Способ юстировки квадрупольного дублета Download PDFInfo
- Publication number
- SU997133A1 SU997133A1 SU813267777A SU3267777A SU997133A1 SU 997133 A1 SU997133 A1 SU 997133A1 SU 813267777 A SU813267777 A SU 813267777A SU 3267777 A SU3267777 A SU 3267777A SU 997133 A1 SU997133 A1 SU 997133A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- quadrupole
- duplicate
- lenses
- doublet
- lens
- Prior art date
Links
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
Изобретение относитс к электронной технике и может быть использовано дл юстировки квадрупольного дублета магнитных или электростатических линз.
Известна фокусировка пучка зар женных частиц двум соосными четьфехполюсными квадрупольными линзами, . плоскости симметрии которых повернуты на 90° 1 .
При несовпадении оси пучка зар женных частиц с осью квадрупольного дублета возникают абберащ и фокусировки , ухудшающие разреигагацую способность фокусирующей системы.
Наиболее близким техническим реи нием к изобретению вл етс способ юстировки квадрупольного дублета, по которому осуществл ют механическое перемещение каждой линзы относительно оси пучка. При этом производ т отдельную юстировку каждой линзы , подава в линзу переменный ток и добива сь симметрии крестообразного изображени на экране. Затем обе линзы запитывают переменным током одновременно и производ т совмещение двух изображений 2.
Недостатками данного способа юстиг ровки вл ютс наличие механических ,
устройств дл перемещени каждой линзы , а также сложность и длительность процесса юстировки. Юстировка может бЫть осуществлена только при небольшом смещении осей квадрупольных линз относительно оси пучка, так как пределы перемещени квадрупольных линз ограничены размерами оболочки прибора . Кажда линза дублета должна иметь
to п ть степеней свободы дл перемещени . Кроме того, этот способ крайне затрудн ет юстировку квадрупольного дублета, если вход щие в него линзы расположены в оболочке прибора.
15
Цель изобретени - упрощение юстировки квадрупольного дублета и повышение ее точности.
Указанна цель достигаетс тем,, что согласно способу юстировки квад20 рупольного дублета путем поочередной: запитки двух квадрупольных линз переменным напр жением и контрол симметрии крестообразного изображени на экране при изменении взашхного поло25 жени осей пучка и линз дублета после подачи переменного напр жени на первую по ходу пучка квадрупольну линзу первой по ходу пучка отклон ющей системой направл ют ось пучка в центр
Claims (2)
1. Авторское свидетельство СССР №131417, кл. Н 01 J 29/56, 1959.
2. Бонштедт Б.Э., Маркович М.Г, Фокусировка и отклонение пучков в электронно-лучевых приборах. М,
Советское радио
1967, с, 115 ( прототип),
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU813267777A SU997133A1 (ru) | 1981-03-31 | 1981-03-31 | Способ юстировки квадрупольного дублета |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU813267777A SU997133A1 (ru) | 1981-03-31 | 1981-03-31 | Способ юстировки квадрупольного дублета |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU997133A1 true SU997133A1 (ru) | 1983-02-15 |
Family
ID=20950436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU813267777A SU997133A1 (ru) | 1981-03-31 | 1981-03-31 | Способ юстировки квадрупольного дублета |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU997133A1 (ru) |
-
1981
- 1981-03-31 SU SU813267777A patent/SU997133A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2919381A (en) | Electron lens | |
| EP0251381A3 (en) | Magnetic lens system | |
| JPS5871545A (ja) | 可変成形ビ−ム電子光学系 | |
| US10720301B2 (en) | Aberration corrector and electron microscope | |
| US3777211A (en) | Adjusting device for a particle beam | |
| SU997133A1 (ru) | Способ юстировки квадрупольного дублета | |
| JPS5978432A (ja) | 多種形状粒子ビ−ム形成用の偏向対物系を備える装置 | |
| JPH05234550A (ja) | 荷電ビーム用レンズ | |
| JPS55121259A (en) | Elelctron microscope | |
| Noh et al. | Imaging of an atomic beam with electrostatic lenses | |
| US5118939A (en) | Simultaneous detection type mass spectrometer | |
| KR20040034600A (ko) | 입자 비임용 슬릿 렌즈장치 | |
| JP2893767B2 (ja) | 荷電粒子集束装置 | |
| JP2956706B2 (ja) | 質量分析装置 | |
| SU1170948A1 (ru) | Устройство дл формировани профилированных полей облучени | |
| JP2856518B2 (ja) | Ｅ×ｂ型エネルギーフィルタ | |
| GB2303962A (en) | Tandem mass spectrometry apparatus | |
| JPS6465759A (en) | Charged powder apparatus with beam discriminator | |
| SU980190A1 (ru) | Электронно-оптическое устройство | |
| SU936087A1 (ru) | Электронно-оптическое устройство | |
| RU2063108C1 (ru) | Многополюсная магнитная линза | |
| JP3448352B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPS6259458B2 (ru) | ||
| SU999124A1 (ru) | Электронна астигматична трубчата линза | |
| Ximen | Trends in development of electron optics |