SU702378A1 - Цифрова машина дл управлени процессами электронно-лучевой микрообработки - Google Patents

Description

Изобретение касаетс  вычислительной техники и может быть использовано дл  автоматизированного управлени  процессами производства защитных масок и фотошаблонов и/ш непосредственно компо нентов интегральных схем на основе эли онной технологии. Известна цифрова  машина дл  управ лени  nponecfcaMH электроннолучевой микрообработки, содержаша  устройство управлени , блок трансмиттера, запоминающее устройство, блок управлени , буферное запоминакпдее устройств Влок выполнени  операций, блок управлени  координатным столом, блок совмещени  осей координат, блок отклонени , блок угловых преобразований изображений fl. С помощью такой машины осуществл етс  управление перемещением и моду л цией электронного пучка, перемещением координатного стола и точпым совмещением отдельнь1Х участков подложки по отношению к электронному пучку. В результате на подложке формируетс  изб б|эажение микроструктуры интегральной схемы, В этой машине, благодар  включению Б ее структуру средств, выполн ющих преобразование и интерпретацию геометрической информации реализуетх;   зык высокого уровн , позвол ющий значительно упростить процесс Iпрограммировани  и сократить количество вводимой информации особенно дл  схем с периодической регул рной структурой . Наиболее близкой по технической сущности к; предложенной  вл етс  машина , содержаща  блоки ввода информа Й1И , пам ти, интерпретации, анализа поворотов, буферное запоминающее устройство и процессор; соединенные кодовой шиной и шинами управл ющих сит налов , блок коррекции, соединенный двухсторонними св з ми с процессором и подключенный управл ющим и информационным входами соответственно к выходу блока управлени  и к первому информационному входу машины, выходы блока коррекции подключены соответственно к первым входам, блока отклонени  и блока управлени  приводами координатного стола, второй вход Которого соединен со вторым информационым входом машины выходы блока травлени  приводами координатного стола подключены cooTBeiw ственйо к первому и второму утфавл - 1ащим выходам машины, блок управпе )зи  приводами координатного ртода соединен двухсторонними св з ми с иро цессором, выходы которого подключены cooTBeit BeHHo к третьему, четвертому и п тому управл ющим выходам машины блок контрол  токов отклонени  и блок отклонени  соединены .двухсторонними св з ми с процессором, входы блока контрол  токов .отклонени  соединены соответственно с третьим в четвертым информационными входами машнЕпьг, выхо подключен ко второму входу блока oiv. КЛонени , выходы которого подключены соответственно к шестому и седьмому управл ющим выходам машины, выход блока анализа поворотов соединен с соответствующим входом процессора 2. С помощью такой машины осуществл етс  управление электроннолучевой установкой при изготовлении масок или непосредственно компонентов интегральных схем. Дл  уменьшени  объема вводимых данных, упрощени  процесса программировани , сокращени  затрат на программирование, и, как следствие, повышени  эффективности машины в ней предусмотрен редким многоуровневых преобразований топологичейких единиц. Это йозвол ет формировать регул рные структуры из некоторых базовых рисунков , причем, полностью описываютс  лишь базовые 4)агменты, а дл  образовани  подобных им в оптгсании указываетс  по одной точке прив зки дл  каждого повтор ющегос  рисунка и вид преобразовани  базовых топологических единиц. Но дл  р да сдучаев даже такое задание топологии оказываетс  недостаточно , эффективным., В насто щее врем  получают распространение матричные структуры (БИС). К ним относ тс  все БИС пам ти посто нной , оперативной и другие схе- кш ни jBtx основе,  вп к циес  мат ичными . К матричным структурам приводит  чеечный метод проектировани  БИС, по : ающий в насто щее врем  широкое, п менение в св зи с развитием автоматизации проектировани . Дл  матричных БИС характерно наличие инвариантов в их структуре и, следовательно, в описании в большей степени, чем это имеет место в других структурах . Поэтому важно обеспечить такую форму задани  матричной топологии кото)а  исключала бы избыточность описани . С точки зрени  описани  существенной особенностью матричных структур  вл етс  то, что они включают ограниченное количество типов элементов (в частном случае - один); регул рность же размещени  однотипных элементов в пределах матрицы, за исключением БИС оперативных ЗУ, либо носит островковый характер, либо отсутствует вообще. Поэтому при сплошном описании однородной матрицы (состо щей из одинсаковых элементов) в описании необходимо указать координаты многих точек пгрив зки , что  вл етс  излишним. Количество точек прив зки можно несколько сократить, если в структуре выделв ть регул рные островки и дл  адресации каждого из них указать по одной точке прив зки, а размещение элементов в пределах островков описать параметрами мультипликации, т.