SU966794A1 - Устройство дл транспортировани деталей - Google Patents

Description

(St) УСТРОЙСТВО дл  ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ

1

Изобретение относитс  к техноло гимескому оборудованию и может быть Использовано в электронной промышленности при производстве полупроводниковых приборов, в частности в производстве микроструктур на пластинах и фотошаблонах.

Наиболее близким к предлагаемому  вл етс  устройство дл  транспортировани  деталей, преимущественно кремниевых пластин, содержащее накопитель , блок выдачи деталей из накопител  на конвейер, выполненный в виде шнура, размещенного на ведущем и ведомом колесах, при этом на замкнутом шнуре установлены гнезда дл  деталей в виде шайб, а на ведущем и ведомом колесах выполнены пазы дл  гнезд конвейера , блок управлени  и механизм перегрузки деталей и конвейера в накопитель 1 .,

Недостаток известного устройства заключаетс  в низком выходе годных, из-за высокого процента бо  пластин. ДЕТАЛЕЙ

что объ сн етс  их большой хрупкостью .

Цель изобретени  - повышение качества работы устройства за счет снижени  бо  кремниевых пластин.

Цель достигаетс  тем, что в устройстве дл  транспортировани  деталей , преимущественно кремниевых пластин , содерх ащем накопитель, блок выдачи деталей из накопител , меха10 низм перегрузки деталей из накопител  на конвейер, выполненный в виде замкнутого шнура, размещенного на ведущем и ведомом колесах, при этом на замкнутом шнуре установлены гнезда .

ts дл  деталей в виде шайб, а на ведущем и ведомом колесах выполнены пазы дл  гнезд конвейера, блок управлени  и механизм перегрузки деталей с конвейера в накопитель, механизм пере20 грузки деталей из накопител  в конвейер выполнен в виде двух параллельно располо ; енныхпассиков, рабоча  поверхность которых находитс  в одной 3Я6 плоскости с рабочей поверхностью конвейера, а блок выдачи деталей из накопител  на конвейер выполнен в ви де размещенного на одном валу с ведо мым KOjiecoM конвейера диска с пазами в которых установлены посто нные магниты , и контакта, соединенного с блоком управлени , установленного с возможностью взаимодействи  с каждым из посто нных магнитов диска блока выдачи деталей из накопител  на конвейер при этом количество пазов в диске бло ка выдачи деталей из накопител  на конвейер равно количеству пазов ведомого колеса конвейера. Кинематическа  схема устройства представлена на чертеже. Устройство дл  транспортировани  деталей (кремниевых пластин), например , в агрессивных средах, содержит механизм 1 перегрузки деталей из накопител  на конвейер 2, выполненный в виде двух параллельно расположенных пассиков 3, рабоча  поверхность которых находитс  в одной плоскости с рабочей поверхностью конвейера 2. Пассик размещен на двух роликах и приводитс  в движение электродвигателем 5 переменного тока с приводным механизмом 6. Блок выдачи деталей из накопител  на конвейер выполнен в виде диска 7 с пазами, в которых установлены посто нные магниты 8, причем -ДИСК размещен на одном ваЛу с ведомым колесом 9 конвейера 2, который выполнен в виде замкнутого шнура, раз мещенного на ведущем 10 и ведомом 9 . колесах, при этом на замкнутом шнуре установлены гнезда дл  деталей 11 в виде шайб 12, образующие дискретные карманы. На ведущем и ведомом колесах выполнены пазы 13 в которые за ход т шайбы 12 при движении конвейера Ведущее колесо 10 конвейера 2 располо : ено на одной оси с приводной звездочкой 1, вращение которой осуществл етс  от электродвигател  15 по сто нного тока. За конвейером 2 установлен механизм перегрузки деталей с конвейера в накопитель. Блок выдачи деталей из накопител  включает контакт 16, соединенный с блоком управле ни . Механизм перегрузки деталей с конвейера в накопитель выполнен идентично механизму перегрузки деталей Vi3 накопител  на конвейер. Устройство работает следующим образом . Загруженные в кассету (е показано) кремниевые пластины (толщиной 1 мм, 0 7 -150 мм) или фотошаблоны на стекл нной подложке (0 76-153 мм) поштучно вывод тс  пассиками (два ремн  0 3 мм) в момент опускани  кассеты на шаг (-механизм опускани  кассеты не показам). Диск 7, выполненный из винипласта, ( 0 мм, толщиной 10 мм) с запрессованными в него по периферии равнорасположенными четырьм  магнитами 8, например, из феррита бари , контактирует через воздушный зазор с контактом 16. Электродвигатель 15 (3000 об/мин ) приводит во вращение ведущее колесо 10 конвейера 2, ведомое колесо 9 вместе с расположенным на одной оси с ним диском 7. Колеса, выполненные из винипласта (0180 .мм) имеют паза, расположенные по окружности на равном рассто нии (глубина 20 мм, ширина 25 Wi ). Диск 7 может проворачиватьс  дл  р.егулировани  времени между выдачей команды на подачу пластин, при вращении поочередно подводит свои магниты 8 к контакту 16, загерметизированному во фторопластовую трубку. В момент прохода магнита -мимо контакта последний замыкает свои контакты (не показан) и выдает импульс на опускание кас- . сеты с полупроводниковыми пластинами на шаг. Пластина попадает на вращающиес  пассики, рабоча  поверхность которых расположены в одной плоскости с конвейером 2. Конвейер выполнен из .полипропиленового шнура диаметром 5 мм с расположенными на нем на рассто нии , превышающем на 10-15 мм размер пластины, шайбами из фторопласта диаметром 25 мм. Выполнение конвейера из шнура обусловлено тем, что последний обеспечивает минимальный обмен материала (агрессивной среды ) между зонами обработки, что важно дл  работы в таких средах. Диск 7 устанавливаетс  относительно пазов ведомого колеса 9 так, чтобы при выдаче пластины из накопител  передн   по ходу движени  конвейера шайба, ограничивающа  карман, в который попадает пластина, уже вышла на плоскость движени  конвейера, а задн   шайба кармана еще находилась ниже этой плоскости. С пассиков, обеспечивающих движение пластины со скоростью 8,3 м/мин, последн   проходит над шайбой, замыкаю1чей карман и наход щейс  в этот момент ниже плоскости движени , и бу кармача.

