Устройство дл защиты зысоковакуумных систем содержит корпус 1 с впускным и выпускным патрубками 2 и 3 и установленный в корпусе 1 резервуар 4 дл хладагента с расположенны,м в нем cocyдOiM 5, причем впускной патрубок 2 герметично введен внутрь сосуда 5 через его дно и образует с внутренней поверхностью сосуда 5 кольцевой зазор, а выпускной патрубок 3 расположен тангенциально и герметично соединен с цилиндрической поверхностью сосуда 5 в зоне присоединени к нему впускного патрубка 2. Внутри впускного патрубка 2 с зазором относительно последнего расположена гильза 6 со сферическим отрах ателем 7, присоединенна с тепловым контактом к входному торцу впускпого патрубка 2, а на последнем установлен нагреватель 8, расположенный вне корпуса 1. Внутри выпускного патрубка 3 параллельно его оси установлен р д тонкостенных перегородок 9, а на внутренней поверхности сосуда 5 в зоне расположени впускного патрубка 2 н перпендикул рно к его оси закреплен р д тонкостенных шайб 10.The device for protection of vacuum-vacuum systems comprises a housing 1 with inlet and outlet pipes 2 and 3 and a reservoir 4 for refrigerant installed in the housing 1 with a liquid located in it, cocodyM 5, and the inlet pipe 2 is hermetically inserted into the inside of the vessel 5 through its bottom and forms with the inside the surface of the vessel 5 is an annular gap, and the outlet nozzle 3 is located tangentially and tightly connected to the cylindrical surface of the vessel 5 in the zone of attachment of the inlet nozzle to it 2. Inside the inlet nozzle 2 with a gap relative to the last there is a sleeve 6 with a spherical bottom 7 attached with a thermal contact to the inlet end of the inlet manifold 2, and on the latter there is a heater 8 located outside the housing 1. Inside the discharge manifold 3 parallel to its axis there is a row of thin-walled partitions 9, and on the inner surface The vessel 5 in the zone of location of the inlet pipe 2 N perpendicular to its axis is attached a row of thin-walled washers 10.
Устройство дл защиты высоковакуумных систем работает следующим образом.Device for the protection of high-vacuum systems works as follows.
Молекулы откачиваемого газа по гильзе 6 поступают на отражатель 7, составл ющий едипое целое с гильзой 6 и имеющий температуру окружающей среды или более высокую температуру при включенном нагревателе . 8. Отразивщись от него, молекулы газа поступают в выпускной патрубок 3 и оТ|качиваютс насосом.The molecules of the pumped gas through the sleeve 6 are fed to the reflector 7, which is a single unit with the sleeve 6 and has an ambient temperature or a higher temperature when the heater is on. 8. Reflecting from it, the gas molecules enter the outlet nozzle 3 and are pumped by the pump.
А1олекулы паров рабочей жидкости диффузионного насоса попадают в выпускной патрубок 3. В этом натрубке, разделенно тонкостенными нерегородками 9 на р д каналов , молекулам пара задаетс однонаправленное движение. Поток паров тангенциально поступает в кольцевой зазор между внутренней поверхностью сосуда 5 н впускным патрубком 2. Тонкостенные щайбы 10 преп тствуют движению молекул пара вдоль оси сосуда и замедл ют движение последннх, что позвол ет обеспечить более полную их конденсацию.The A1 vapor molecules of the working fluid of the diffusion pump fall into the discharge port 3. In this pipe, separated by thin-walled non-partitions 9 on a series of channels, the molecules of the vapor are given a unidirectional motion. The vapor flow tangentially enters the annular gap between the inner surface of the vessel 5 n inlet pipe 2. Thin-walled tabs 10 prevent the movement of vapor molecules along the axis of the vessel and slow the movement of the latter, which allows for more complete condensation.
Предлагаемый способ защиты высоковакуумных систем от паров рабочей жидкости насосов и устройство дл защиты высоковакуумных систем позвол ют практически полностью конденсировать пары рабочей жидкости насосов н исключить их попадание в вакуумируемый объем, при этом скорость откачки газов из объема в 1,5-2 раза увеличиваетс .The proposed method of protecting high-vacuum systems from vapors of the working fluid of pumps and a device for protecting high-vacuum systems almost completely condenses the vapors of the working fluid of the pumps and prevents them from entering the evacuated volume, while the rate of pumping of gases from the volume increases by 1.5-2 times.