SU830171A1 - Плазменный течеискатель - Google Patents

Description

(54) ПЛАЗМЕННЫЙ ТЕЧЕИСКАТЕЛЬ

изобретение относитс  к вакуумной технике, в частности к приборам дл  обнаружени  вакуумных течей, и предназначено дл  контрол  герметичности электровакуумных приборов (ЭВП) малых размеров.

Известен течеискатель, принцип действи  которого основан на изменении скорости рекомбинации плазмы газо&ого разр да в зависимости от концентрации молекул электроотрицательного газа l.

Известен также плазменный течеискатель , содержащий натекатель и газоразр дную трубку, соединенные с откачной системой, высокочастотный генератор, подключённый к системе электродов, расположенных на оболочке газоразр дной трубки. В газоразр дной трубке данного прибора с помощью откачной система, откачивающей поступающий из натекател  воздух, поддерживаетс  давление на уровне нескольких торр, что создает услови  дп  возникновени  газового разр да при подаче на электроды высокочастотного напр жени  2,

Образование газоразр дной плазмы вызывает изменение парс1метров межэлектродного зазора, привод щее к

срыву высокочастотной генерации и погасанию разр да. Возобновление генерации становитс  возможным после распада плазмы в результате рекомбинации носителей зар да. Процесс воэобновле-ни  и срыва высокочастот Юй генерации носит периодический характер. Частота процесса фиксируетс  регистрирующим прибором. Попадание в зону разр да

0 электроотрицательного газа, которым предварительно заполн ют контролируемый вакуумный прибор, приводит к увеличению скорости рекомбинации плазмы и, следовательно, к увеличению

5 частоты указанного процесса. Данный течеискатель предназначен дл  поиска местонахождени  стационарных течей и не позвол ет ввиду трудоемкости процесса быстро удостоверитьс  в

0 герметичности прибора в целом. Кроме того, чувствительность такого течеискател  невелика, так как в зону разр да попадает только часть молекул электроотрицательного газа, поступаю5 щих из контролируемого прибора в атмосферу .

Цель изобретени  - повышение чувствительности течеискател  и контроль интегральной герметичности электровакуумных приборов, исключение вли ни  емкости электровакуумного прибора на емкость межэлектродного зазора .

Поставленна  цель достигаетс  тем« что в плазменном течеискателе, содержащем натекатель и газоразр дную трубку, соединенные с откачной системой, высокочастотный генератор подключенный к системе электродов, расположенных на оболочке газораз .р дной трубки, между .натекателем и газоразр дной трубкой расположена герметична  полость, предназначенна  дл  размещени  электровакуумного прибора.

Кроме того, с целью исключени  вли ни  емкости электровакуумного прибора на .емкость межэлектродного зазора S плазменном течеискателе рассто ние ме оду герметичной полостью и электродами превышает удвоенный зазор между электродами.

На чертеже представлена схема течеискатеЛ .

Течеискатель содержит натекатель 1, газоразр дную трубку 2, высомо 1астотный генератор 3, регистрирующи прибор 4 и откачную систему 5. На стенках газоразр дной трубки, выполненной из стекла, размещены электроды 6. Между натекателем и згазоразр дной трубкой располо  ена герметична  полость 7, .предназначенна  дл  установки ЭВП 8. Рассто ние между герметичной полостью и электродами газоразр дной трубки превышает удвоенный зазор а меаду электродд.ми.« : Перед началом испытаний ЭВП на герметичность теченскатель капибру т по чистому воздуху. Затем ЭВП 8, заполненный контрол ым Ьазом, размещают в полости 7, производ т откачку внутренних объемов течеискател  и подают высокочастотное напр Жение на электроды 6.

В случае негерметичности ЭВП практически все молекулы электроотрицательного газа, выделившиес  из объема ЭВП, поступают в зону разр  да , что приводит к увеличению скорости рекомбинации плазмы и повышению частоты периодического процесса срыва и возобновлени  высокочастотной генерации. Изменение сигнала, фиксируемого регистрирующим прибором, по сравнению с калиброванным сигналом свидетельствует о негерметичности ЭВП.

Применение данного течеискател  позвол ет повысить чувствительность контрол  герметичности ЭВП малых размеров 117 - мкм.рт.ст./с, значительно увеличить надежность контрол  и существенно сократить врем  испытаний.

Claims (2)

1.Плазменный течеискатель, содержащий натёка ель и газоразр}здную трубку, соединенные с откачной системой , высокочастотный генератор, подключенный к системе электродов, расположенных на оболочке газоразр дной трубки, отличающийс   тем, что, с целью повьииени  чувствительности течеискател  и контрол  интегральной герметичности элекровакуумных приборов, между натекателем и газоразр дной трубкой расположена герметична  полость, предназ.наченна  дл  размещени  электровакуумного прибора.

2.Течеискатель по п.1, отличающийс  тем, что, с целью исключени  вли ни  емкости электровакуумного прибора на емкость межэлектроднрго зазора, рассто ние между герметичной полостью и электродами превышает удвоенный зазор между

электродами.

Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе

1. Патент Швейцарии № 558936, кл. G 01 М 3/40, G 01 N 27/62,. опублик. 1975.

2. Авторское свидетельство СССР по за вке 264693/25-28, кл. G 01 N 27/62, 1972 (прототип).