на уровень плоскости движени  пластины . Замыкает пластину в кармане и начинает вести ее вдоль трека 4ерез зоны о()работки (травление, промывка сушка ) со скоростью, меньшей скорости движени  пластины на лассиках (.0,8 м/мин). За счет разности скоростей движени  пластины на пассиках и конвейере пластина проскакивает над шайбой, замыкающей карман. При подходе пластины к позиции разгрузки паредн   шайба кармана на ведущем колесе 10 попадает в паз этого колеса и начинает опускатьс  относительно плос кости движени  пластины. Задн   шайба проталкивает пластину на вращаю1цие с  пассики, которые обеспечивают боль шую скорость движени  пластин (8,3 м/мин), за счет разности скороетей пластина отрываетс  от задней шай бы кармана конвейера и движетс  не пассики механизма перегрузки деталей с конвейера в наполнитель. . Устройство позвол ет исключить й пластин. Кроме того, расшир етс  диапа :зон применени  устройства, так как О1беспечиваетс  возможность обработки не только полупроводниковых пластин, но и фотошаблонов на т желых стекл нных подложках за счет движеНИИ последних в одной плоскости. Выход годных увеличиваетс  на 3 Лормула изобретени  1. Устройство дл  транспортировани  деталей, преимущественно кремниевых пластин, содержащее накопитель,

тел  на конвейер, выполненный в виде замкнутого шнура, размещенного на ведущем и ведомом колесах, при этом на замкнутом шнуре установлены гнезда дл  деталей в виде шайб, а на ведущем и ведомом колесах выполнены пазы дл  1гнезд конвейера, блок управлени  и механизм перегрузки деталей с конвейера в накопитель, отличающеес  тем, что, с целью повышени  5961 70 упираетс  в переднюю тай- блок выдачи деталей из накопител , Задн   шайба, поднима сь . механизм перегрузки деталей из накопикачества работы устройства за счет снижени  бо  кремниевых пластин,мёханизм перегрузки деталей из накопител  на конвейер выполнен в виде двух параллельно расположенных пассиков, рабоча  поверхность которых находитс  в одной плоскости с рабочей поверхностью конвейера, а блок выдачи деталей из накопител  на конвейер выполнен в виде размещенного на одном валу с ведомым колесом конвейера диска с пазами, в которых установлены посто нные магниты, и контакта, соединенного с блоком управлени , установленного с возможностью взаимодействи  с каждым из посто нных магнитов диска блока выдачи деталей из на копител  на конвейер. . 2. Устройство по п. 1, от л и чающеес  .тем, что количество пазов в диске блока выдачи деталей из накопител  на конвейер равно количест-ву пазов ведомого колеса конвейера. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Техническое описание на установку струйного травлени  типа .С-2Е фирмы 1.1. Industries Incorporated, США, 1975.

Claims (2)

1. Формула изобретения

   1. Устройство для транспортирования деталей, преимущественно кремние- до вых пластин, содержащее накопитель, блок выдачи деталей из накопителя, механизм перегрузки деталей из накопителя на конвейер, выполненный в виде замкнутого шнура, размещенного на ведущем и ведомом колесах, при этом на замкнутом шнуре установлены гнезда для деталей в виде шайб, а на ведущем и ведомом колесах выполнены пазы для !гнезд конвейера, блок управления и механизм перегрузки деталей с конвейера в накопитель, отличающе·е с я тем, что, с целью повышения качества работы устройства за счет снижения боя кремниевых пластин,механизм перегрузки деталей из накопителя на конвейер выполнен в виде двух параллельно расположенных пассиков, рабочая поверхность которых находится в одной плоскости с рабочей поверхностью конвейера, а блок выдачи деталей из накопителя·на конвейер выполнен в виде размещенного на одном валу с ведомым колесом конвейера диска с пазами, в которых установлены постоянные магниты, и контакта, соединенного с блоком управления, установленного с возможностью взаимодействия с каждым из постоянных магнитов диска блока выдачи деталей из накопителя на конвейер.
2. 2. Устройство по π. 1, о т л и чающееся тем, что количество пазов в диске блока выдачи деталей из накопителя на конвейер равно количеству пазов ведомого колеса конвейера.