SU625132A1 - Интерферометр дл исследовани качества оптических элементов и прозрачных неоднородностей - Google Patents

Интерферометр дл исследовани качества оптических элементов и прозрачных неоднородностей

Info

Publication number
SU625132A1
SU625132A1 SU762392553A SU2392553A SU625132A1 SU 625132 A1 SU625132 A1 SU 625132A1 SU 762392553 A SU762392553 A SU 762392553A SU 2392553 A SU2392553 A SU 2392553A SU 625132 A1 SU625132 A1 SU 625132A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
interferometer
optical elements
beam splitter
mirror
quality
Prior art date
Application number
SU762392553A
Other languages
English (en)
Inventor
Виктор Алексеевич Зверев
Сергей Аронович Родионов
Михаил Наумович Сокольский
Зинаида Ивановна Ермакова
Бела Сергеевна Королько
Original Assignee
Предприятие П/Я А-1705
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-1705 filed Critical Предприятие П/Я А-1705
Priority to SU762392553A priority Critical patent/SU625132A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU625132A1 publication Critical patent/SU625132A1/ru

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Claims (2)

  1. Изобретение относитс  к измерительной технике, предназначено дл  исследовани  качества оптических элементов и прозрачных неоднородностей и может найти применение в производстве, зан том изготовлением оптических элементов, а также при исследовании газов, жидкостей и других прозрачных сред. Известен интерферометр дл  иссле довани  качества оптических элементов , содержащий источник света, осветительную систему, рассеивающую пластину, формирующую рабочий пучок заполн ющий всю апертуру исследуемого оптического элемента и узкий опорный пучок и систему наблюдени  интерференционной картины l| . Недостатком известного интерферометра  вл ютс  большие потери све и невозможность высокоточного контро из-за аберраций, возникающих вследс вие неидентичности пучков, использу емых в схемах изготовлени  пластины Наиболее близким к изобретению по технической сущности  вл етс  интерферометр дл  исследовани  ка-чества оптических элементов и прозрачных неоднородностей, содержащий источник света, установленные после довательно.по ходу лучей осветительную систему, светоделитель, блок фокусировки пучка лучей, выполненный в виде сферического зеркала, блок наблюдени  интерференционной картины и регистратор 21 . Однако неустойчивость интерференционной картины к внешним воздействи м в известном интерферометре приводит,к потере точности при контроле оптических элементов, а ограниченна  апертура прибора, вызванна  аберраци ми светочувствительного элемента, приводит к понижению точности . Дл  повь иени  точности измерений светоделитель выполнен в виде пластины с центральным отверстием, интерферометр снабжен плоским зеркалом с отражающим покрытием, расположенным в отверстии светоделител  под углом 90 к его поверхности, а блок фокусировки выполнен в виде отражающего компонента с положительной оптической силой. На чертеже дана схема предлагаемого интерферометра. Он содержит источник 1 света осветительную систему 2, светолелительную пластину 3 с центральным отверстием , в котором под углом 90к поверхности светоделител  помещено плоское зеркало 4, блок фокусировки выполненный в виде отражающего компонента 5 с положительной оптической силой, блок 6 наблюдени  с регистратором (на фиг. не показан). Интерферометр работает совместно с исследуемой системой 7 и устанавливаетс  (в зависимости от контролируемого объекта) либо в центре кривизны сферического зеркала, либо в фокусе исследуемого, объекта, установ ленного перед автоколлимационной отражающей поверхностью. Принцип действц  прибора представ лен на примере исследовани  сферического зеркала. Свет от источника монохроматического света направл етс  на осветительную систему 2. После выхода из нее пучок светоделительной . пластиной. 3 делитс  на два опорный и рабочий. Опорный пучок, отража сь от светоделител  3, фокус руетс  на поверхности провер емой системы 7, отражаетс  от нее и проходит в блок 6 наблюдени . Рабочий пучок проходит светодели тель 3, попадает на отражающий компонент 5 и фокусируетс  на поверхно зеркала 4 в автоколлимационной точке О, поступает на провер емую систему 7 и обратно на отражающий компо нент 5, светоделительную пластину, где объедин етс  с опорньни пучком, и в блок 6 наблюдени . Образовавша с  интерференционна  картина характеризует качество поверхности систелал 7. При контроле прозрачных неоднородностей провер е ма  система 7 за юн етс  образцовой и вблизи нее помещаетс  исследуема  среда. Форма интерференционных поло может регулироватьс  либо перемещением всего интерферсметра относител но точки О центра кривизны системы 7, либо перемещением и наклонами отражательного компонента 5. Параметры и положение осветительной системы 2 выбираютс  такими,чтобы вышедший из него пучок собиралс  точно на поверхности провер емой системы 7. Дл  осуществлени  этого, осветительна  система имеет осевое перемещение вдоль оптической оси. Отражательный компонент 5 может быть выполнен в виде зеркала типа Манжена, либо в виде положительного объектива, работающего совместно с плоским зеркалом и имеющего перемещение вдоль оптической оси дл  фокусировки рабочего пучка в автоколлимационную точку 0. Формула изобретени  Интерферометр дл  исследовани  качества оптических злементов и прозрачных неоднородностей, содержащий источник света, установленные последовательно по ходу лучей осветительную систему, светоделитель, блок фокусировки пучка лучей, блок наблюдени  и регистратор, отличающийс  тему что, с целью повьхиени  точности измерений, светоделитель выполнен в виде пластины с центральным отверстием, интерферометр снабжен плоским зеркалом с отражающим покрытием, расположенным в Отверстии светоделител  под углом 90 V поверхности, а блок фокусировки выполнен в виде отражающего компонента с положительной оптической силой. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе: 1.Патент США № 3799673, кл. 356-109, 1972.
  2. 2.Техническое описание интерферометра ИТ-172, выпуск ГОИ.
    ItjiecMoemt навлюЗеми 
SU762392553A 1976-08-02 1976-08-02 Интерферометр дл исследовани качества оптических элементов и прозрачных неоднородностей SU625132A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU762392553A SU625132A1 (ru) 1976-08-02 1976-08-02 Интерферометр дл исследовани качества оптических элементов и прозрачных неоднородностей

