SU931230A1 - Эжекционное распыливающее устройство,преимущественно дл в зких жидкостей - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к распылению и нанесению жидкостей на поверхность изделий и может найти применение в приборостроении , например, при нанесении тонких защитных пленок на поверхность полупроводниковых пластин перед лазерным скрай- 5 бированием.

Известен центробежный распылитель жидкости с вертикальным приводным валом, на конце которого закреплен распылительный диск, снабженный расположенным над JQ ним дополнительным диском с упругой манжеткой. В устройстве предусмотрена возможность очистки распылительной щели в процессе распылени . Это обеспечиваетс  тем, что дополнительный диск выполнен с расположенной со стороны распылительного 15. диска полостью, котора  герметично закрыта манжеткой и заполнена газом 1.

Однако указанный распылитель  вл етс  центробежным и предусматривает радиально направленное распыление. Это делает его 20 непригодным дл  нанесени  жидкостей на поверхность малой площади, в частности дл  нанесени  защитных пленок на полупроводниковые пластины.

Наиболее близким к предлагаемому  вл етс  эжекторное распыливающее устройство, преимущественно дл  в зких жидкостей, содержащее корпус с патрубком подачи эжектирующей среды, камерами эжектирующей и эжектируемой сред и соплом, охватывающим выходной патрубок эжектируемой среды , и установленную в камере эжектируют щей среды эластичную мембрану с отверстием дл  размещени  выходного патрубка эжектируемой среды 2.

Устройство обеспечивает дозирование подачи распыл емой среды пониженного давлени  в выходной патрубок, но при этом характеризуетс  сложной конструкцией, а при использовании его дл  распылени  в зких жидкостей не предупреждает закупорку и изменени  диаметра канала выходного патрубка за счет высыхани  на его стенках остатков жидкости, что приводит к необходимости систематической очистки канала, снижает эффективность дозировани  и увеличивает расход распыл емой жидкости.

Claims (2)

1. Цель изобретени  - упрощение конструкции и предупреждение закупорки выходного патрубка эжектируемой среды. Дл  достижени  этой цели в эжектируемом распыливающем устройстве, преимущественно дл  в зких жидкостей, содержащем корпус с патрубком подачи эжектирующей среды, камерами эжектирующей и эжектируемой сред-И соплом, охватывающим выходной патрубок эжектируемой среды, и установленную в камере эжектирующей среды эластичную мембрану с отверстием дл  размещени  выходного патрубка эжектиру емой среды, эластична  мембрана выполнена с размещенным в сопле и контактирующим с его внутренней поверхностью в нерабочем положении утолщением вокруг упом нутого отверсти , обжимающим выходной патрубок эжектируемой среды с перекрытием его среза в нерабочем положении. На чертеже представлено предлагаемое устройство, разрез. Эжекционное распыливающее устройство, преимущественно дл  в зких жидкостей, содержит корпус 1 с патрубком 2 подачи эжектирующей , соединенным, например , с магис-тралью сжатого воздуха (не показана) и соплом 3. В стенках корпуса 1 наружными кромками закреплена эластична  мембрана 4, образующа  с корпусом 1 камеру 5 эжектирующей среды (сжатого воздуха). В верхней части корпуса 1 имеетс  камера 6 эжектируемой среды (преимущественно в зкой жидкости ) с входным 7 и выходным 8 патрубками в зкой жидкости, последний из которых жестко закреплен в перегородке 9, образующей вместе с эластичной мембраной 3 и корпусом 1 глухую камеру 10, заполненную воздухом. Эластична  мембрана 4 выполнена с отверстием дл  размещени  выходного патрубка 8 в зкой жидкости, который охватываетс  соплом 3. Эластична  мембрана 4 выполнена с размещенным в сопле 3 и контактирующим с его внутренней поверхностью в нерабочем положении утолщением 1 вокруг упом нутого отверсти , обжимающим выходной патрубок в зкой жидкости с перекрытием его среза в нерабочем положении. Устройство работает следующим образом. В камеру 6 через входной патрубок 7 загружают в зкую жидкость, например натуральный латекс. Патрубок 2 подключают к магистрали сжатого воздуха. До поступлени  сжатого воздуха в полость 5 мембрана 4 не деформирована . Ее утолщение 11 контактирует с внутренней поверхностью сужающегос  участка сопла 3, перекрыва  срез выходного патрубка 8 в зкой жидкости. При подаче сжатого воздуха в полость 5 давление в ней повышаетс . Это приводит к деформации эластичной мембраны 4 и перемещение ее к камере 10. При раст жении мембраны 4 утолщение 11 выходит из сужающегос  участка сопла 3. Между поверхност ми утолщени  11 и сопла 3 образуетс  зазор, через который сжатый воздух устремл етс  из полости 5 в расшир ющийс  участок сопла 3. Одновременно утолщение 11 открывает срез выходного патрубка 8. В зазоре между поверхностью сужающегос  участка сопла 3 и утолщением 11 формируетс  поток воздуха, который создает разрежение в выходном патрубке 8, что приводит к подсосу жидкости (латекса) из камеры 6 в сопло 3, смешиванию его со сжатым воздухом и распылению через расшир ющийс  участок сопла 3 на поверхность полупроводниковой пластины. Таким образом, предлагаема  конструкци  устройства обеспечивает автоматическое управление открытием и закрытием выходного патрубка 6 в зкой жидкости, достигаемое простыми средствами - подводом и отключением эжектирующей среды. Кроме того, обеспечиваемое устройством закрытие среза выходного патрубка по окончании распылени  исключает пересыхание в нем остатков жидкости, что упрощает эксплуатацию устройства, повышает точность дозировки и уменьшает расход материала . Предлагаемое устройство просто по конструкции и надежно в работе при распылении в зких жидкостей. Формула изобретени  Эжекционное р- - вающее устройство, преимущественно- i .;-идкостей, содержащее корпус хоп подачи эжектирующей среды, t- 1 эжектирующей и эжектируемой сред и соплом, охватывающим выходной патрубок эжектируемой среды, и установленную в камере эжектирующей среды эластичную ме.мбрану с отверстием дл  размещени  ль ходного патрубка эжектируемой среды, отличающеес  тем, что, с целью упрощени  конструкции и предупреждени  закупорки выходного патрубка эжектируемой среды, эластична  мембрана выполнена с размещенным в сопле и контактирующим с его внутренней поверхностью в нерабочем положении утолщение.м вокруг упом нутого отверсти , обжимающим выходной патрубок эжектируемой среды с перекрытием его среза в нерабочем положении . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 725713, кл. В 05 В 3/12, 1978.
2. 2.Авторское свидетельство СССР № 653430, кл. F 04 F 5/04, 1977 (прототип ) .

   f/ ////////7

   //////// /