е. указать ве.ггачины шагов.и количе:ство повторений по ос м X и У. Но дл  этого необходимо вьшолнить оптимизированную декомпозидаю схемы по критерию минимизации описатга , что вручную, при большом количестве элементов в матрице осущесрвить практически невозможно. Это обуславливает необходимость использовани  )гниверсальной ЭВМ, что затрудн ет оперативное изготовление и увеличивает стоимость микросхем особенно при необходимости проработки нескольких различных вариантов. Кроме того, даже и в этом случае количество входной инфор мацки все же остаетс  избыточным. Это  вл етс  недостатком известной машины , привод щим к снижению ее эффек. тивности при изготовлении матричных Структур с нерегул рным расположением однотипных элементов. Цель изобретени  - повышение г ффективности машины при воспроизведении топологии интегральных схем с маэричНой структурой за снижени  заfpaf на программирование и уменьшение избыточности входной информации. Дл  этого в машину введен блов: цифрового маскировани , соединенный двухсторонними управл ющими св з ми с блоком управлени , выходом подключен ный ко входу процессора и соединенный кодовой шиной с блоками ввода информации , пам ти, интерпретапии, буферным запоминающим устройством и процес- . сором. Блок цифрового маскировани  содержит два регистра, две схемы сравнени , два счетчика, два элемента И, числовую матрицу, элемент неравнозначности , триггер, причем входы скемы сравнени  подключены к выхо дам соответствующих регистров и первым входам соответствующих счетчиков, выходы - ко входам первого элемента И вькод которого подключен к информационному входу числовой матрицы и к управл ющему выходу блока, входы ре|Гистров соединены с кодовым входом и управл ющим входом блока, второй выход первого счетчика подключен к первому входу второго элемента И, выход которого соединен с управл ющим выходом блока, второй выход второго счетчика соединен со входом первого счетчика, вторым входом второго эле (мента и управл ющим выходом блока, утфавл ющие входы счетчиков соедине|ны с управл ющим входом блока, входы числовой матрицы соединены соотвёт ственно с первыми выходами счетчиков и управл ющим входом блока, выход с первым входом элемента неравнозначности , второй вход которого соединен с выходом триггера, входьт которого соединены с управл ющим входом блока, вы-ход элемента неравнозначности соединен с выходом блока, управл ющий выход которого соединен с выходом второй схемы сравнени . На фиг. 1 показана структурна  схема м щины; на фиг. 2 - пример выполнени  блока цифрового маскировани ; на фиг. 3 и 4 структурные матрицы и соответствующие им цифровые масеи (схематически). В состав машины вход т: блок управ цени  1, блок 2 ввода информации, блок пам ти 3j буферное запоминающее устройство 4, блок интерпретации 5, процессор 6, блок анализа 7 поворотов, блок коррекции 8, блок отклонени  9, блок контрол  10 токов отклонени , бло управлени  11 приводам координатного стола, блок 1Й цифрового маскировани  Блок 1 служит дл  распределени  инфор мапин между устройствами машины и управлени  их взаимодействием. Блок 2 предназначен дл  ввода в машину информацин с перфоленты или печатающего устройства. Геометрическа  ин4юрмаш1 , а также данные о технологических режимах заноситс  в блок пам ти 3. ICpoме того в блоке 3 хран тс  описани  топологии стандартизовапных элементов, представл ющие собой библиотеку типовых решений..,Текуща  информаци , с которой оперирует процессор при выполнении тех или иных стандартных процедур , зфанитс  в буферном запоминающем устройстве 4, Блок 5 осуществл ет перевод описани  топологии в машинное црецставлепие, выполн   декомпозицию фрагментов дл  выделени  базовых элемен тарных фигур, с которыми оперирует Про;цессор . Процессор выполн ет построение элементарных фигур, формирует временные параметры воздействи  луча на материал , управл ет -интенсивностью пучка, задает перемещение координатного стола , а также управл ет операци ми коррекции . Блок 7 задает дл  процессора вид фактического поворота элементарных фигур при сочетании поворотов старших к подчиненных топологических единиц. Блок 8 предназначен дл  выработки корректирующих воздействий с целью прив зки местоположени  луча по отношению к рабочему полю с учетом компенсации линейного сдвига и разворота ,осей координат, а также установки требуемых геометрических размеров пол  отклонени . Блок 9 преобразует цифровые значени  координат, в пропорциональньге токи дл  перемегйени  в требуемое место пол  отклоненн  и осуществл ет смещение единичных полей отклонени  в пределах полного пол  отклонени . Блок 10 осуществл ет контроль токов отклонени  и смещени  и корректирует последние при нарушении их поразр дных соотношений. Блок 11 управл ет приводами перемещени  координатного стола. ;В блоке 12 в цифровом виде записывает ;с  схема размещени  элементов структуры , представл юща  собой цифровую матричную .