SU980190A1 - Электронно-оптическое устройство - Google Patents

Электронно-оптическое устройство Download PDF

Info

Publication number
SU980190A1
SU980190A1 SU813285320A SU3285320A SU980190A1 SU 980190 A1 SU980190 A1 SU 980190A1 SU 813285320 A SU813285320 A SU 813285320A SU 3285320 A SU3285320 A SU 3285320A SU 980190 A1 SU980190 A1 SU 980190A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
lens
lenses
deflecting
plates
focusing
Prior art date
Application number
SU813285320A
Other languages
English (en)
Inventor
Игорь Алексеевич Петров
Original Assignee
Организация П/Я М-5273
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Организация П/Я М-5273 filed Critical Организация П/Я М-5273
Priority to SU813285320A priority Critical patent/SU980190A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU980190A1 publication Critical patent/SU980190A1/ru

Links

Landscapes

  • Electron Beam Exposure (AREA)

Description

Изобретение относитс  к электронно-оптическим устройствам с электрическим управлением пучком зар женных частиц, в частности к телевизионным передающим трубкам с электростатической фокусировкой и отклонением электронного пучка.
Известно электронно-оптическое устройство, содержащее фокусирующую систему и растровую отклон ющую систему с общим центром отклонени  типа дефлектрон, вьшолненную в виде четырех электродов сложной формы, представл ющих собой, например, пленочнъе провод щее .покрытие на внутренних стенках колбы трубки.
Фокусировка зар женных частиц может обеспечиватьс  как с помощью фокусирующей системы, расположенной дефлектроном по ходу пучка, так и положением дополнительного фокусирующего потенциала на электроды дефлектрона l3«
Недостатком устройства  вл етс  невысока  разрешающа  способность в первом случае (при наличии отдельной фокусирующей системы ) из-за большого увеличени  фокусирующей |системы, а во втором случае - из-за больших аберраций фокусировки. Кр.О
ме того, недостатками указанного устройства  вл ютс  сложность фотометодов , прин тие специальных мер дл  борьбы с вредным вли нием осаждающихс  на диэлектрической основе дефлекторно рассе нных электронов.
Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности  вл етс  электронно-оптическое устройство
10 с электростатическим управлением пучком, содержащее фокусирующую систему, выполненную в виде по крайней мере двух линз с квадрупольной составл ющей, и отклон ющую систему
15 в виде двух ортогональных между собой пар пластин, причем направление рассеивани  последней по ходу электронного пучка линзы перпендикул рно продольной плоскости симг/1етрии пер20 вой пары пластин отклон ющей системы t 2 3Недостатком устройства  вл етс  неравномерность сигнала по растру из-за отсутстви  общего центра откло25 нени .
Цель изобретени  - повышение равномерности сигнала по растру.

Claims (2)

