SU665411A1 - Индукционна катушка дл бестигельной зонной плавки - Google Patents
Индукционна катушка дл бестигельной зонной плавкиInfo
- Publication number
- SU665411A1 SU665411A1 SU762391290A SU2391290A SU665411A1 SU 665411 A1 SU665411 A1 SU 665411A1 SU 762391290 A SU762391290 A SU 762391290A SU 2391290 A SU2391290 A SU 2391290A SU 665411 A1 SU665411 A1 SU 665411A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- induction coil
- zone melting
- section
- crucibleless
- crucibleless zone
- Prior art date
Links
Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к области бестигельного выращивани и очистки монокристаллических полупроводниковых материалов .
Известна конструкци индукционной катушки , используемой дл создани расплавленной зоны на слитках монокристаллического кремни , выращиваемых методом бестигельной зонной плавки, котора представл ет собой плоскую катушку с токопроводами , выполненную из трубки в виде плоских витков, размещенных по спирали 1.
Недостатком известной индукционной катушки вл етс то, что слитки монокристаллического кремни диаметром более 60. мм, выращенные с ее помощью, имеют относительно большой разброс удельного сопротивлени по сечению кристаллов из-за недостаточно интенсивного перемешивани расплава и легирующей примеси. Кроме того , выращенные кристаллы имеют форму, отклон ющуюс от цилиндрической.
Целью изобретени вл етс создание такой индукционной катущки дл бестигельной зонной плавки, с помощью которой можно получать кристаллы цилиндрической формы за счет уменьшени разброса удельного сопротивлени по сечению кристаллов.
Это достигаетс тем, что витки катушки расположены по концентрическим окружност м , а каждый виток выполнен по крайней мере из двух участков, конец каждого из которых соединен с концом участка, расположенного на соседней окружности.
При этом токопроводы подсоединены к двум соседним участкам, расположенным на внешней окружности.
На чертеже показана предлагаема индукционна катушка, общий вид.
Катушка выполнена из трубки в виде витков по концентрическим окружност м 1-3 соответственно внешней, средней и внутренней , причем на каждой окружности имеетс несколько участков трубки, например на внутренней окрула-юсти 3 располагаютс два участка 4 и 5, каждый из которых выполнен в виде полукольца. Характер соединени отдельных участков удобно рассмотреть на примере соединени участка 6, расноложенного на средней окружности 2. Один конец этого участка соединен с концом участка 4, расположенного на внутренней .окружности, а другой - с концом участка 7, наход щегос на внешней окружности 1. Но так как внешн и внутренн окружности вл ютс соседними по отношению к средней, можно говорить о том, что конец любого участка соединен с концом другого участка, расположенного на соседней окружности. Токопроводы 8 и 9, осу
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU762391290A SU665411A1 (ru) | 1976-08-01 | 1976-08-01 | Индукционна катушка дл бестигельной зонной плавки |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU762391290A SU665411A1 (ru) | 1976-08-01 | 1976-08-01 | Индукционна катушка дл бестигельной зонной плавки |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU665411A1 true SU665411A1 (ru) | 1979-05-30 |
Family
ID=20672317
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU762391290A SU665411A1 (ru) | 1976-08-01 | 1976-08-01 | Индукционна катушка дл бестигельной зонной плавки |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU665411A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5550354A (en) * | 1994-05-31 | 1996-08-27 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | High-frequency induction heating coil |
-
1976
- 1976-08-01 SU SU762391290A patent/SU665411A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5550354A (en) * | 1994-05-31 | 1996-08-27 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | High-frequency induction heating coil |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SU665411A1 (ru) | Индукционна катушка дл бестигельной зонной плавки | |
| US3342970A (en) | Apparatus for crucible-free zone melting | |
| SE7514280L (sv) | Spaltsikt med utbytbara siktstavar. | |
| JPS6337590A (ja) | 浮遊帯域溶融用誘導加熱器 | |
| DE3763438D1 (de) | Verankerungspfahl fuer grenzpfaehle oder sonstige verwendungen. | |
| SU473514A1 (ru) | Способ выращивани монокристаллов бестигельной зонной плавкой | |
| SU165311A1 (ru) | Нагреватель сопротивления | |
| FR2348498A1 (fr) | Shunt coaxial pour la mesure de fortes intensites de courant | |
| FR2356443A1 (fr) | Roue d'engrenage pour jeux de construction | |
| JPS5637293A (en) | Single crystal manufacturing refractory crucible | |
| US1590282A (en) | Winding form for radio apparatus | |
| GB1351872A (en) | Electromagnetic waveguide | |
| SU991299A1 (ru) | Зыбкомер дл исследовани каолинов и керамических масс | |
| SU802379A1 (ru) | Индуктор дл нагрева цилиндрическихиздЕлий | |
| SU687654A1 (ru) | Способ получени полых кремниевых труб | |
| JPS6220441Y2 (ru) | ||
| SU691188A2 (ru) | Аппарат дл глубокой очистки веществ | |
| ES205866U (es) | Portanidos perfeccionado | |
| SU1358976A1 (ru) | Лыжна палка | |
| JPS5795890A (en) | Crystal growing device | |
| SU249351A1 (ru) | Способ получени монокристаллов | |
| SU856493A1 (ru) | Фильтр | |
| SU513514A1 (ru) | Высокочастотное устройство дл линии электропередачи | |
| SU377116A1 (ru) | Грабли на мотовила | |
| SU1107773A1 (ru) | Тукосем провод |