Изобретение относитс к вакуумно технике, а именно к молекул рным вакуумным насосам. Известен термомолекул рный вакуумный насос, содержащий снабженный нагревателем рабочий элемент с осевым каналом дл прохода откачиваем го газа . Недостатком известного насоса в л ютс невысокие откачные характери тики, в частности степень сжати на одной ступени насоса не превышает 1,32. Цель изобретени - улучшение откачных характеристик,. , Указанна цель достигаетс тем, что в терномолекул рном вакуумнрм насосе, содержащем снабженный нагре вателем рабочий элемент с осевым каналом дл прохода откачиваемого г.аза, канал выполнен с переменным поперечным сечением, монотонно увеличивающемс в направлении откач Кроме то го, насос снабжен охлажд емым элементом, имекицим осевой кана с переменным поперечным сечением,мо нотонно уменьшающимс в направлении откачки, и установленным последовательно с рабочим элементом. На фиг.1 представлен рабочий элемент насоса с нагревателем; на фиг.2 - комбинаци рабочего элемента с охлаждаемым; на фиг.З - многоступенчатый термомолекул рный вакуумный насос. Термомолекул рный. вакуумный насос содержит снабженный нагревате лем 1 рабочий элемент 2 с осевым каналом 3 дл прохода откачиваемого газа причем канал выполнен с переменным поперечным сечением монотонно увеличивающимс в направлении откачки. Кроме того, насос снабжен охлаждаемым элементом 4, имеющим осевой канал 5 с переменным поперечным сечением, монотонно уменьшающимс в направлении откачки, и установленным последовательно с рабочим элементом 2. Охлаждение элемента 4 осуществл етс при помощи холодильника 6, а в качестве хладагента используетс ,например , жидкий азот. Насос работает следующим образом. При условии равенства температур газа и стенок рабочего элемента 2 вдоль канала 3 устанавливаетс два потока - пр мой и обратный, равные по величине. Если температура стенок вьппе температуры газа, то молекуль газа при столкновении со стенкой получают дополнительный импульс,в результате чего угол отражени молекул от стенки в среднем становитс меньше угла падени . Вследствие этого поток газа, вход щий через меньшее отверстие в канал 3, открываетс больше, чем Поток газа, покидающий полость рабочего элемента 2,что приводит к возникновению эффекта откачки газа. Аналогично дл охлаждаемого элемента 4 при температуре газа, превышающей температуру стенок , поток газа в направлении меньшего отверсти в- канале 5 оказываетс меньше обратного потока, вход щего в этот канал через указанное отверстие. Эффе.кт откачки тем выше, чем больше разница температур газа и стенок. Установка последовательно большого количества чередуюшихс холодных и теплых ступеней позвол ет добитьс значительной степени сжати насоса.The invention relates to vacuum technology, namely to molecular vacuum pumps. A thermomolecular vacuum pump is known that contains a working element equipped with a heater with an axial channel for passing the evacuated gas. The disadvantage of the known pump is the low pumping characteristics, in particular, the compression ratio at one stage of the pump does not exceed 1.32. The purpose of the invention is to improve pumping characteristics. This goal is achieved by the fact that in a ternomolecular vacuum pump containing a working element equipped with a heater with an axial channel for the passage of the evacuated gas, the channel is made with a variable cross section monotonically increasing in the direction of pumping. Moreover, the pump is equipped with a cooled element There is an axial canal with a variable cross-section monotonously decreasing in the direction of pumping, and installed in series with the working element. Figure 1 presents the working element of the pump with a heater; Fig. 2 shows the combination of the working element with the cooled one; FIG. 3 shows a multistage thermomolecular vacuum pump. Thermomolecular. The vacuum pump contains a working element 2 equipped with a heater 1 with an axial channel 3 for passing the pumped gas, the channel being made with a variable cross section monotonically increasing in the direction of pumping. In addition, the pump is equipped with a cooled element 4 having an axial channel 5 with a variable cross section monotonously decreasing in the direction of pumping and installed in series with the working element 2. Cooling element 4 is carried out using a refrigerator 6, and as a refrigerant, for example, a liquid nitrogen. The pump works as follows. Assuming that the temperatures of the gas and the walls of the working element 2 are equal, two streams, direct and reverse, are equal in magnitude along channel 3. If the temperature of the walls is higher than the temperature of the gas, then an additional impulse is obtained by the gas molecule when it collides with the wall, as a result of which the angle of reflection of molecules from the wall on average becomes less than the angle of incidence. As a consequence, the gas flow entering through the smaller opening in the channel 3 opens more than the gas flow leaving the cavity of the working element 2, which leads to the effect of gas evacuation. Similarly, for the cooled element 4, when the gas temperature exceeds the temperature of the walls, the gas flow in the direction of the smaller opening in channel 5 is less than the return flow entering this channel through the specified opening. Eff.kt pumping the higher, the greater the temperature difference between the gas and the walls. Installing successively a large number of alternating cold and warm steps allows a significant degree of pump compression to be achieved.