SU599158A1 - Интерференционный способ измерени величины линейных и угловых перемещений - Google Patents

Description

Оно содержит источник 1 монохроматического излучени  и интерферометр, состо ший из полупрозрачных зеркал 2, 3, зеркала 4, укрепленного на подвижном объекте, фотоприемника 5, пьезоэлектрических модул торов 6, 7 и опорного низко-частотного генератора 8 модулирующих сигналов. Процесс измерени  величины линейных и угловых пэремешений заключаетс  в сладуюшем . Монохроматическое излучение источника 1направл ют в интерферометр, модулируют его и раздел ют полупрозрачны.м зеркалом 2на опорное и измерительное излучение. Измерительное излучение направл ют к зеркалу 4, закрепленному на объекте измерени Отразившеес  от зеркала 4 и затем от зер кала 2 измерительное излучение попадает на фотоприемник 5, с помощью которого, получа  интерференционную картину, руд т об измер емой величине. Опорное излучение полупрозрачным зеркалом 2 направл ют на ПJлyпpoзpaчнoe зеркало 3, где происходит разделепие опорного излучени  на два луча. Каждый из лучей модулируют с помощью модул торов 6, 7. Отразившие от отражающих зеркал пьезоэлектрических модул торов 6, 7 излучени  проход т последовательно зеркала 3, 2 и также попадают на фотоприемннк 5. Опор ньй генератор 8 управл ет модул торами 6, 7 сигналами низкой частоты, сдвинуты-, ми по фазе один относительно другого на 90°, что приводитк соответствующей фазовой модул ции |аучей опорного излучейи . На фотоприемнике интерферируют три луча: измерительный с фазой, завис щей от положени  объекта, опорный луч, промодулированный по фазе модул тором 6, и опор- jO

иый луч, промодулированный по фаза модул тором 7. В результате указанной интерференции в спектре выходного с гнеша фотоприемника имеетс  составл юща  с частотой опорного модулирукмиего генератора и с фаЗОЙ , равной фазе измерительного излучени . Окончательный результат измерени  может быть получен в низкочастотном цифровом измерителе фазового сдвига (на чертеже не показан ), где в качестве опорного сигнала используетс  сигнал генератора 8. Сравнительные исследовани  подтверждают эффективность описываемого способа. Oif позвол ет осуществл ть измерени  в динамике , достаточно просто получать результаты в цифровой форме, а главное обеспечивает высокую точность измерени . формула изобретени  Интерференционный способ измерени  величины линейных и угловых перемещений, заключающийс  в том, что монохроматическое излучение направл ют в-интерферометр модулируют его, раздел ют на опорное и из мерительное, которое направл ют на объект, и регистрируют интерференционную картину на фотоприемнике, до сигналу с koTopor суд т об измер емой величине, отличающийс  тем, что, с целью повы шени  точности измерений, опорное излучение раздел ют на два, модулируют каждое из них по фазе сигналами низкой частоты , сдвинутыми по фазе на 90 один относительно модулирующего второго. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе: 1.Авторское свидетельство СССР № 194330, кл. С 01 В 9/02, 1965. 2.Авторское свидетельство СССР Jvfe 4O814S, кл. С 01 В 9/О2, 1972.