SU705561A1 - Геттерный насос - Google Patents

Description

(54) ГЕТТЕРНЫЙ НАСОС

. , I Изобретение относитс  к вакуумной технике, в частности к геттерным нас.осам . Известны геттерные насосы, содержа щие корпус и размещенный в них испаритель . На испаритель подаетс  напр жение, обеспечивающее нагрев и распыление геттера. Геттер образует на охлаждаемых стенках корпуса пленку, сорбирующую молекулы газа 1. При работе насоса в откачиваемый объем могут проникать молекулы испар  емого геттера, что в р де случаев недопустимо . Известны также геттерные насосы, содержащие корпус и размещенные в нем испаритель и защитный экран 2. . Этот насос  вл етс  наиболее близким к предложенному по технической сущност Однако наличие в нем неподвижного защитного экрана существенно ограничивает быстроту откачки насоса и не обеспечивает надежной защиты откачнваемого объема от паров геттера, что снижает предельное разрежение насоса. Целью изобретени   вл етс  повышение предельного разрежени  и быстроты откачки насоса. Это достигаетс  тем, что в предложенном насосе экран выполнен в виде взаимоперекрывающгосс  кольца, жестко закрепленного на стенке корпуса, и двух полудисков, устанЬвленных с возможностью перемещени  в направлении перпендикул рном к оси корпуса. На чертеже схематически изображен предложенный насос. Геттерный насос содержит корпус 1 и размещенный в нем испаритель 2 и защитный экран. Экран выполнен в виде взаимоперекрывающихс  кольца 3, жестко закрепленного на стенке корпуса 1, и двух полудисков 4, установленных с возможностью пёрёмейхени  в направлении перпендикул рном к оси корпуса 1. Насос работает, следующим образом.