SU711396A1 - Способ определени степени загр знени электродов манометрических преобразователей - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к вакуумной технике и может быть использовано при измерени х давлени  в вакуумных системах в постах откачки при проведении технологических процессов.

В современных технологических постах откачки ЭВП примен ютс  как электрофизические , так и паромасл ные насосы . Во врем  откачки происходит газовьзделение из откачиваемых приборов, а также проникновение в откачиваемый прибор паров масла из насосов, что приводит к загр знению вакуумной системы и приборов, в том числе манометрического преобразовател .

Известны способы определени  степени загр зненности электродов с помощью уменьшени  скорости откачки 1. Чтобы определить степень загр зненности, по этому способу уменьшают скорость откачки и по изменению давлени  во времени суд т о загр знении,

Известен также способ вспыхивающей нити , предложенный Апкером 2. Сущность способа заключаетс  в том, что десорбционную нить, очень твдательно обезгаженную при высокой температуре, сначала охлаждают, адсорбиру  газ, и непосредственно вслед за этим медленно нагревают. По пикам давлени  при десорбции дл  данной температуры нити можно определить качественно вьвдел емые газы.

Недостатками известных способов SIBл ютс  сложность конструкции вакуумной установки и низка  чувствительность измерений ..

Указанные недостатки частично устранены в способе.контрол  загр знени  электродов з. В этом способе на электроды подают импульсное напр жение с очень короткой длительностью импульса (длительность импульса определ етс  временем , которое необходимо дл  по влени  зар да на диэлектрической пленке, покрывающей электрод) и только после сн ти  напр жени  регистрируют ток автоэлектронной эмиссии. Этот ток получаетс  за счет большого элактрического пол , созданного зар дом на тонкой непровод щей диэлектрика.

Недостатком такого способа  вл етс  невозможность его использовани  при работающем манометрическом преобразователе .

Целью изобретени   вл етс  проверка степени загр знени  работающего преобразоват л .

Поставленна  цель достигаетс  тем, , что по предлагаемому способу определени  степени загр знени  электродов монометрических преобразователей, .заключающемус .  в воздействии импульсного. 15 в

.напр жени  и измерении разр днохч) тока . измер ют амплитудное и установ1шшеес . значени  разр дного тока, определ ют их отношение и по нему суд т о степени загр знени  электродов.

Пpи щипиaльнoe отличие предлагаемых операций заключаетс  в том, что подаетс напр жение с крутым начальным фронтом , зажигаетс  газовый разр д в скрещенных электрическом и магнитном пол х , измерение амплитудного и установившегос  значений токов провод т при включенном напр жении питани , производитс  сравнение значений этих токов.

На фиг. 1 пp meдeнa схема, иллюстрирующа  действие указанного способа. Здесь 1 и 2 - .электроды преобразовател  , 3 - источник питани , 4 - усилитель В - махшитное поле.

На фиг. 2 (а,6} приведены осцшшограммы изменени  разр дного тока при включении напр лсени  питани  с крутым начальным фронтом. Здесь 5 - изменение напр51жени  питани , 6 - измепе1 ие разр дного тока во времени.

На фиг. 3 приведены осциллограммы изменени  разр дного тока. Здесь 7 изменение напр лсени  питани , 8 - изменение разр дного тока после выдержки прибора в вьйлюченном состо нии в течение времени Ь , 9 - установившеес  значение разр дного тока.

Реализаци  способа производитс  следующим- образом.

От источника 3 подаетс  напр жение питани  с крутым, начальным фронтом. Между электродами 1 и 2 возникает газовый разр д в скрещенных магнитном и электрическом пол х. Под действием ионной бомбард1фовки молекулы, сорбированные на поверхности электродов, десорб руютс  частично в виде нейаролов , частично в виде ионов; нейтральны

молекулы в СБОЮ очередь ионизируютс  в рабочем объеме газового разр да. Так как десорбци  не происходит мгновенно, то ток разрвда будет иметь врем  уста-

новленн , завис щее от степени загр зненности , т.е. числа молекул, сорбированных на электродах. Таким образом по характеру изменени  разр дного тока (осциллограммы на фиг. 2а и б) можно

судить о степени загр зненности манометрического преобразовател .