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU762392553A SU625132A1 (ru) 1976-08-02 1976-08-02 Интерферометр дл исследовани качества оптических элементов и прозрачных неоднородностей

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU625132A1 true SU625132A1 (ru) 1978-09-25

Family

ID=20672776

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU762392553A SU625132A1 (ru) 1976-08-02 1976-08-02 Интерферометр дл исследовани качества оптических элементов и прозрачных неоднородностей

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU625132A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4302512B2 (ja) 非球面表面および波面に対する干渉計スキャニング
US5703692A (en) Lens scatterometer system employing source light beam scanning means
US5257093A (en) Apparatus for measuring nanometric distances employing frustrated total internal reflection
SU625132A1 (ru) Интерферометр дл исследовани качества оптических элементов и прозрачных неоднородностей
RU2186336C1 (ru) Интерферометр для измерения формы поверхности оптических изделий
JPH05500853A (ja) ガラス管壁の厚さを決定するための方法及び装置
EP0137976A2 (en) Interferometric metrology of surface figures
JPH01235807A (ja) 深さ測定装置
SU529362A1 (ru) Интеферометр дл исследовани качества поверхностей и аберраций крупногабаритных оптических элементов и прозрачных неоднород ностей
SU535454A1 (ru) Устройство дл определени взаимного положени элементов объекта
SU1422046A1 (ru) Способ записи интерферограммы контрол объектов в виде линз и объективов
SU1295211A1 (ru) Интерферометр дл контрол формы асферических поверхностей
SU1104362A1 (ru) Интерферометр дл контрол качества оптических поверхностей
SU848999A1 (ru) Интерферометр дл контрол изменени АбЕРРАций лиНз и зЕРКАл пРи зАКРЕплЕНиииХ B ОпРАВы
SU1226195A1 (ru) Устройство дл измерени градиента показател преломлени
SU662795A1 (ru) Интерферометр дл контрол формы астрономических зеркал
SU920367A1 (ru) Интерферометр дл контрол вогнутых сферических поверхностей
SU712654A1 (ru) Интерферометр
SU1397718A1 (ru) Интерферометр дл измерени линейных величин и показател преломлени
SU1620826A1 (ru) Способ определени диаметра отверстий и устройство дл его осуществлени
SU1113670A1 (ru) Устройство дл контрол плоских оптических поверхностей
SU953451A2 (ru) Интерферометр дл контрол вогнутых сферических поверхностей
SU1504497A1 (ru) Устройство дл измерени линейных размеров и формы элементов на плоских объектах с дифракционными тестовыми структурами
SU1186940A1 (ru) Голографический интерферометр дл измерени формы сферических оптических поверхностей
SU180377A1 (ru)