Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт Физики Полупроводников Со Ан СссрfiledCriticalИнститут Физики Полупроводников Со Ан Ссср
Priority to SU2405629/26ApriorityCriticalpatent/SU623298A1/ru
Application grantedgrantedCritical
Publication of SU623298A1publicationCriticalpatent/SU623298A1/ru
Способ обработки кремния n-типа проводимости, включающий выдержку пластин при 1250-1300C в вакууме, отличающийся тем, что, с целью повышения качества поверхности кремния, обрабатываемую пластину экранируют кремниевой пластиной n-типа проводимости с образованием микрополости и создают между пластинами температурный градиент 100-200град/мкм с поддержанием максимальной температуры на обрабатываемой пластине.
SU2405629/26A1976-09-081976-09-08Способ обработки кремния
SU623298A1
(ru)