SU802603A1

SU802603A1 - Cryogenic vacuum pump

Info

Publication number: SU802603A1
Application number: SU792744565A
Authority: SU
Inventors: Владислав Иванович Иванов; Владимир Васильевич Леонов; Виктор Николаевич Ярочкин; Геннадий Владимирович Варм; Евгений Геннадьевич Прощаев; Андрей Игорьевич Прудников
Original assignee: Ленинградский Технологическийинститут Холодильной Промышлен-Ности
Priority date: 1979-03-28
Filing date: 1979-03-28
Publication date: 1981-02-07

Description

(54) КРИОГЕННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС(54) CRYOGENIC VACUUM PUMP

Изобретение относитс к области вакуумной техники.The invention relates to the field of vacuum technology.

Известны криогенные вакуумные насосы, содержащие корпус с входным патрубком и размещенные в корпусе криопанель, установленную между теплозащитными наружным и внутренним экранами, и разделительную перегорсдку 1.Known cryogenic vacuum pumps, comprising a casing with an inlet pipe and a cryopanel placed in the casing, installed between the heat-shielding outer and inner screens, and the separation grommet 1.

Известный насос работает следующим образом.Known pump works as follows.

Молекулы откачиваемого газа, попада через входной патрубок в объе насоса и отража сь от теплозащитных экранов и перегородки,конденсируютс на криопанели.The molecules of the evacuated gas, entering through the inlet nozzle in the pump volume and reflecting off the heat-shielding screens and partitions, are condensed on the cryopanel.

Известный насос обеспечивает высокую эффективность откачки лишь в молекул рном режиме течени газа. В переходном и в зкостном режимах часть молекул проходит к криопанели без столкновений с экранами и перегородкой , что приводит к увеличению тепловой нагрузки на криопанель и увеличению расхода хладагента.A known pump provides high pumping efficiency only in a molecular mode of gas flow. In the transitional and viscous regimes, part of the molecules passes to the cryopanel without colliding with the screens and the partition, which leads to an increase in the thermal load on the cryopanel and an increase in the flow rate of the refrigerant.

Цель изобретени - повышение экономичности насоса.The purpose of the invention is to increase the efficiency of the pump.

Указанна цель достигаетс тем, что перегородка выполнена в виде охлаждаемого пористого цилиндра.This goal is achieved by the fact that the partition is made in the form of a cooled porous cylinder.

снабженного со стороны, противоположной входному патрубку, вымораживателем в виде сребренного диска и служащего нагружным экраном, а корпус имеет дополнительный патрубок, размещенный соосно входному патрубку .equipped on the side opposite to the inlet nozzle, with a freezer in the form of a silver disk and serving as a loading screen, and the housing has an additional nozzle located coaxially with the inlet nozzle.

На чертеже схематично показан разрез насоса.The drawing schematically shows a section of the pump.

00

Криогенный вакуумный насос содержит корпус 1 с входным патрубком 2 и размещенные в корпусе 1 криопанель 3, установленную между теплозащитньми наружным и внутренним экра5 нами 4 и 5, и разделительную перегородку . Перегородка выполнена в виде охлаждаемого пористого цилиндра, снабженного со стороны, противоположной входному патрубку 2, вымора0 живателем в виде оребренного диска 6 и служит наружным экраном 4. Корпус 1 имеет дополнительный патрубок 7, размещенный соосно входному патрубку .. 2. ,The cryogenic vacuum pump includes a housing 1 with an inlet pipe 2 and a cryopanel 3 housed in the housing 1, installed between the outer and inner heat shield 5 and 5, and a partition wall. The partition is made in the form of a cooled porous cylinder, provided on the side opposite to the inlet nozzle 2, extinct as a finned disk 6 and serves as an outer shield 4. The housing 1 has an additional nozzle 7 located coaxially with the inlet nozzle .. 2.,

$$

Криогенный насос работает следующим образом.The cryogenic pump operates as follows.

В начальный период откачки, когда давление откачиваемого газа еще высоко , газ подаетс в корпус 1 через In the initial period of pumping, when the pressure of the pumped gas is still high, gas is supplied to the housing 1 through

0 патрубок 7, проходит между ребрами0 pipe 7, passes between the ribs

вымораживател , где освобождаетс от легкоконденсируемых примесей, а зате через поры перегородки, служащей наружным экраном 4, достигает криопанели 3. После понижени давлени откачиваемого газа откачка производитс через патрубок 2.the freezer, where it is freed from easily condensed impurities, and then through the pores of the partition, which serves as an outer screen 4, reaches cryopanel 3. After the pressure of the evacuated gas is reduced, the pumping out is performed through the nozzle 2.

В описанном криогенном насосе откачиваемый газ в переходном и в зкостном режимах охлаждаетс на пористом защитном экране до температуры ВО, что уменьшает теплоприток к криопанели с откачиваемым газом и повышает экономичность насоса.In the cryogenic pump described above, the pumped gas in the transitional and viscous modes is cooled on a porous protective screen to the VO temperature, which reduces the heat input to the cryopanel with the pumped gas and increases the efficiency of the pump.

Claims

Invention Formula

Cryogenic vacuum pump comprising a housing with an inlet

and a cryopanel installed in the housing, installed between the heat-shielding outer and inner screens, and a dividing partition, characterized in that, in order to increase efficiency, the partition is made in the form of a cooled porous cylinder, provided on the side opposite to the inlet nozzle, of freezing in the form of a ribbed disk and serving as an outer screen, and the housing has an additional pipe located coaxially with the inlet pipe.

Sources of information taken into account in the examination

1, USSR Author's Certificate 455202, class, F 04 B 37/08, 1972,

/