SU794546A1 - Пьезоакселерометр с частотнымВыХОдОМ - Google Patents
Пьезоакселерометр с частотнымВыХОдОМ Download PDFInfo
- Publication number
- SU794546A1 SU794546A1 SU782596680A SU2596680A SU794546A1 SU 794546 A1 SU794546 A1 SU 794546A1 SU 782596680 A SU782596680 A SU 782596680A SU 2596680 A SU2596680 A SU 2596680A SU 794546 A1 SU794546 A1 SU 794546A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- frequency
- inertial mass
- piezoaccelerometer
- output
- electrodes
- Prior art date
Links
Description
1
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени механических величин, в частности линейных И вибрационных ускорений .
Известны пьезоакселерометры с частотным ВЫХОДОМ, выполненные на основе перестраиваемых по частоте пьезоэлектрических резонаторов с присоединенной инерционной массой.
Акселерометр включает закрепл емые в корпусе прибора силочувствительные пьезорезонаторы и взаимодействующие с резонаторами элементы упругого подвеса с закрепленными на них инерционными массами. Элементы упругого подвеса инерционной массы обеспечивают передачу к пьезорезонаторам усилий, пропорциональных ускорени м вдоль оси чувствительности 1.
Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому вл етс пьезоакселерометр , содержащий консольный упругий элемент, инерционную массу и два пьезорезонатора, включенные в качестве частотно-задающих элементов в автогенераторы , выходы которых подключены к схеме формировани сигнала разностной частоты ,{2.
Недостатком его вл етс мала крутизна преобразовани ускорени в частоту. Крутизна преобразовани пьезоакселерометра пр мо пропорциональна инерционной массе и силовой чувствительности пьезорезонатора . Увеличение инерционной массы приводит к ут желению акселерометра , что нежелательно при измерении и анализе механических колебаний легких объектов.
Цель изобретени - увеличить крутизну
преобразовани пьезоакселерометра при
сохранении величины инерционной массы
и полосы рабочих частот.
Поставленна цель достигаетс тем, что
на две противоположные боковые поверхности инерционной массы, перпендикул рные к оси чувствительности, и на две параллельные этим поверхност м стенки корпуса нанесены электроды, при этом один
из электродов на корпусе соединен с одним из пьезорезонаторов, второй электрод соединен с другим пьезорезонатором, а электроды -на инерционной массе объединены между собой и соединены с земл ной шиной .
На фиг. 1 представлена конструкци пьезоакселерометра; на фиг. 2 - электрическа схема. Предлагаемый пьезоакселерометр содержит основание 1, упругий элемент 2, в котором закреплены два пьезорезонатора 3 и 4, инерционную массу 5, корпус 6. На боковые поверхности инерционной массы 5, перпендикул рные к оси чувствительности, нанесены электроды 7 и 8. Две пары электродов 7, 9 и 8, 10 образуют два воздушных конденсатора Ci и Са. Электрод 9 конденсатора Сь наход щийс на корпусе, соединен с одним из выводов пьезорезонатора 3. Электроды 7 и 8 конденсаторовCi и Cz объединены и (соединены с земл ной шиной. Цепь, состо ща из последовательно соединенных конденсаторов С и пьезорезонатора 4, включена в качестве частотно-задающего элемента в автогенератор И, а включенные последовательно конденсатор Cz и пьезорезонатор 3 вл ютс частотно-задающими элементами автогенератора 12. Входы схем автогенераторов И и 12 подключены к схеме формировани разностной частоты 13.
Предлагаемый цьезоакселерометр работает следующим образом.
Под действием ускорени вдоль оси чувствительности- происходит изгиб консольного упругого элемента 2, жестко св занного с инерционной массой 5. Изгиб упругого элемента приводит к деформации пьезорезонаторов 3 и 4 и вызывает изменение частоты пьезорезонаторов, что- приводит к аналогичному изменению частоты автогенераторов . Одновременно, благодар перемещению электродов 7 и 8, расположенных на инерционной массе 5, происходит увеличение (уменьшение) межэлектродного
рассто ни конденсаторов GI и Cz. Это в свою очередь приводит к увеличению (уменьшению) частоты соответствующих автогенераторов 11 и 12.
