SU1751400A1

SU1751400A1 - Vacuum cryogenic pump

Info

Publication number: SU1751400A1
Application number: SU904841787A
Authority: SU
Inventors: Николай Васильевич Тятюшкин
Original assignee: Омское Научно-Производственное Объединение Микрокриогенной Техники
Priority date: 1990-06-18
Filing date: 1990-06-18
Publication date: 1992-07-30

Abstract

Использование: получение и поддержание высокого безмасл ного вакуума в технологическом оборудовании. Сущность изобретени : крионасос содержит встроенный в корпус 1 двухступенчатый криогенератор 2, на первой ступени которого закреплен теплозащитный экран 3. а на второй - криопанель 4. Соединение криопане и 4 с второй ступенью криогенератора 2 осуществлено при помощи теплопровода 5, имеющего контакте криопэнелью4 в ее наиболее удаленной части от входного отверсти экрана 3. 1 ил.Use: obtaining and maintaining a high oil-free vacuum in the process equipment. SUMMARY OF THE INVENTION: The cryopump contains a two-stage cryogenerator 2 embedded in the housing 1, on the first stage of which a heat shield 3 is fixed. On the second stage is a cryopanel 4. The cryopane and 4 are connected to the second stage of the cryogenerator 2 using a heat pipe 5 having a cryopanel 4 at its most remote part of the inlet of the screen 3. 1 Il.

Description

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к устройствам для получения безмасляного сверхвысокого вакуума, использующим принципом криоконденсации или криоадсорбции различных газов на поверхностях, охлаждённых до криогенных температур.The invention relates to vacuum technology, in particular to devices for producing oil-free ultra-high vacuum using the principle of cryocondensation or cryoadsorption of various gases on surfaces cooled to cryogenic temperatures.

Целью изобретения является улучшение откачных характеристик.The aim of the invention is to improve the pumping characteristics.

Поставленная цель достигается тем, что в вакуумном крионасосе, содержащем корпус с входным патрубком, встроенным двухступенчатым криогенератором, размещенным в корпусе теплозащитным экраном, закрепленным на первой ступени криогенерётсра. и расположенную внутри экрана криопанелью, закрепленной на второй ступени криогейератора при помощи теплопровода, последний соединен с криопанелью в ее наиболее удалённой от входного патрубка части.This goal is achieved by the fact that in a vacuum cryopump containing a casing with an inlet pipe, an integrated two-stage cryogenerator placed in the casing with a heat shield fixed on the first stage of the cryogener. and located inside the screen by a cryopanel, mounted on the second stage of the cryogeyerator using a heat pipe, the latter is connected to the cryopanel in its part farthest from the inlet pipe.

На чертеже приведена схема предлагаемого вакуумного крионасоса.The drawing shows a diagram of the proposed vacuum cryopump.

Крионасос содержит корпус 1, встроенный двухступенчатый криогенератор 2, на охлаждаемых фланцах которого установлены теплозащитной экран 3 и криопанель 4, соединенная с охлаждаемым фланцем второйступени криогенератора теплопроводом 5.The cryopump contains a housing 1, an integrated two-stage cryogenerator 2, on the cooled flanges of which a heat shield 3 and a cryopanel 4 are connected to the cooled flange of the second stage of the cryogenerator by a heat conduit 5.

. Крионасос работает следующим образом.. Cryopump works as follows.

Криогенератор 2 охлаждает теплозащитный экран 3 до 60-90 К и криопанель 4 через теплопровод 5 - до 15-20 К. При этом на экране конденсируются пары воды, углеводороды, углекислый газ. Остальные компоненты откачиваемой среды, за исключением неона, водорода и гелия, конденсируются на криопанели 4.The cryogenerator 2 cools the heat shield 3 to 60-90 K and the cryopanel 4 through the heat pipe 5 to 15-20 K. At the same time, water vapor, hydrocarbons, carbon dioxide are condensed on the screen. The remaining components of the pumped medium, with the exception of neon, hydrogen and helium, condense on the cryopanel 4.

Давление конденсирующегося на крио5 панели газа максимально в области входного отверстия экрана и минимально в зоне периферийного участка криопанели. Так как теплопровод 5 подсоединен к криопанели 4 в ее части, наиболее удаленной от входного 10 отверстия экрана, то периферия криопанели имеет минимальную температуру, а ее часть, обращенная к откачиваемому объему . - максимальную температуру.The pressure of the gas condensing on the cryo5 panel is maximum in the region of the screen inlet and minimum in the area of the peripheral section of the cryopanel. Since the heat conduit 5 is connected to the cryopanel 4 in its part farthest from the inlet 10 of the screen, the periphery of the cryopanel has a minimum temperature, and its part facing the pumped volume. - maximum temperature.

Откачивающая структура организована 15 так, что в сечениях с более высокой температурой криопанели соответственно выше и давление откачиваемого Газа, находящегося над криопанелью. Это обеспечивает более равномерное распределение степеней 20 перенасыщения паров откачиваемого газа 'над разлйчнйми участками криопанели, что улучшает эффективность Откачки при низких рабочих давлениях и приводит к увеличению быстроты действия насоса.The pumping-out structure is organized 15 so that in sections with a higher temperature the cryopanels are correspondingly higher and the pressure of the pumped-out Gas located above the cryopanel. This ensures a more uniform distribution of the degrees of supersaturation of the vapor of the evacuated gas over the different sections of the cryopanel, which improves the pumping efficiency at low operating pressures and increases the speed of the pump.

Claims

25 claims

A vacuum cryopump containing a casing with an inlet pipe and an integrated two-stage cryogenerator, a heat shield placed in the casing 30, mounted on the first stage of the cryogenerator, and a cryopanel located inside the screen, mounted on the second stage of the cryogenerator using a heat conduit, which is different in that, with the goal of 35 improving the pumping characteristics, the heat pipe is connected to the cryopanel in its part farthest from the inlet pipe.