SU599403A1 - Система автоматического регулировани диаметра кристалла, выращиваемого из расплава - Google Patents
Система автоматического регулировани диаметра кристалла, выращиваемого из расплава Download PDFInfo
- Publication number
- SU599403A1 SU599403A1 SU752099810A SU2099810A SU599403A1 SU 599403 A1 SU599403 A1 SU 599403A1 SU 752099810 A SU752099810 A SU 752099810A SU 2099810 A SU2099810 A SU 2099810A SU 599403 A1 SU599403 A1 SU 599403A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- crystal
- diameter
- melt
- crucible
- sensor
- Prior art date
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
(54) СИСТЕМА АВТОМАТИЧЕСКОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ ДИАМЕТРАКРИСТАЛЛА , ВЫРАЩИВАЕМОГО ИЗ РАСПЛАВА
ный фильтр 4, фотоприемник 5, соединенный с формирователем 2 сигнала, который Подсоединен к регул тору 6 диаметра. Система содержит также регул тор 7 перемещени скорости кристалла , св занный с электроприводом 8, датчик 9 температуры, регул тор 10 температуры, соединенный с блоком 11 управлени мощностью нагревател , регул тор 12 перемещени тигл , св занный с электроприводом 13, вычислиталь 14, подключенный на вход регул тора 12, водоохлажденную камеру 15 тигель 16, нагреватель 17, электроприводы 1-8 выращивани кристалла и тигель 19,
После расплавлени материала и ра ращивани конусной части кристалла 20 оператором осуществл етс выход и на заданный диаметр, который сопровождаетс возникновением светового кольца вокруг-кристалла. На световое кольцо визирован оптический блок 1. С помощью объектива 3 световое кольцо через интерференционный фильтр 4 проецируетс в плоскость фотоприемника 5, н который попадает излучение определенной длины волны. Остальна часть спектра интерференционным фильтром посыпаетс на экран, не покзанный на чертеже и слукащий дл настройки при визировании и наблюдени в ходе процесса.
Сигнал с выхода фотоприемника 5 поступает в формирователь 2 в котором формируетс электрический сигнал пропорциональный диаметру кристалла 20, подаваемый на регул тор б диаметра .
Диаметр кристалла регулируетс изменением скорости выращивани путем воздействи регул тора 6 диаметра На регул тор 7 скорости перемещеНИН кристалла, управл ющий работой электропривода 8.
По мере Выращивани кристалла опукаетс уровень расплава в тигле 16. Дл поддержани посто нного значени
уровн расплава на входе вычислител 14 устанавливаютс сигналы, соответствующие значени м диаметра выращиваемого кристалла (D) и диаметра установленного тигл (Xlp) , а также посто нно поступаюашй с электропривода 8 сигнал, пропорциональный скорости перемещени кристалла CV), в зависимости.от значений этих сигналов вычислитель 14 формирует задающий сигнал дл регул тора 12 скорости перемещени тигл (Vp), управл ющего электроприводом 13.
Claims (2)
- Формула изобретени1,Система автоматического регу лировани диаметра кристалла, выращиваемого из расплава, содержаща датчик диаметра, регул тор диаметра кристалла, регул тор температуры, регул торы перемещени тигл и кристалла , отличающа с тем, что, с целью повышени точности регулировани диси 1етра выращиваемых кристаллов путем повышени помехоз щищенности датчика диаметра кристалла и точности стабилизации уровн расплава в тигле, она снабжена интерференционным фильтром и фотоприемником расположенными в датчике диаметра кристалла, блоком формировани сигнала , пропорционального диаметру кристалла, вычислительным блоком, вход которого св зан с выходом регул тора перемещени кристалла, а выход- с входом регул тора перемещени тигл .
