SU537193A1 - Криогенный сверхвысоковакуумный насос - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к области вакуумной техники.

Известен криогенный высоковакуумный насос , содержащий корпус с размещенными в нем охлаждаемым радиационным экраном и криопанелью.

Дл  охлаждени  экрана и криопанели в известном насосе используют различные хладагенты , например жидкий азот и жидкий гелий . Кроме того, дл  охлаждени  криопанели примен ют гелиевую холодильную машину, что усложн ет эксплуатацию насоса.

Известен и другой криогенный сверхвысоковакуумный насос, содержащий корпус с патрубками дл  присоединени  вспомогательного насоса и откачиваемого объема и размещенные внутри корпуса охлаждаемый радиационный экран и криопанель. Этот  вл етс  наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату. Однако и в этом насосе необходимо применение двух хладагентов с различной температурой кипени , один из которых - л ;идкий гелий  вл етс  дорогосто щим газом и требует особых условий хранени .

Целью изобретени   вл етс  повыщение экономичности путем охлаждени  экрана и криопанели одним хладагентом, например жидким азотом, переохлажденным внутри криопанели вакуумированием его паров.

Указанна  цель достигаетс  тем, что радиационный экран выполнен в виде двухстенного цилиндрического сосуда с центральным отверстием дл  прохода газа, а с торцовых сторон

к сосуду подключены патрубки, герметично соединенные с криопанелью и магистралью дл  залива хладагента и вакуумировани  его паров.

На чертеже изображен предлагаемый насос,

продольный разрез.

Насос содержит корпус 1 с патрубками 2 и 3 дл  присоединени  соответственно вспомогательного насоса и откачиваемого объема и размещенные внутри корпуса 1 охлаждаемый

радиационный экран 4 и криопанель 5. Экран 4 выполнен в виде двухстенного цилиндрического сосуда с центральным отверстием дл  прохода газа, заполненного хладагентом 6. С торцовых сторон к сосуду подключены патрубки 7 и 8, герметично соединенные с криопанелью 5 и магистралью дл  залива хладагента 6 и вакуумировани  его паров. Насос работает следующим образом. В полости радиационного экрана 4 и криопанели 5 заливаетс  хладагент 6, например жидкий азот. Затем пространство над хладагентом 6 в объеме криопанели 5 вакуумируетс  и понижаетс  температура хладагента 6. При понижении температуры на поверхности

криопанели 5 начинаетс  процесс криооткачки.

Таким образом, описываемый насос позвол ет получать сверхвысокий вакуум при использовании дл  охлаждени  экрана и криопанели только одного хладагента, что повышает его экономичность.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Криогенный сверхвысоковакуумный насос, содержащий корпус -с патрубками дл  присоединени  вспомогательного насоса, например паромасл ного вакуумного насоса, и откачиваемого объема и размещенные внутри корпуса охлаждаемый радиационный экран и крйопанель , отличающийс  тем, что, с целью повышени  экономичности путем охлаждени  экрана и криопанели одним хладагентом, например жидким азотом, переохлажденным внутри криопанели еакуумированием его паров , экран выполнен в виде двухстенного цилиндрического сосуда с центральным отверстием дл  прохода газа, а с тордовых сторон

   к сосуду подключены патрубки, герметично соединенные с криопанелью и магистралью дл  залива хладагента и вакуумировани  его паров .

   f -f X / f -1л