Изобретение относитс к технике нане сенн тонких пленок в вакууме и может быть использовано дл осаждени на поверхности твердогх тела пленок сло}кно-. го состаша путем ионного распылени . Известна конструкпи катодного узла, содержащего основание и мозаичную шинель ш. Недостатком устройства вл етс слож ность конструкции из-ва индивидуальности водо- и электроснабжени каждогю эле мента, благодар чему становитс невозможным получение многокомпонентных пленок из широкого круга материалов. Шль изобретени - упрощение конструкции . Это достигаетс тем, что в катодном узле, содержащем основание в мозаичную мишень, мозаична мишень выполнена в виде решетчатой пластины из материала одвого ва распыл емых компсжентов, а водоохлаждаемое основание вы1юлнено с пазами, служащими дл размещенв стерж ней из материала других распыл емых ко понентов, причем отверсти решетчатой пластины размещены над пазами водоохлажда8МОГО основани . На фиг. 1 схематично показана, конструкци катодного узла, в котором основание разъемное; на 4нг. 2 - то же основание выполнено неразъемным. В верхней части основани 1 высверлены вертикальные отверсти 2, р которые вставлены стержни 3 из отдельных ксмпонентов наносимой пленки. Лицева сторона пластины 1 с помощью, например, пайки или сварки, закрыта решетчатой пластиной 4, выполненной из основного компонента, в которой имеютс отверсти дл стержней 3. Изменение состава мозаичной мишенв осуществл етс путем варьирсюани количества стержней 3, замена которых осуществл етс при сн той пластине 5. Катодный узел имеет основанве 1 (см. фиг. 2), в котором выфрезерованы пазы пр моугольной формы. Липвва сторона основани 1 с помои;ью, например, пайки или сварки, закрыта решетчатой пластиной 2, выполненной из основного компонента , в которой есть-отверсти 3, расположенные под павами основани 1, при-, чем диаметр отверстий 3 меньше ширины паза, В пазы механически вставл ютс .стержни 4 из отдельных компонентов, . Минимальное содержание в пленке ма териала решетчатой пластины nponopiteoнадьно через коэффициент распылени пло« щади решетчатой пластины за вычетом хшощади отверстий. Дл увеличени количества материала решетчатой пластаны в пленке можно примен ть съемные стержни из того же материала, Основание выполн етс из материала с хорошей теплопроводностью, например, из меди, и в процессе распылени мозаичной мишени интенсивно охлаждаетс водой одним из известных способов, Расположенне вставных стержней в пазах основани обеспечивает их хорошее охлаждение при интенсивной бомбардировке ионным потоком , что хюзвол ет изготовить их из легко диссоциирующих веществ, например, из Катодный узел см. фиг. 1) имеет диаметр 100 мм. Верхн 1 и нижн 5 части толщиной 5 мм кажда изготавлива ютс из меди. Решетчата пластина 4 толщиной 1 мм выполн етс из паллади . Вставные стержни 3 диаметром 5 мм изготавливаетс из ванади и никел . При напьшении пленок Pd -V-Ni вьпазы плас тены 1 ВСТ6ШЛЯЮТСЯ одновременно стерж- ни из V и М которые чередуютс в шахматном пор дке. Катодный узел (см. фиг. 2) имеет линейные размеры 50 5б мм. Основание 1 выполн етс из меди , решетчата пластина 2 из паллади , а вставные стержни 4 - из рутени и вольфрама. Катодный узел позвол ет значительно сократить врем переналадки обо. рудовани при необходимости смены состава напыл емой пленки. С помощью разработанных катоднь1х узлов проводитс осаждение методами ионно-плазменного распылени сплава Лс/УУ Pd Ni, Pd-V-M Формула изобретени . Катодный узел, содержащий водоохлаждаемое основание и мозаичную мишень, отличающийс тем, что, с целью упрощени конструкции, мозаична мишень выполнена в виде решетчатой пластины из материала одного из распыл емых компонентов; а водоохлаждаемое основа- ние выполнено с пазами, слузкащими дл размещени стержней из материала других распыл емых компонентов, причем отверсти решетчатой пластины размещены над пазами водоохлаждаемого основани . Источники информации, прин тые во внимание при экспертиае 1. KuwagOt HJ jgj ЕЕЕ Traus Eoifs HyBrtavfs and Pachag- 1972, 8, A 3, 7-1O.
- l