SU775061A1 - Легкоплавкое стекло - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к легкопла ким -составам стекол, обладающих комплексом физико-химических свойст необходиых дл  защиты отдельных уча стков интегральных схем,работающих в услови х повышенных механических нагрузок, а также в качестве химиче кой изол ции полупроводниковых приборов . Известно легкоплавкое стекло, включающее,.вес.%. и кроме того, 1-3 0,5-3,5 iL Наиболее близко по составу к изо ретению легкоплавкое стекло, включа щее, вес.%: 14 63 16 ,5 2 . Данное стекло имеет КЛТР равный ( 72+1,5 ) 10 град1 износоустойчи .вость (потсрп веса) - 2,4-3 г/сп л температуру разм гчени  415±10 С, т.пл. . Однако указанные стекла содержат значительное количество окиси свинца, а также не обладают достаточной износоустойчивостью , . Цель изобретени  - повышение износоустойчивости стекла. Указанна  цель достигаетс  тем, что стекло дополнительно содержит при следующем соотношении компонентов , вес.% 2,5-7,98 4,5-10,0 1,5-9 80-в5 Замена окиси свинца на окись висмута позвол ет значительно увеличить химстойкость, износоустойчивость стекла и сйизить его коррозионное воздействие на огнеупор при варке. Предлагаемое стекло вар т при , выроЕбатывают и измельчают. Защитное покрытие из предлагаемого стекла наноситс  на кремниевую подложку методом соосаждени  центрифугированием . Толщина пленки находитс  в пределах 1,5-2 мкм. Температура растекани  покрыти  составл ет 520555 С . Внешний вид покрыти  характрризуетс  равномерной блест щей поверхностью . Поры и включени  отсутствуют .

Предлагаемое легкоплавкое стекло по сравненик с прототипом обладает почти в б раз более высокой износоустойчивостью , повышенной химическо устойчивостью {1 гидролитический класс), хорошими технологическими

(Свойствами Оно может использоватьс  в электронно-вычислительных устройствах дл  защиты отдельных интегральных схем, работанэди в контакте с движущи ущс  , элементами (бумагой - др) , а также в качестве химически устойчивых тонкогшеночных (1/52 мкм) покрытий полупроводниковых приборов.

Химический состав и свойства предлагаемых стекол приведены в таблице..

Компоненты, вес.% 5%

ВгОэ

ZnO Свойства

Коэффициент теплового рас ширени , d. 10 град.

Температура начала разм гчени , °с

Химическа  устойчивость потери веса в % в воде (ГОСТ 10134-62)

Кристаллизационна  способность стекол в интервале температур 400-1000 с

Температура оплавлени ,°С

Температура растекани  покрыти  из порошкообразного стекла, °С

Удельное электрическое сопротивление при ,

Применение предлагаемого стекла в качестве защитных износостойких покрытий интегральных схем в электронно-вычислительных устройствах и химически устойчивых изолирующих покрытий позволит увеличить надежность и долговечность электронных приборов.

0,02

0,04

0,08

КристалКристаллов нет лов нет

480

450

550

520

Claims (2)

1. Формула изобретени 

   «

   Легкоплавкое стекло, включающее

   SiO«

   В,О

   ZnO, отличающеег 3

   с   тем, 4Td, с целью повышени  износоустойчивости ,, оно дополнительно содержит при следующем соотноше5 НИИ компонентов, вес.% S StOj 2,5-7,98 4/5-10,0 ZnO 1,5-9 80-85 Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 775061 6 1. Петрова В.З. и др. Легкоплавкие стекла. Сб. научных трудов по . приблемам микроэлектроники (техн. сери ). М., МИЭМ, 1969, с. 333-340.
2. 2. Павлушкин Н.М. и Журавлев А.К. $ Легкоплавкие стекла, М., 1970, с. 108,