Суммарный эффект от изменени частоты автогенераторов приводит к увеличению крутизны преобразовани пьезоакселерометра .. .
Claims (2)
1.Малов В. В. Пьезорезонаторные датчики . М., Энерги , 1972, г. V.
2.Авторское свидетельство СССР № 573757, кл. G 01 Р 15/08, 1975 (прототип ).
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU782596680A SU794546A1 (ru) | 1978-03-31 | 1978-03-31 | Пьезоакселерометр с частотнымВыХОдОМ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU782596680A SU794546A1 (ru) | 1978-03-31 | 1978-03-31 | Пьезоакселерометр с частотнымВыХОдОМ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU794546A1 true SU794546A1 (ru) | 1981-01-07 |
Family
ID=20756213
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU782596680A SU794546A1 (ru) | 1978-03-31 | 1978-03-31 | Пьезоакселерометр с частотнымВыХОдОМ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU794546A1 (ru) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4751849A (en) * | 1986-06-17 | 1988-06-21 | Paroscientific, Inc. | Force-sensitive resonator load cell |
US4881408A (en) * | 1989-02-16 | 1989-11-21 | Sundstrand Data Control, Inc. | Low profile accelerometer |
US4945765A (en) * | 1988-08-31 | 1990-08-07 | Kearfott Guidance & Navigation Corp. | Silicon micromachined accelerometer |
US5170665A (en) * | 1989-08-08 | 1992-12-15 | Denis Janiaud | Accelerometric sensor with flectional vibratory beams |
-
1978
- 1978-03-31 SU SU782596680A patent/SU794546A1/ru active
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4751849A (en) * | 1986-06-17 | 1988-06-21 | Paroscientific, Inc. | Force-sensitive resonator load cell |
US4945765A (en) * | 1988-08-31 | 1990-08-07 | Kearfott Guidance & Navigation Corp. | Silicon micromachined accelerometer |
US4881408A (en) * | 1989-02-16 | 1989-11-21 | Sundstrand Data Control, Inc. | Low profile accelerometer |
US5170665A (en) * | 1989-08-08 | 1992-12-15 | Denis Janiaud | Accelerometric sensor with flectional vibratory beams |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3238789A (en) | Vibrating bar transducer | |
JP6196144B2 (ja) | センサ素子および圧力センサ | |
SU794546A1 (ru) | Пьезоакселерометр с частотнымВыХОдОМ | |
RU2692122C1 (ru) | Твердотельный датчик линейных ускорений | |
KR100464297B1 (ko) | 용량변화마이크로가속도계 | |
SU569955A1 (ru) | Пьезоакселерометр | |
US3101001A (en) | Digital force transducer | |
SU779885A1 (ru) | Частотный датчик виброускорений | |
SU871076A1 (ru) | Датчик ускорени с частотным выходом | |
SU514243A1 (ru) | Электрохимический акселерометр | |
SU482613A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещений | |
SU900191A1 (ru) | Частотный датчик виброускорений | |
SU958979A1 (ru) | Датчик ускорений | |
SU640213A1 (ru) | Датчик ускорени с частотным выходом | |
Mary et al. | Design and Simulation Studies on Linearised MEMS Capacitive Accelerometer | |
RU2132559C1 (ru) | Способ измерения линейного ускорения и устройство для его осуществления | |
SU993006A2 (ru) | Датчик перемещений | |
SU460502A1 (ru) | Струнный акселерометр | |
SU645035A1 (ru) | Трехкомпонентный вибропреобразователь | |
SU527665A1 (ru) | Пьезоэлектрический акселерометр | |
SU847094A1 (ru) | Пьезоэлектрический манометр | |
SU558189A1 (ru) | Дифференциальный преобразователь механических усилий | |
SU573757A1 (ru) | Частотный пьезоакселерометр | |
SU582464A1 (ru) | Частотный датчик | |
SU1638637A1 (ru) | Дифференциальный пьезорезонансный кварцевый измерительный преобразователь |