SU573757A1 - Частотный пьезоакселерометр - Google Patents
Частотный пьезоакселерометрInfo
- Publication number
- SU573757A1 SU573757A1 SU7502307480A SU2307480A SU573757A1 SU 573757 A1 SU573757 A1 SU 573757A1 SU 7502307480 A SU7502307480 A SU 7502307480A SU 2307480 A SU2307480 A SU 2307480A SU 573757 A1 SU573757 A1 SU 573757A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- frequency
- elastic element
- piezoaccelerometer
- cantilever elastic
- resonator
- Prior art date
Links
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Combined Means For Separation Of Solids (AREA)
Description
(54) ЧАСТОТНЫЙ ПЬЕЗОАКСЕЛЕРОМЕТР
ным кольцом 9 и накидной гайкой 10, В конструкции предусмотрена трубка 11 дл вакуумировани внутренней полости датчика, U также апектроды 12 дл включени резонаторов в схему регистратора.
Принцип действи датчика заключаетс в следующем.
Измер емое ускорение посредством инерционней массы 7 создает через консоль 6 ha упругом элемеите 2 нагибные деформации . Так как иэгибна жесткость перемычки 3 мала, оснсшна часть нагрузки будет подана на резонаторы. При указанном на чертеже шправленвн ускорени резонатор 5 сжимаетс , а резонатор 4 pactHrHBaercHi что обеспечивает дифференциальность дат-чика . При этом резонансна частота одного из пьезоре зона торов уменьшаетс , а другого ува1шчиваетс . Это может быть зарегистрировано включением резонагоров
в любую из известных схем автогенераторов в качестве частогозадаюших элемент.
Claims (2)
- Формула изобретениЧастотный пьезоаксе ерометр, ссаержащий /корпус, консольный упругий элемент, основание, инерционную массу и два пьез1 резонатора , отличающийс тем, что, с целые увеличени динамического диапазона и чувствительности, на противоположных гран х консольного упругого элемента выполнены поперечные проточки, на укреплены пьезорезсжаторы, Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе:1„ Патент США, № 3.386.292, i кл. НО ЗВ, опубл. 1968.
- 2. Лвторскск) свидетельство СССР, № 296037, кл. Q DIP 15/08, 1971.,.J...,-7
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU7502307480A SU573757A1 (ru) | 1975-12-22 | 1975-12-22 | Частотный пьезоакселерометр |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU7502307480A SU573757A1 (ru) | 1975-12-22 | 1975-12-22 | Частотный пьезоакселерометр |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU573757A1 true SU573757A1 (ru) | 1977-09-25 |
Family
ID=20643318
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU7502307480A SU573757A1 (ru) | 1975-12-22 | 1975-12-22 | Частотный пьезоакселерометр |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU573757A1 (ru) |
-
1975
- 1975-12-22 SU SU7502307480A patent/SU573757A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4479385A (en) | Double resonator cantilever accelerometer | |
JPS5954916A (ja) | 物理量を測定するためのセンサ | |
US10429405B2 (en) | Vibrating beam accelerometer | |
Chao et al. | An aluminum nitride on silicon resonant MEMS accelerometer operating in ambient pressure | |
US20010054313A1 (en) | Low radiation capture cross-section electrode material for prompt radiation environments | |
Shin et al. | A dual-axis resonant accelerometer based on electrostatic stiffness modulation in epi-seal process | |
SU573757A1 (ru) | Частотный пьезоакселерометр | |
SU1069642A3 (ru) | Устройство дл измерени колебаний | |
Taïbi et al. | SWaP reduction for high dynamic navigation grade accelerometer based on quartz VBA technology | |
SU794546A1 (ru) | Пьезоакселерометр с частотнымВыХОдОМ | |
RU2693030C1 (ru) | Двухосевой микромеханический акселерометр | |
SU392410A1 (ru) | Датчик ускорения с частотным выходом | |
SU823912A2 (ru) | Датчик давлени | |
SU552562A1 (ru) | Пьезоэлектрический акселерометр | |
SU527665A1 (ru) | Пьезоэлектрический акселерометр | |
SU853551A1 (ru) | Датчик ускорений | |
KR101083952B1 (ko) | 진행파를 이용한 표면탄성파 자이로스코프 및 각속도 측정 방법 | |
SU779885A1 (ru) | Частотный датчик виброускорений | |
SU1647410A1 (ru) | Датчик виброускорений | |
SU1030734A1 (ru) | Акселерометр | |
SU558220A1 (ru) | Пьезоэлектрический акселерометр | |
SU1004784A1 (ru) | Емкостный преобразователь давлени | |
SU535512A1 (ru) | Акселерометр | |
SU726481A1 (ru) | Датчик ускорений | |
SU1677644A1 (ru) | Акселерометр |