В случае чистой вакуумной системы и манометрического преобразовател  разр дный ток имеет незначительный выброс

сразу принимает значение, соответствующее установившемус  режиму (фиг.2а).

В случае загр зненной вакуумной системы разр дный ток плавно достигает своего максимального значени  и плавно уменьшаетс  к своему установ1{вшемус  значению (фиг.26). Врем  достижени  установившегос  значени  разр дного тока зависит от степени загр зненности. Дл  оценки парциального давлени  загр зн ющих примесей измер ют установившеес  значение разр дного тока, затем прибор включают и выключают через интервал времени ЛЬ , регистриру  изменение разр днохх) тока (см фиг. 3). По изменению токов определ ют:

AlCi -l2(iM C-fe%

гдо 1,, (t) - интегральное значение

тока I за врем  Д-t; 1л (t) - интеграшэное значение

тока I- за врем  Д-Ь, Давление загр зн ющих примесей в вакуумной системе можно оценить, пользу сь выражением

р- 1 (1

где К - чувствительность манометрического преобразовани  в данном диапазоне давлени ;

uit - врем  вьщержки. Использование предлагаемого способа позвол ет судить о чистоте всей вакуумной системы и обеспечит по сравнению с существующими способами преимущественно:

контроль чистоты поверхности электродов без отключени  прибора от вакуумной .системы;

отсутствие дополнительных устройств (вентилей и шлифов); начальный момент, после которого он

коптрошз частоты электродов преобразователей открытого типа;

оценку парциального давлени  загр з н ющих примесей.

Все это повысит надежность, долговечность и качество откачиваемых приборов , снизит брак, упростит и удешевит конструкцию вакуумной систексы.

Форму л ii изобретени 

Способ определени  степени загр знени  электродов манометрических преобразователей , заключающийс  в воздействии импульсного напр жени  питани  и измерении разр дного тока, о т л и «; а ю ш и и с   тем, что, с целью обеспечени  определени  загр знени  работающего преобразовател , измер ют амплитудное и установившеес  значени  разр дного тока, определ ют их отношение и по нему суд т о степени загр зненности электродов.

Источншси информации, прин тые во внимание при экспертизе

1.НичипорЬвич Г. А. и Ханина И. Ф. Исследование поверхностных процессов на электродах высоковакуумных манометров и режимов обезгаживанй , уменьшающих вли ние этих процессов ка точ ность измерени . Электронна  техника. Сер. 4. дЭлектровшсуумные и газоразр дные приборы. 1974, вып. 1, с. 49.

2.Треиделенбург Э. Сверхвысоккй вакуум. Мир, 1966, с. 146-149.

3.Раховский В. И. Физические основы коммутации электрического тока в вакууме. Наука, 1970, с. 36-40 (прототип).

Claims (3)

Формула изобретения Способ определения степени загрязнения электродов манометрических преобразователей, заключающийся в воздействии импульсного напряжения питания и измерении разрядного тока, отличающийся тем, что, с целью обеспечения определения загрязнения работающего преобразователя, измеряют амп литудное и установившееся значения разрядного тока, определяют их отношение и по нему судят о степени загрязненности электродов. 5 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Ничипорович Г. А. и Ханина И. Ф. Исследование поверхностных процессов на электродах высоковакуумных мано10 метров и режимов обезгаживания, уменьшающих влияние этих процессов на точность измерения. Электронная техника. Сер. 4. „Электровакуумные и газоразрядные приборы.* 1974, вып. 1, с. 49.

¹⁵

2. Тренделенбург Э. Сверхвысокий вакуум. Мир, 1966, с. 146-149,

3. Раховский В. И. Физические основы коммутации электрического тока в вакууме. Наука, 1970, с. 36-40 ²⁰ (прототип).

Фиг. 2

ЦНИИПИ Заказ 8998/28 Тираж |0ί9

Подписное

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4