маску. Блок 1 имеет двусторонние св зи дл  обмена управл ющей информацией с блоком ввода 2 и блоком пам ти 3, а также шины управл ющих сигналов 13 и 14 дл  св зи с блоком интерпретации, управл ющие шины 15 и 16 - дл  св зи с процессором. По ши происходит обращение к буферно-. му запоминающему устройству. По шине 18 осуществл етс  запись кодов п|эизнаков поворота фигур. По шине 19 блок 1 заправл ет работой блока 8 при вьтолнении коррекций положени  по мар керным знакам, которые поступают с соответствующих датчиков. Поиск марке ных знаков, выч1 сление составл ющих поррешностн и реализаци  линейной коррекдии происходит при взаимодействии процессора и блока 8i соединенных двух сторонними св з ми; Управл ющие св зи 20 и 21 гфедназйаченУ д й лени  работой блока 12, который св зь 22 соединен с процессором 6. Компен-. саци  погрешности масштаба происходит в результате воздействи  блока коррекции 8 по св зи 23 на блок бтклонейи  9, а угловой разворот осей - при воздействии на блок 11. По св зи 22 из блока 12 в процессор поступают сигналы , в соогветствии с которыми ,он воспр6ЖвоШт ли пропускает ToV или иной элемент структурной матрицы. Шф ровйе значени  координат с выхода процессора поступают в блок оталонени  9, который варабатывает на управл ющих выходах 24 и 25 пропорциональные отклон ющие токи. С выхода блока 9 Б процессор поступают сигналы об окончании переходнь1Х процессоров в циф аналоговых преобразовател х. По двусторонним св з м процессор управл ет также операци ми контрол  и коррекции токов смещени , осуществл емых блоком 10 при поступлении на его входы с информационных входов машины 26 и 27 токов, снимаемых ооотаетстбенно в цеп х катушек смещени  и отклонени . По управл ющим выходам 28 а 29 процессор управл ет интенсивностью пучка (ГОКОМ и энергией), а по управл  кзщеаду выходу 30 - его бланкированием . Управление же координатными приво дами осуществл етс  по управл ющему выходу 31 при воздействии процессора Тш блок 11. С информационного входа 32в блок 11 поступают сигналы от датчиков перемещени  координатного стола. Признак фактического поворота 4игур с выхода блока 7 поступает в пр цессор, настраива  его на преобразование координат фигур в соответствии с видом поворота. По управл нлцему выхо 33блок 11 осуществл ет управление приводами координатного стола. С информационного входа машины 34 в блок 8 коррекции поступают сигналы с COOTV ветствующих датчиков. Обмен информацией между и устройствами машины осуществл е7ч;   по кодовой шийе 35. На ({ гг. 2 показаны: регистры 36 и 37, счетчики 38 и 39, схемы сравHeimis 40 и 41, элемент И 42, числова  матрица 43, триггер 44, элем€тт неравнозначности 45, элемент И 46. По управл ющему входу 20j выполн етс  начальна  установка, счетчиков. По управл ющему входу 20 „ происходит в регистр кодов, опрепел к цих номер строки и столбца структурной Матрицы, на пересечении когорых расположен воспроизводимый итга пропускаемый элемент. По управл ю- щему входу 203 подаютс  сигналы , а по входу 20 - сиг На л записи в числовую матрицу, по входу 20 g - сигнал считывани . Сигналами на управл ющих входах , и 20 устанавливаетс  нулевое ЕЛИ единичное состойнйе григгер 44, На управл ющем вы(оде 21 вырабатываетс  сигнал при равенстве номера элемента структурной Matv, рицы номеру  чейки числовой матрицы, а на управл ющем выходе 21 - при равенстве номеров столбцов. На управл ющих выходах 215 и 21 возбуждаютс  сигналы, при переполнении счетчиков 39 -и Зв, . На фиг. 3 и 4 штриховкой условно показаны однотипные элементы ной топологии, воспроизводимые на с феделенном этапе технологического процесса, причем на г. 3 таких элементов меньше, чем пропусков. Поэтому в числовой матрице они обозначены кодом 1. На фиг. 4 наоборот меньше пропусков, поэтому они кодируютс  единицами, а воспроизводимые элементынул ми . Программа работы машины вво«дитс  с помощью блока 2 в блок пам ти 3 под воздействием сигналов, формируемых блоком управлени  1. В опис«1тельной части программы содержатс  данные о взаимном размещении составных частей полного рисунка данного элемента матрицы, пл  чего здесь привод тс  координаты точек прив зки, в которые должны быть помещены начала тех или иных частей рисунка. Кроме того, дл  всех подобных фрагментов указываетс  вид поворота их относительно первообразных фигур, описание которых npsiBOдитс  полностью в виде координат вершин контуров, образующих1}  гуры. 13се координаты вершин привод тс  в собственной системе координат, в качестве начала которой беретс  пересечение линий , проход щих-через точки рисунки с

