SU901356A1 - Вакуумна установка - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к вакуумной технике и может быть использовано дл  загрузки и выгрузки изделий в за куумных установках со шлюзовыми сис темами и устройствами нанесени  покрытий .

Известна вакуумна  установка, содержаща  шлюзовую камеру и корпус с размещенными в нем подложкодержа- тел ми , закрепленными на карусели с возможностью герметизации в шлюзовой камере р.

В установке ненадежна  система откачки шлюзовой камеры относительно карусели с подложкодержател ми.

Наиболее близкой к предлагаемой по технической сущности  вл етс  вакуумна  установка, содержаща  корпус с размещенными в нем цилиндрически ми подложкодержател ми, закрепленными на карусели, фланец, расположенный метщу одним из цилиндрических подложкодержателей и основанием корпуса и кинематически соединенный

со штоком возвратно-поступательного перемещени  и, откачной патрубок l2 ,

Недостатком этого устройства  в л етс  об зательное наличие в шлюзовой камере или в системе его откачки клапана, имеющего отдельный, например, электромагнитный привод, на КОТО1ШЙ необходимо подавать управл киций сигнал (команду) после герметизации шлюза дл  откачки и снимать

10 этот сигнал перед разгерметизацией шлюза дл  загпузки-выгрузки изделий.

Это снижает надежность работы установки, так как в случае отсутIS стви  управл ющего сигнала или выхода из стро  привода клапана давление в шлюзовой камере не будет понижено до необходимого уровн  и при соединении с корпусом резко повысит

Ж давление в нем, что приведет к браку при обработке изделий.

Claims (1)

1. Цель изобретени  - повышение надежности работы установки. 3 Указанна  цель достигаетс  тем, что вакуумна  установка, содержа.ща  корпус с размещенными в нем цилиндрическими подложкодержател ми, закрепленными на карусели, фланец, расположенный между одним из цилиндрических подложкодержателей и основанием корпуса и кинематически со диненный со штоком возвратно-поступательного перемещени , и откачной патрубок, снабжена сильфоном и пружинами , размещенными коаксиально фланцу, выполненному V-образной формы, закрепленными на откачном патрубке и фланце, и двум  параллельными клапанами, жестко закрепленными на штоке, один из которых расположен в долости фланца, а другой - в полости откачного патрубка, причем в основани х фланца и корпуса выполнены отверсти , соосные оси штока. В установке управление откачной шлюзовой камеры осуществл етс  двум  параллельными клапанами, жестко закрепленными на штоке. При этом от падает необходимость в отдельном приводе клапанов, что повьш1ает надежность работы установки. На фиг о 1 изображена установка при загрузке-выгрузке изделий; нафиг . 2 - то же, после, окончани  загрузки изделийо Установка содержит корпус 1 с крышкой 2, на которой размещена крышка 3 шлюза. На карусели 4, расположенной в корпусе 1, установлены на пружинах 5 цилиндрические подлож кодержатели 6, которые могут герметизировать шлюз при помопщ фланца 7 U-образной формы и прокладок 8 и 9. На днище корпуса 1 герметично закреплен откачной патрубок 10. В откачном патрубке 10 посредством сильфона 11 установлен фланец 7. Дл  подъема фланца 7 в откачном патрубке 10 смонтированы пружины 12. Через центральные отверсти  фланца 7 и откачного патрубка 10 проходит шток 13 привода, на котором закреплены два параллельных клапана 14 и 15. Установка работает следующим об разом. Дл  загрузки-выгрузки изделий шток 13 перемещаетс  вверх и фланец 7 под действием пружин 12 поднимает цилиндрический подложкодержател 6 И герметизирует при помощи прокладок 8 и 9 отверстие в крьшке 2, при зтом в верхнем крайнем положении штока 13 клапан J5 negeKpHBaeT отверстие в откачном патрубке 10 и прекращает откачку |Шлюза. Затем напускаетс  воздух и крышка 3 шлюза откры ваетс . После загрузки-выгрузки изделий крышка 3 шлюза закрываетс  и подаетс  сигнал (команда) на опускание штока 13, при этом скорость перемещени  штока 13 и скорость откачки шлюза выбираютс  так, чтобы при перекрытии клапаном 14 отверсти  во фланце 7 давление снизилось до уровн , при котором возможно шлюзование. Продолжа  движение, шток 13 через клапан 14 перемещает фланец 7 в крайнее нижнее положение а цилиндрический подложкодержатель 6 под действием пружин 5 устанавливаетс  на карусель 4, котора  поворачиваетс  и устанавливает иод отверстием в крьш1ке 2 цилиндрический подложкодержатель 6 с изделием, прошедвшм обработку. Затем цикл шлюзовани  повтор етс . Надежность работы предлагаемого устройства выше, так как в его конструкции отсутствует отдельный привод клапана, коммутирующего систему откачки шлюза, а следовательно , и количество сигналов команд в системе управлени  меньше. Формула изобретени  Вакуумна  установка, содержаща  корпус с размещенными в нем цилиндрическими подложкодержател ми, закрепленными на карусели, фланец, расположенный меащу одним из цилиндрических подложкодержателей и основанием корпуса и кинематически соединенный со штоком возвратно-поступательного перемещени , и откачной патрубок, отличающа с   тем, что, с целью повьшгени  надежности работы установки, она снабжена сильфоном и пружинами, размещенными коаксиально фланцу, вьшолненному и-образной формы, закрепленными на откачном патрубке и фланце , и двум  параллельными клапанами , жестко закрепленными на штоке, один из которых расположен в полости фланца, а другой в полости откачного патрубка, причем в основани х флан