SU947809A1 - Вакуумна камера дл селенировани электрофотографического барабана - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к нанесению полупроводниковых электрофотографических слоев и вакуумной техни Известны вакуумные камеры дл  на несени  электрофотографических слоев Способами из расплава и сублимации . Камеры вакуумные, работающие п способу сублимации более просты и технологичны, чем камеры работающие на расплавах. Известна  универсальна  шахтна  установка дл  селенировани  барабанов электрофотографических машин им ет напылитель, представл ющий собой трубу, , дл  обеспечени  сцеплени  напыл емого вещества с напылителем, слоем олова l. Установка комплектуетс  автономным лодочным испарителем, с пси 1см1{ью которого, по мере расходовани  напы емого вещества при напылении электрофотографических б рабанов, напыг л емое вещество напыл етс  на напылитель . Количество напыл емого вещества, содержащегос  при этом на напылитеде , не значительно, так как больша  толщина его вызывает преждевременно разрушение сло  напыл емого вещества , что снижает ресурс напылител  ( 8-10 напылений), наличие олова приводит к загр знению части напыл емого вещества оловом - вызывает повышенный расход, а неравномерное, вследствие отклонени  линейных размеров взаимного расположени  внутрикамерных устройств, испарение напыл емого вещества с поверхности напылител -трубы и затем повторные подзар дки с помощью лодочного испарител  ПРИВОДЯТ к неравномерности сло  напыленного вещества на электрофотографическом барабане. Цель изобретени  - устранение указанных недостатков и повышение производительности камеры. Указанна  цель достигаетс  тем, что в камере, вместо напылнтел , представл ющего собой трубу, устанавливаетс  напылитель, набранньй из кольцевых элементов с и-образным сечением установленных один на другом; кольцевой зазор между элементами обеспечиваетс  с внутренней стороны напылител  за счет уменьшени  высоты внутренней стенки каждого кольцевого элемента, при этом наружные стенки кольцевых элементов  вл ютс  опорами дл  последующего размещени  кольцевых элементов.

и-образное сечение кольцевых элвментов обеспечивает размещение в нем большего количества напыл емого вещества без применени  олова-, что существенно повышает работоспособность напылител  и увеличивает врем  между подзар дками, устранение олова позвол ет снизить расход напыл емого вещества и повысить качество выпускаемых изделий. Увеличение количества напылений с одной подзар дки (80-150 напылений) значительно повышает производительность камеры, сокращает технологические потери напыл емого вещества./

На чертеже изображена вакуумна  камера дл  селенировани  электрофотографических барабанов, общий вид.

Вакуумна  камера состоит из основани  1, обечайки 2, крышки 3, нагревателей 4, напылител  5, узла 6 креплени  электрофотографического барабана. Кольцевой элемент 7 напылител  имеет и-образную форму; внешн   стенка кольца - опора дл  размещени  на ней следующего кольцевого элемента, а внутренн   стенка элемента ниже наружной и образует щелевое кольцевое отверстие, позвол ющее осуществить направленное испарение напыл емого вещества. U-образное сечение кольцевых элементов облегчает извлечение из них возможного остатка напыл емого вещества.

Вакуумна  камера работает следующим образом.

Производ т загрузку напыл емого вещества в U-образные кольцевые элементы 7 напылител  5 последовательно , начина  снизу после св занного с загрузкой монтажа, при низкой вакууме, нагревателем 4 разогревают напылитель 5 и наход щеес  в нем напыл емое вещество до заданной температуры; в камеру ввод т подложку электрофотографического барабана, смонтированную б кpeплeниJ ; получают (с помощью откачной вакуумной системы)высокий вакуум и напыл емое вещество,испар  сь,под действием тёмпёЁзатуры и низкого давлени  (вакуутла ), движетс  через кольцевые щелевые отверсти  напылител  на подложку электрофотографического барабана .

Применение предлагаемой вакуумной камеры повышает производительность труда в 2,5 раза, при одновременной экономии напыл емого вещества на сумму 100 тыс.р. при объеме выпуска 10000 электрофотографических барабанов в год.

Claims (1)

1. Авторское свидетельство СССР 301677, кл. G 03 G 5/082, 1967.