SU1377472A1

SU1377472A1 - Vacuum pump cooled trap

Info

Publication number: SU1377472A1
Application number: SU792829618A
Authority: SU
Inventors: Юрий Михайлович Тузанкин; Иван Федорович Шмелев
Original assignee: Предприятие П/Я А-3634
Priority date: 1979-10-05
Filing date: 1979-10-05
Publication date: 1988-02-28

Description

®®

(Л(L

сwith

тЛtl

СО К|CO K |

4four

0iie.f0iie.f

Изобретение относитс к вакуумной технике.The invention relates to vacuum technology.

Известна охлаждаема ловушка вакуумного насоса, содержаща корпус с кольцевым жалюзийным охлаждаемым экраном внутри, предназначенна дл вымораживани паров вода и предотвращени миграции паров рабочего тела вакуумных насосов в откачиваемый объ- ем.The known cooled trap of the vacuum pump, comprising a housing with an annular louvreable cooled screen inside, is designed to freeze water vapor and prevent the vapor of the working medium of the vacuum pumps from migrating into the pumped volume.

Однако известна ловушка не обеспечивает эффективной защиты откачиваемого объема от миграции паров рабочего тела вакуумных насосов. However, the known trap does not provide effective protection of the pumped volume from the vapor migration of the working fluid of vacuum pumps.

Цель изобретени - повьшение защитной способности ловушки при одновременном увеличении ее проводимостиThe purpose of the invention is to increase the protective ability of the trap while increasing its conductivity.

Цель достигаетс тем, что между корпусом и экраном уста:новлен допол- нительный экран, соединенный с кольцевым жалюзийным экраном посредством ребер из высокотеплопроводного материала .The goal is achieved by the fact that between the case and the screen an additional screen is installed, connected to the annular louvre screen by means of fins of a highly heat-conducting material.

На фиг.1 показана предлагаема ловушка , продольный разрез; на фиг.2 - то же, поперечный разрез.Figure 1 shows the proposed trap, a longitudinal section; figure 2 - the same cross section.

Охлаждаема ловушка вакуумного насоса содержит корпус 1 с кольцевым жалюзийным охлаждаемым экраном 2 The cooled trap of the vacuum pump includes a housing 1 with an annular louvered cooled screen 2

внутри. Между корпусом 1 и экраном 2 установлен дополнительный экран 3, соединенный с кольцевым жалюзийным экраном 2 посредством ребер 4 и 5 из высокотеплопроводного материала.inside. Between the housing 1 and the screen 2 is installed an additional screen 3 connected to the annular louvered screen 2 by means of ribs 4 and 5 of highly heat-conducting material.

Ловушка работает следующим образом ,The trap works as follows

Охлаладают кольцевой жалюзийный экран 2 и от него посредством ребер 4 и 5 охлаждаетс дополнительный экран 3. Поступление газа из откачиваемого объема к насосу происходит через кольцевой жалюзийный экран 2 и далее по кольцевому каналу между жа- люзIti)ным и дополнительным экранами 2 и 3 соответственно. Проникающие со стороны насоса пары рабочего тела вакуумного насоса идут в противоположном направлении, при этом обеспечиваютс многократные соударени молекул с охлажденными до низкой температуры поверхност ми ловушки и конденсаци молекул на последних.The annular louvered screen 2 is cooled and an additional screen 3 is cooled by means of ribs 4 and 5. Gas from the pumped-out volume to the pump flows through the annular louvered screen 2 and further along the annular channel between the optic screens 2 and 3, respectively. Vapors from the pump side penetrating from the pump side go in the opposite direction, thus providing multiple collisions of molecules with cooled to a low temperature surfaces of the trap and condensation of molecules on the latter.

Такое выполнение ловушки позвол ет повысить защитную способность ло- вущки за счет обеспечени многократного соударени молекул паров рабочей жидкости насосов при одновременном увеличении проводимости. Such an embodiment of the trap increases the protective ability of the trap by providing multiple collisions of vapor molecules of the working fluid of the pumps while increasing conductivity.

.S.S

Claims

COOLED VACUUM PUMP TRAP, comprising a housing with an annular louvered cooled screen inside, characterized in that, in order to increase the protective ability while increasing conductivity, an additional screen is installed between the housing and the screen connected to the annular louvered screen by means of fins made of highly heat-conducting material.

SU „„ 1377472