SU794546A1 - Пьезоакселерометр с частотнымВыХОдОМ - Google Patents

Пьезоакселерометр с частотнымВыХОдОМ Download PDF

Info

Publication number
SU794546A1
SU794546A1 SU782596680A SU2596680A SU794546A1 SU 794546 A1 SU794546 A1 SU 794546A1 SU 782596680 A SU782596680 A SU 782596680A SU 2596680 A SU2596680 A SU 2596680A SU 794546 A1 SU794546 A1 SU 794546A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
frequency
inertial mass
piezoaccelerometer
output
electrodes
Prior art date
Application number
SU782596680A
Other languages
English (en)
Inventor
Владимир Владимирович Малов
Владимир Давидович Козловский
Валерий Николаевич Симонов
Original Assignee
Предприятие П/Я Х-5332
Московский Ордена Трудовогокрасного Знамени Инженерно- Физический Институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Х-5332, Московский Ордена Трудовогокрасного Знамени Инженерно- Физический Институт filed Critical Предприятие П/Я Х-5332
Priority to SU782596680A priority Critical patent/SU794546A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU794546A1 publication Critical patent/SU794546A1/ru

Links

Description

1
Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  механических величин, в частности линейных И вибрационных ускорений .
Известны пьезоакселерометры с частотным ВЫХОДОМ, выполненные на основе перестраиваемых по частоте пьезоэлектрических резонаторов с присоединенной инерционной массой.
Акселерометр включает закрепл емые в корпусе прибора силочувствительные пьезорезонаторы и взаимодействующие с резонаторами элементы упругого подвеса с закрепленными на них инерционными массами. Элементы упругого подвеса инерционной массы обеспечивают передачу к пьезорезонаторам усилий, пропорциональных ускорени м вдоль оси чувствительности 1.
Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому  вл етс  пьезоакселерометр , содержащий консольный упругий элемент, инерционную массу и два пьезорезонатора, включенные в качестве частотно-задающих элементов в автогенераторы , выходы которых подключены к схеме формировани  сигнала разностной частоты ,{2.
Недостатком его  вл етс  мала  крутизна преобразовани  ускорени  в частоту. Крутизна преобразовани  пьезоакселерометра пр мо пропорциональна инерционной массе и силовой чувствительности пьезорезонатора . Увеличение инерционной массы приводит к ут желению акселерометра , что нежелательно при измерении и анализе механических колебаний легких объектов.
Цель изобретени  - увеличить крутизну
преобразовани  пьезоакселерометра при
сохранении величины инерционной массы
и полосы рабочих частот.
Поставленна  цель достигаетс  тем, что
на две противоположные боковые поверхности инерционной массы, перпендикул рные к оси чувствительности, и на две параллельные этим поверхност м стенки корпуса нанесены электроды, при этом один
из электродов на корпусе соединен с одним из пьезорезонаторов, второй электрод соединен с другим пьезорезонатором, а электроды -на инерционной массе объединены между собой и соединены с земл ной шиной .
На фиг. 1 представлена конструкци  пьезоакселерометра; на фиг. 2 - электрическа  схема. Предлагаемый пьезоакселерометр содержит основание 1, упругий элемент 2, в котором закреплены два пьезорезонатора 3 и 4, инерционную массу 5, корпус 6. На боковые поверхности инерционной массы 5, перпендикул рные к оси чувствительности, нанесены электроды 7 и 8. Две пары электродов 7, 9 и 8, 10 образуют два воздушных конденсатора Ci и Са. Электрод 9 конденсатора Сь наход щийс  на корпусе, соединен с одним из выводов пьезорезонатора 3. Электроды 7 и 8 конденсаторовCi и Cz объединены и (соединены с земл ной шиной. Цепь, состо ща  из последовательно соединенных конденсаторов С и пьезорезонатора 4, включена в качестве частотно-задающего элемента в автогенератор И, а включенные последовательно конденсатор Cz и пьезорезонатор 3  вл ютс  частотно-задающими элементами автогенератора 12. Входы схем автогенераторов И и 12 подключены к схеме формировани  разностной частоты 13.
Предлагаемый цьезоакселерометр работает следующим образом.
Под действием ускорени  вдоль оси чувствительности- происходит изгиб консольного упругого элемента 2, жестко св занного с инерционной массой 5. Изгиб упругого элемента приводит к деформации пьезорезонаторов 3 и 4 и вызывает изменение частоты пьезорезонаторов, что- приводит к аналогичному изменению частоты автогенераторов . Одновременно, благодар  перемещению электродов 7 и 8, расположенных на инерционной массе 5, происходит увеличение (уменьшение) межэлектродного
рассто ни  конденсаторов GI и Cz. Это в свою очередь приводит к увеличению (уменьшению) частоты соответствующих автогенераторов 11 и 12.
Суммарный эффект от изменени  частоты автогенераторов приводит к увеличению крутизны преобразовани  пьезоакселерометра .. .

