SU573757A1 - Частотный пьезоакселерометр - Google Patents

Частотный пьезоакселерометр

Info

Publication number
SU573757A1
SU573757A1 SU7502307480A SU2307480A SU573757A1 SU 573757 A1 SU573757 A1 SU 573757A1 SU 7502307480 A SU7502307480 A SU 7502307480A SU 2307480 A SU2307480 A SU 2307480A SU 573757 A1 SU573757 A1 SU 573757A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
frequency
elastic element
piezoaccelerometer
cantilever elastic
resonator
Prior art date
Application number
SU7502307480A
Other languages
English (en)
Inventor
Михаил Сергеевич Хлыстунов
Original Assignee
Всесоюзный Научно-Исследовательский Институт Геофизических Методов Разведки (Вниигеофизика)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Всесоюзный Научно-Исследовательский Институт Геофизических Методов Разведки (Вниигеофизика) filed Critical Всесоюзный Научно-Исследовательский Институт Геофизических Методов Разведки (Вниигеофизика)
Priority to SU7502307480A priority Critical patent/SU573757A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU573757A1 publication Critical patent/SU573757A1/ru

Links

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Combined Means For Separation Of Solids (AREA)

Description

(54) ЧАСТОТНЫЙ ПЬЕЗОАКСЕЛЕРОМЕТР
ным кольцом 9 и накидной гайкой 10, В конструкции предусмотрена трубка 11 дл  вакуумировани  внутренней полости датчика, U также апектроды 12 дл  включени  резонаторов в схему регистратора.
Принцип действи  датчика заключаетс  в следующем.
Измер емое ускорение посредством инерционней массы 7 создает через консоль 6 ha упругом элемеите 2 нагибные деформации . Так как иэгибна  жесткость перемычки 3 мала, оснсшна  часть нагрузки будет подана на резонаторы. При указанном на чертеже шправленвн ускорени  резонатор 5 сжимаетс , а резонатор 4 pactHrHBaercHi что обеспечивает дифференциальность дат-чика . При этом резонансна  частота одного из пьезоре зона торов уменьшаетс , а другого ува1шчиваетс . Это может быть зарегистрировано включением резонагоров
в любую из известных схем автогенераторов в качестве частогозадаюших элемент.

Claims (2)

  1. Формула изобретени 
    Частотный пьезоаксе ерометр, ссаержащий /корпус, консольный упругий элемент, основание, инерционную массу и два пьез1 резонатора , отличающийс  тем, что, с целые увеличени  динамического диапазона и чувствительности, на противоположных гран х консольного упругого элемента выполнены поперечные проточки, на укреплены пьезорезсжаторы, Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе:
    1„ Патент США, № 3.386.292, i кл. НО ЗВ, опубл. 1968.
  2. 2. Лвторскск) свидетельство СССР, № 296037, кл. Q DIP 15/08, 1971.
    ,.J...,
    -7
SU7502307480A 1975-12-22 1975-12-22 Частотный пьезоакселерометр SU573757A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU7502307480A SU573757A1 (ru) 1975-12-22 1975-12-22 Частотный пьезоакселерометр

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU7502307480A SU573757A1 (ru) 1975-12-22 1975-12-22 Частотный пьезоакселерометр

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU573757A1 true SU573757A1 (ru) 1977-09-25

Family

ID=20643318

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU7502307480A SU573757A1 (ru) 1975-12-22 1975-12-22 Частотный пьезоакселерометр

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU573757A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4479385A (en) Double resonator cantilever accelerometer
JPS5954916A (ja) 物理量を測定するためのセンサ
US10429405B2 (en) Vibrating beam accelerometer
Chao et al. An aluminum nitride on silicon resonant MEMS accelerometer operating in ambient pressure
US20010054313A1 (en) Low radiation capture cross-section electrode material for prompt radiation environments
Shin et al. A dual-axis resonant accelerometer based on electrostatic stiffness modulation in epi-seal process
SU573757A1 (ru) Частотный пьезоакселерометр
SU1069642A3 (ru) Устройство дл измерени колебаний
Taïbi et al. SWaP reduction for high dynamic navigation grade accelerometer based on quartz VBA technology
SU794546A1 (ru) Пьезоакселерометр с частотнымВыХОдОМ
RU2693030C1 (ru) Двухосевой микромеханический акселерометр
SU392410A1 (ru) Датчик ускорения с частотным выходом
SU823912A2 (ru) Датчик давлени
SU552562A1 (ru) Пьезоэлектрический акселерометр
SU527665A1 (ru) Пьезоэлектрический акселерометр
SU853551A1 (ru) Датчик ускорений
KR101083952B1 (ko) 진행파를 이용한 표면탄성파 자이로스코프 및 각속도 측정 방법
SU779885A1 (ru) Частотный датчик виброускорений
SU1647410A1 (ru) Датчик виброускорений
SU1030734A1 (ru) Акселерометр
SU558220A1 (ru) Пьезоэлектрический акселерометр
SU1004784A1 (ru) Емкостный преобразователь давлени
SU535512A1 (ru) Акселерометр
SU726481A1 (ru) Датчик ускорений
SU1677644A1 (ru) Акселерометр