SU731492A1

SU731492A1 - Method of manufacturing carbon replicas

Info

Publication number: SU731492A1
Application number: SU782691688A
Authority: SU
Inventors: Петр Егорович Комиссаров
Original assignee: Всесоюзный научно-исследовательский институт минерального сырья
Priority date: 1978-12-04
Filing date: 1978-12-04
Publication date: 1980-04-30

Description

строгом соответствии с углом напылени . Происходит напыление образца углем в течение 3 с. Далее отключают вакуумную установку, вынимают камеру с образцом из-под колокола, закрывают верхнюю часть камеры сн тым ранее предметным стеклом. Затем, сн в боковое предметное стекло, обращенное к источнику напылени , камеру с образцом снова помещают на рассто нии 130 мм от испарител под колоколом вакуумной установки. Угол напылени 45°. Производ т откачку воздуха до 10 тор, импульс тока 70А и в течение трех секунд повтор ют процесс напылени . После этого образец вынимают из камеры, на напыленную поверхность его нанос т теплый желатин , высушивают, снимают желатиновую пленку и отмывают в теплой воде.strict compliance with the spray angle. The sample is sprayed with carbon for 3 s. Next, turn off the vacuum unit, remove the chamber with the sample from under the bell, close the upper part of the chamber with the previously removed slide. Then, in the side glass slide facing the sputtering source, the chamber with the sample is again placed at a distance of 130 mm from the evaporator under the bell of the vacuum unit. Spray angle 45 °. Air is pumped out to 10 Torr, a current pulse of 70 A, and the spraying process is repeated for three seconds. After that, the sample is removed from the chamber, warm gelatin is applied to the sprayed surface, dried, the gelatinous film is removed and washed in warm water.

Как показали испытани , использование изложенного способа позвол ет в 2-3 раза уменьщить размеры зерен в реплике. Так, при реализации известного способа, зернистость наблюдалась при увеличении 20000. При реализации же предложенного способа она про вл етс лишь при увеличении 50000. Таким образом, значительно повышаетс разрешающа способность . Кроме того, использование йредложен ного способа пбзвол ет устранить искажение поверхности рельефа образца.As tests have shown, the use of the described method allows to reduce the size of grains in a replica by a factor of 2-3. Thus, with the implementation of the known method, the granularity was observed with an increase of 20,000. With the implementation of the proposed method, it appears only with an increase of 50,000. Thus, the resolving power significantly increases. In addition, the use of the proposed method allows one to eliminate the distortion of the surface of the sample relief.

Claims

1. A method of making carbon replicas by placing samples in a vacuum chamber, pumping it out and spraying coal on the surface of the sample in a vacuum, characterized in that, in order to reduce the graininess of the surface of the replicas produced in glass chambers, by reducing the proportion of coal particles in the condensate , reflected from the walls of the chamber, before evacuating the inner walls of the chamber are covered with a substance that absorbs coal particles.

2. A method according to claim 1, characterized in that the inner walls of the chamber cover

a solution of 98% alcohol and 2% rosin.

Sources of information taken into account in the examination 1. G. Schimmel. Methods of electron microscopy, M., Mir, 1972, p. 119. 2. Gritsaenko G. S., et al. Electron Microscopy Technique, M., “Science, 1969, p. 82 (prototype).