Claims (2)

1.Малов В. В. Пьезорезонаторные датчики . М., Энерги , 1972, г. V.
2.Авторское свидетельство СССР № 573757, кл. G 01 Р 15/08, 1975 (прототип ).
SU782596680A 1978-03-31 1978-03-31 Пьезоакселерометр с частотнымВыХОдОМ SU794546A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU782596680A SU794546A1 (ru) 1978-03-31 1978-03-31 Пьезоакселерометр с частотнымВыХОдОМ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU782596680A SU794546A1 (ru) 1978-03-31 1978-03-31 Пьезоакселерометр с частотнымВыХОдОМ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU794546A1 true SU794546A1 (ru) 1981-01-07

Family

ID=20756213

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU782596680A SU794546A1 (ru) 1978-03-31 1978-03-31 Пьезоакселерометр с частотнымВыХОдОМ

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU794546A1 (ru)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4751849A (en) * 1986-06-17 1988-06-21 Paroscientific, Inc. Force-sensitive resonator load cell
US4881408A (en) * 1989-02-16 1989-11-21 Sundstrand Data Control, Inc. Low profile accelerometer
US4945765A (en) * 1988-08-31 1990-08-07 Kearfott Guidance & Navigation Corp. Silicon micromachined accelerometer
US5170665A (en) * 1989-08-08 1992-12-15 Denis Janiaud Accelerometric sensor with flectional vibratory beams

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4751849A (en) * 1986-06-17 1988-06-21 Paroscientific, Inc. Force-sensitive resonator load cell
US4945765A (en) * 1988-08-31 1990-08-07 Kearfott Guidance & Navigation Corp. Silicon micromachined accelerometer
US4881408A (en) * 1989-02-16 1989-11-21 Sundstrand Data Control, Inc. Low profile accelerometer
US5170665A (en) * 1989-08-08 1992-12-15 Denis Janiaud Accelerometric sensor with flectional vibratory beams

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3238789A (en) Vibrating bar transducer
JP6196144B2 (ja) センサ素子および圧力センサ
SU794546A1 (ru) Пьезоакселерометр с частотнымВыХОдОМ
RU2692122C1 (ru) Твердотельный датчик линейных ускорений
KR100464297B1 (ko) 용량변화마이크로가속도계
SU569955A1 (ru) Пьезоакселерометр
US3101001A (en) Digital force transducer
SU779885A1 (ru) Частотный датчик виброускорений
SU871076A1 (ru) Датчик ускорени с частотным выходом
SU514243A1 (ru) Электрохимический акселерометр
SU482613A1 (ru) Устройство дл измерени перемещений
SU900191A1 (ru) Частотный датчик виброускорений
SU958979A1 (ru) Датчик ускорений
SU640213A1 (ru) Датчик ускорени с частотным выходом
Mary et al. Design and Simulation Studies on Linearised MEMS Capacitive Accelerometer
RU2132559C1 (ru) Способ измерения линейного ускорения и устройство для его осуществления
SU993006A2 (ru) Датчик перемещений
SU460502A1 (ru) Струнный акселерометр
SU645035A1 (ru) Трехкомпонентный вибропреобразователь
SU527665A1 (ru) Пьезоэлектрический акселерометр
SU847094A1 (ru) Пьезоэлектрический манометр
SU558189A1 (ru) Дифференциальный преобразователь механических усилий
SU573757A1 (ru) Частотный пьезоакселерометр
SU582464A1 (ru) Частотный датчик
SU1638637A1 (ru) Дифференциальный пьезорезонансный кварцевый измерительный преобразователь