минимальными ординатой и абсциссой. В описании также указываетс  генеральнее начало отсчета, в качестве которого используетс , например, левый нинший угол кристалла или начало координат левого нижнего элемента ,матрицы. Наконец , указываетс  шаг рйзмещени  элементов матрицы по ос м X и У. Генеральное начало отсчета и величины шагов  вл ютс  обобществленными параметрами дл  данной матрицы, описани же каждого нового типа элементов привод тс  отдельно. При этом допускаетс  использование частей рисунков, описанных в другом элементе матрицы, или рисунков из библиотечного набора. Параметры технологических режимов облучени  и инструкции выполнени  служебных процедур (коррекций и контрол   вл ютс  самосто тельными конструкци ми матобеспечени  и могут вводитьс  независимо от остального описани . Управл юща  часть программы помимо задани  алгоритма переадре- садии, т.е. последовательности воспроизведени  частей рисунка данного элемента матричной структуры, содержит также данные о конфигурации размещени  этого элемента в пределах матри1ВЫ . Дл  этого все элементы матрицы нумеруютс  по строкам и .столбцам, и в управл юще части программы в возрастающем пор дке указываютс  номера тех элементов, которые, должны экспо1троватьс . Э часть программы образует так называемую цифровую маску , котора  заноситс  в блок 12. Дл  записи цифровой маски устанавливаютс  в нулевое состо ние счетчики 38 и 39, выполн ющие функцию адресных регист ров числовой матрицы 43. На кодовой шине 35 возбуждаетс  число, определ ющее номер первого воспроизводимого элемента матрицы. Код этого числа заноситс  в регистры 36 и 37, причем в регнстр 36 поступают старшие разр ды числа/(номер строки матрицы), а в регистр 37 - младшие разр ды (номер столбца). На вход счетчика 39 по входу 20а поступают сигналы, в результате пересчета которых осуществл етс  перебор всех  чеек числовой матрицы 43, Синхронно с сигналами счета на входе 20д возбуждаютс  сигналы записи . До тех пор, пока коды на выходёх счетчиков 38 и 39 не сравн ютс  с кодами регистров 36 и 37, на выходе первого элемента И будет О, ив