  1. Указанна  цель достигаетс  тем, что в электронно-оптическом устрой30 стве, содержащем фокусирующую сиетему , выполненную в виде по крайней мере двух линз с квадрупольной составл ющей , и отклон ющую систему в виде двух ортогональных между собой п пластин, причем направление рассеив ни  последней по ходу электронного пучка линзы перпендикул рно продольной плоскости симметрии первой пары пластин отклон ющей cwc-revs, последн   по ходу электронного пучка линза расположена после отклон ющей системы, а остальные линзы рас 1положены перед отклон ющей системой На фиг. 1 представлена обща  схе ма устройства; на фиг. 2 - вариант со скрещенными линзами. . Устройство включает отклон ющую систему 1, перва  пара пластин которой отклон ет в направлении У, а втора  пара - в направлении X, фокусирующую систему 2, выполненную из двух линз 3 и 4, расположенных по обе стороны отклон ющей системы Поле линз имеет квадрупольную составл ющую . При этом линза 4, расположенна  после отклон ющей систе мы, повернута вокруг оптической оси Z так, что ее рассеивающее действие совпадает с направлением У, а линза 3, расположенна  до отклон ющей системы 1, повернута так, что в этом направлении она оказывает собирающее действие. Работа устройства заключаетс  в следующем. Электроны из источника попадают под действие первой линзы 3 фокуси рующей системы 2. При этом квадрупольна  составл юща  пол  этой лин зы оказывает собирающее действие в направлении У и рассеивающее - в направлении X. Далее пучок электро нов отклонйетс  в направлении У первой парой пластин отклон ющей системы 1 и попадает под рассеиваю щее действие второй линзы 4 фокуси рующей системы 2. При этом основна  траектори  пучка преломл етс  таким образом, что ее угол с осью Z увеличиваетс  и обратное продолж ние этой траектории пересекает ось Z в точке, расположенной между пер вой и второй парами отклон ющих пластин. Пучок, отклоненный в направлении X второй парой отклон юищх пластин попадает под собирающе действие второй линзы 4 фокусирую14ей системы 2. При этом основна  Траектори  пучка преломл етс  так, что ее угол с осью Z уменьшаетс  и обратное продолжение этой части траектории пересекает ось также между первой и второй пластин отклон ющей системы. При определенном возбуждении ( оптической силе) второй линзы упом нутые точки пересечени  обратных продолжений траекторий с осью Z совпадут, т.е. центр отклонени  станет общим. Оптическа  сила первой линзы 3 фокусирующей системы выбираетс  из условий стигматичной фокусировки пучка на мишени. В качестве линз фокусирующей системы могут быть использованы скрещенные линзы. В этом случае достигаетс  наилучшее качество фокусировки, что св зано с возможностью уменьшени  сферической аберрации в этих линзах ( фиг.2).. Отверсти  в средних электродах линз 3 и 4 выт нуты во взаимно перпендикул рных направлени х , причем отверстие линзы 3 выт нуто перпендикул рно зазору первой пары пластин отклон ющей системы 1, отклон ющей пучок по оси У. При использовании устройства в передающей телевизионной трубк.е типа видикон, работающей в режиме медленных электронов, обеспечиваетс  равномерна  ортогонализаци  пучка электронов по растру, а следовательно , равномерность сигнала, что св зано с наличием в устройстве общего центра отклонени . Предлагаемое устройство позволит создать полностью электростатические видиконы с высокой равномерностью сигнала и с высокой разрешающей способностью , Формула изобретени  Электронно-оптическое устройство содержащее фокусирующую систему, выполненную в виде по крайней мере двух линз с квадрупольной составл ющей , и отклон ющую систему в виде двух ортогональных между собой пар пластин, причем направление рассеивани  последней по ходу электронного пучка линзы перпендикул рно продольной плоскости симметрии первой пары-пластин отклон ющей системы, отличающеес  тем, что, с целью повышени  равномерности сигнала по растру, последн   по ходу электронного пучка линза расположена после отклон ющей системУ , а остальные линзы расположены перед отклон ющей системой. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Гершберг А.Е. Электростатические видиконы. М., Энерги , 1969, с. 21.
  2. 2.Шкунов В.А., Сёменик Г.Н. Широкополосные осциллографические трубки и. их применение. М., Энерги , 1976, с. 49 (прототип).
SU813285320A 1981-05-07 1981-05-07 Электронно-оптическое устройство SU980190A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813285320A SU980190A1 (ru) 1981-05-07 1981-05-07 Электронно-оптическое устройство

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813285320A SU980190A1 (ru) 1981-05-07 1981-05-07 Электронно-оптическое устройство

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU980190A1 true SU980190A1 (ru) 1982-12-07

Family

ID=20956946

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU813285320A SU980190A1 (ru) 1981-05-07 1981-05-07 Электронно-оптическое устройство

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU980190A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9589762B2 (en) 2012-06-01 2017-03-07 Siemens Aktiengesellschaft Deflection plate and deflection device for deflecting charged particles

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9589762B2 (en) 2012-06-01 2017-03-07 Siemens Aktiengesellschaft Deflection plate and deflection device for deflecting charged particles
RU2627732C2 (ru) * 2012-06-01 2017-08-11 Сименс Акциенгезелльшафт Отклоняющая пластина и отклоняющее устройство для отклонения заряженных частиц

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6290839A (ja) イオンマイクロビ−ム装置
US3286114A (en) Variable magnification electron lens
US4142128A (en) Box-shaped scan expansion lens for cathode ray tube
SU980190A1 (ru) Электронно-оптическое устройство
US3391295A (en) Electron system for convergence of electrons from photocathode having curvature in asingle plane
JPS63121237A (ja) ライトバルブ用の層流電子銃
US3500042A (en) Ionic microanalyzer which includes a convex mirror as an ion energy filter
US3900760A (en) Electron beam tube having post deflection lens
US3619686A (en) Color cathode-ray tube with in-line plural electron sources and central section of common grid protruding toward central source
US3678329A (en) Cathode ray tube
JPS5854784Y2 (ja) 立体走査電子顕微鏡
US3038101A (en) Deflection controlled tube
US2217197A (en) Cathode ray device
US5393972A (en) Imaging device with high speed shuttering
US3651369A (en) Cathode ray tube
US3845346A (en) Cathode-ray tube
Schlesinger Focus reflex modulation of electron guns
US3585384A (en) Ionic microanalyzers
SU1732392A1 (ru) Электронно-лучевой прибор
GB754849A (en) Improvements in or relating to electron guns for producing electron beams
US3609442A (en) Cathode-ray tube with increased deflection sensitivity
SU381296A1 (ru) Электронно-лучевой прибор
SU928463A1 (ru) Электронно-оптическа система
SU364984A1 (ru) Электронно-оптическая система
SU1115133A1 (ru) Многопучковый электронно-лучевой прибор