- 2.Система по п. 1, отличающа с тем, что фотоприемник выполнен в виде блока фотосопротивленийИсточники информации, прин тые во внимание при экспертизе1. Патент Англии .1209580, кл, G 3 R, 1969. .2. Датент CllA № 3493770, кл. 250-217, 1970.П16I
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU752099810A SU599403A1 (ru) | 1975-01-21 | 1975-01-21 | Система автоматического регулировани диаметра кристалла, выращиваемого из расплава |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU752099810A SU599403A1 (ru) | 1975-01-21 | 1975-01-21 | Система автоматического регулировани диаметра кристалла, выращиваемого из расплава |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU599403A1 true SU599403A1 (ru) | 1980-04-05 |
Family
ID=20608379
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU752099810A SU599403A1 (ru) | 1975-01-21 | 1975-01-21 | Система автоматического регулировани диаметра кристалла, выращиваемого из расплава |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU599403A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4301072A1 (de) * | 1993-01-16 | 1994-07-21 | Leybold Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Ziehen von Einkristallen aus einer Schmelze |
-
1975
- 1975-01-21 SU SU752099810A patent/SU599403A1/ru active
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4301072A1 (de) * | 1993-01-16 | 1994-07-21 | Leybold Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Ziehen von Einkristallen aus einer Schmelze |
| US5485802A (en) * | 1993-01-16 | 1996-01-23 | Leybold Aktiengesellschaft | Method and apparatus for pulling monocrystals from a melt |
| DE4301072B4 (de) * | 1993-01-16 | 2006-08-24 | Crystal Growing Systems Gmbh | Verfahren zum Ziehen von Einkristallen aus einer Schmelze |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SU599403A1 (ru) | Система автоматического регулировани диаметра кристалла, выращиваемого из расплава | |
| JPS57100930A (en) | Preparation of base material for optical fiber | |
| CA1272105A (en) | System for controlling the diameter of a crystal in a crystal growing furnace | |
| JPS6482527A (en) | Exposure device | |
| US4058429A (en) | Infrared temperature control of Czochralski crystal growth | |
| US5292486A (en) | Crystal pulling method and apparatus for the practice thereof | |
| SU859490A1 (ru) | Способ управлени процессом выращивани монокристаллов из расплава | |
| FR2383138A1 (fr) | Equipement d'etirage de fibre optique a partir d'une preforme, perfectionne en ce qui concerne la regulation de la vitesse du tambour d'etirage et le demarrage automatique du fibrage | |
| SU648332A1 (ru) | Способ автоматического управлени режимом кристаллизатора установок непрерывной разливки металла | |
| GB1135710A (en) | Variable speed drive arrangement for an analytical instrument | |
| SU1549702A1 (ru) | Способ автоматического регулировани процесса высокочастотной сварки труб | |
| JPH0343237B2 (ru) | ||
| SU113806A1 (ru) | Способ автоматического регулировани процесса выращивани монокристаллов из расплава | |
| JPS6453589A (en) | Wavelength controller for excimer laser | |
| SU1276880A1 (ru) | Система автоматического регулировани процесса горени | |
| JPH07172993A (ja) | ルチル単結晶の製造方法 | |
| SU1101429A1 (ru) | Устройство управлени диаметром стекловолокна | |
| SU916925A1 (ru) | Способ автоматического управлени процессом распылительной сушки | |
| JPH0148240B2 (ru) | ||
| SU846916A1 (ru) | Способ автоматического регулировани пиТАНи B пРОцЕССЕ пуСКА дВуХНиТОчНОгОпР МОТОчНОгО пАРОгЕНЕРАТОРА | |
| RU1768317C (ru) | Способ автоматического управлени циклонно-вихревым аппаратом | |
| GB1561112A (en) | Zone melting | |
| SU628474A1 (ru) | Регул тор температуры и влажности воздуха | |
| RU2184803C2 (ru) | Способ управления процессом выращивания монокристаллов из расплава и устройство для его осуществления | |
| JPS6417014A (en) | Light source device of endoscope |