соответствующие  чейки числовой матрицы будут записаны нули, поскольку выход элемента 42 подключен к информационному входу числовой матрицы. При

сравне1гаи номера элемента матрицы

с адресом  чейки, образующимс  в счетчиках 38 и 39, на выходе элемента И 42 вырабатываетс  сигнал единичного уровн . -В соответствующую  чейку записываетс  1, И;, кроме того, сигнал запроса по управл ющему выходу 21 поступает в блок управльмга  1. В этом случае в регистры 36 и .37 заноситс  код номера очередного элемента матрицы , и цикл заполнени  числовой матрицьт продолжаетс . При переполнении счетчиков 39 и 38 на выходе второго. ;Элемента И 46 формируетс  сигнал, поступающий э блок управлени  1. По этому сигналу определ етс  момент окончани  заполнени  числовой матрицы. В тех случа х, когда воспроизводимых элементов матрицы много, а пропусков мало, целесообразнее обозначать последние . При этом происходит запись обратной маски, осуществл ема  аналогично ;предыдущему, за исключением того, что 1 обозначаютс  пропуски между; элементами структуры (фиг. 4). Запись обратной маски учитываетс  триггером 44, который при этом устанавливаетс  в единичное состо вде. Размерность числовой матрицы в общем случае может не соответствовать размерности воспроизводимой структурной матрицы . Поэтому в случае недостаточного ее обыема структурна  матрица разбиваетс  на р д подматриц, которые ввод тс  в блок 12 и воспроизвод тс  последовательно. Если размерность структурной матрицы мала, то размерность числовой матрицы при выборке из нее информации .ограничиваетс ; Дл  этого в регистры 36 и 37 ввод тс  номера строк и столбцов ограничиваюших размерность матрицы; При воспроизведении рисунка из блс са пам ти 3 в буферное запоминающее устройство 4 занос тс  координаты точек прив зки фрагментов и величины шагов размещени  элементов матрицы по ос м X и У. Устанавливаютс  в исходное состо ние счетчики 39 и 38, на управл ющем, входе 20 возбуждаетс  сигнал чтени  . .и опрашиваетс  перва   чейка числовой .матрицы 43. Если в блоке 12 было записано пр мое изображение маски, то элемент неравнозначности 45 не оказыВает вли ние на считанный из числовой матрицы сигнал, поскольку триггер 44 находитс  в нулевом состо нии, В случае же обратной маски на выходе блока образуетс  инверсный сигнал; На каждом такте опроса блока 12, т.е. считывани  цифровой маски, процессор 6 суммирует К генеральному началу отсчета величину X размещени  элементов йатрицы в строке и провер ет значение сигнала на св зи 22. При по влении на ней сигнала единичного уровн  опрос блока 12 прерываетс , а на требуемом месте подложкиВОСПРОИЗВОДИТСЯ первый элемент структурной матрицы. При этом описани  фрагментов из блока пам ти 3 передаютс  поочередно в блок S, который осуществл ет синхронное, с воспроизведением, разбиение их на элементарные фигуры. Координаты опорных точек каждой из фигур передаютс  на блока 5 в буферное запоминакшее ,

устройство 4 и служат исходной ннфэр-. мацией дл  процессора. Процессор вычисл ет координаты всех промежутЬч- г ных точек фигур и выполн ет необходимые их преобразовани  в соответствии с видом геометрических превращений компонента рисунка, определ емых блоком 7, а также с учетом их местоположе1га  на подложке. Блок 9 преобразует цифровые значени  координат в пропор циональнйе координатные токи, отклон   пучок в требуемое место гехнорогической зоны. После заверщени  экспонировани  подложки в данном единичном поле, отклонени  снойа происходит обращение

к блоку 12 0 определ етс  местопопо женЬе очередного элемента мааркчной структуры в соответствии с ци4ровой маской. Момент окончани  очередной строки структурной матрицы определ етс  по сигналу сравнени  на управл к цем выходе 212. ® перебор  чеек данной стро&и числовой матрицы продолжаетс  до по влени  на управл ющем выходе 21« сигнала переполнени  счетчика 39. При этом содержимое счетчнка 38 увеличиваетс  на единицу, чем осуществл етс  переход к след пющей строке числовой матрицы, а процессор суммирует к ординате строки величину шага перемещени  У, выполн   переход к следующей строке структурной матрицы , после чего воспроизвод тс  элементы , расположенные в этой строке.

Аналогично воспроизвод тс  все элементы структу ил, обозначенные в данной

цифровой маске. -Признаком заверше)аи  размещени  всех элементов данной матрицы служит сигнал сравнени  кодов в счетчиках 38 и 39 с кодами регистров 36 и 37 соответственно, в которы при воспроизведении содержитс  номер гра1тчнрго элемента матрицы. После воспроизведени  последнего элемента процессор вырабатывает сигнал запроса на шине 15,, в соответствии с которым блок управлени  1, воздейству  на блок ввода 2, замен ет использованную маску новой, и воспроизводктс  очередной элемент структуры Такие циклы продолжаютс  до тех nqj, пока все элементы структуры не будут воспроизведены на соответствующих участках технологической зоны. После .этого с помощью блока 11 процессор замен ет технологическую зону переКсечтением коорд Шатного стола. После шремещени  стола, а также периодическ в процессе востфоизвецени  провер етс  и при необходимости корректируетс  положетте пучка относительно маркерных знаков, что позвол ет проводите, 4икрообработку с максимальной точностью взаимного расположени  элемент Периодически с помощью блока 10 провер етс  и корректируетс  поразр д1; а  . взвешенность токов, формируемых блоком 9.

Введение в структуру машины блока шгфрового маскировани  позвол ет у проотить процесс программировани  и значительно сократить количество вводимой информации в случае интегральных схем с матричной структурой с нерегул рным располо  ением однотипных элементов , в частности матричных БИС. При автоматическом составлении программ электроннолучевой микрообрабопшг уменьшаетс  врем  использовани51 универсальной ЭВМ, поскольку вместо многих сотен значейий координат, .которые необходимо вычисл ть, машина должна выдать лишь схему размещени  элементов.

Claims (2)

1. Цифрова  машина дл  управлени  процессами электроннолучевой микрообработеи , содержаща  б/гоки ввода информации , пам ти, интерпретации, управлени , анализа поворотов, буферное запоминающее устройство и процессор,, соединенные кодовой шиной и шинами

управл ющих сигналов, блок коррекции, соединенный двухсторонними св з ми с процессором и подключенный упраэп ющнм и информационным входами соот ветственнй к выходу блока управлени  и к первому информационному входу машины, выходы блока коррекции подключены соответственно к первым вкодам блока отклонени  и блока управлени  приводами координатного стола, второй вход которого соединен со вторым информационным входом маш.ины, выходы блока управлени  приводами координатного стола подключены соответственно к первому и второму управл ющим выходам машины, блок управлени  природами Координатного стола соединен двухсторонними св з ми с процессором, выходы которого подключены соответственно к третьему, четвертому и п том управл ющим выходам машины,блок контрол  токов отклонени  и блок отклонени  соединены двухсторонними св з ми с процессором, входы блока контрол  токов Отклонени  соединены соответственно с третьим и четвертым информационными входами машины, выход под-ключен ко второму входу блока отклонени , выходы которого подключены COOTV.

ветственно к шестому и седьмому управл ющим выходам машины, выход блока анализа поворотов соединен с соответ- ствукдцим входом процессора, отличающа с  тем, что, с целью повышени  эффективности при воспроизведении топологии интегральных схем с матричной структурой за счет снижени  затрат на программирование и уменьшени  избыточности входной информации, в нее введен блок цифрового маскировани , соединенный двухсторонними упрал ющими св з ми с блоком управлени , выходом подключенный ко входу гтроцессо{за и соединенный кодовой шиной с блоками ввода информации, пам ти, интерпретаций , буферным запоминающим устройством и процессором.

2. Цифрова  машина по п. 1, о тличающа с  тем, что блок цифрового маскировани  содержит два регистра, две схемы сравнени , два счетчика, два элемента И, числовую матрицу, элемент неравнозначности, триггер, причем входы каждой схемы сравнени  подключены к выходкам соответствующих регистров и первым выходам соответствующих счетчиков, а выходы соединены со входами первого элемента И, выход которого подключен к информационному входу числовой матрицы и к управл ющему выходит блока,

входы регистров соединены с кодовым ;Входом и управл ющим входом блока, второй выход первого счетчика подключен к первому входу второго элемента И, выход которого соединен с управл ющим

выходом блока, второй выход второго счетчика соединен со входом первого рчетчика, вторым входом второго эле )1ента И и управл ющим выходом блока j .управл ющие входь счетчиков соединены

. с управл ющим входом блока, входы числовой матрицы соединены соответственно с первыми выходами счетчиков и управл ющим входом блока, выход подключен к первому входу элемента неравнозначности , второй вход которого соединен с выходом триггера, входы которого соединены с управл ющим входом блока, выход элемента неравнозначности соединен с выходом блока, управл клций выход,кото{5ого соединен с выходом второй схемы сравнени .

Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 477417, М.Кл. G06 F 15/20, 1974.

2. Описание изобретени  по за вке

№ 2392205/18-24 от 01.08.1976, (прототип).

702378

Ф Ф A Ф Ф Ф

TTi

/J / /

Stte. /

3f

55

uZr.Z