SU896392A1 - Система регистрации перемещений в оптико-электронных измерительных устройствах с интерференционной модул цией - Google Patents

Description

(54) СИСТЕМА РЕГИСТРАЦИИ ПЕРЕМЕШЕН ИИ В ОПТИКОЭЛЕКТРОННЫХ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ УСТРОЙСТВАХ С ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ МОДУЛЯЦИЕЙ

I

Изобретение относитс  к контрольноизмерительной технике, а именно к классу оптических измерительных устройств, и преоназначено дл  регистрации перемещений при проведении интерференционных измерений.

Наиболее близкой к предлагаемой по технической сущности и достигаемому эффекту  вл етс  система регистрации перемещений в оптико-электронных измерительных устройствах с интерференционной морул цией, содержаща  фотоприемник , устанавливаемый на выходе интерферометра , св занный с интерферометром модул тор с источником модулирующего напр жени  и фазоизмерительный блок lj.

Недостатком данной системы  вл етс  требование выполнени  равенства амплитуд сигналов, что снижает помехоустойчивость системы и, следовательно, точность регистрации перемещений.

Цель изобретени  - повыщение .точ-ности регастрации.

Указанна  цель достигаетс  тем, что . система снабжена делителем частоты на целое число 72 и последовательно соединенными усилителем-ограничителем, св занным входом с выходом фотоприемника, и умножителем частоты на целое число Ю 2,выход которого св зан с одним из входов фазоизмерительного блока, выполненного в виде реверсивного счетчика, а источник модулирующего напр жени  выполнен в виде генератора пилообразного напр жени , соединенного со вторым входом фазоизмерительного блока и делителем частоты, св занным с модул тором.

На чертеже изображена схема системы.

Claims (1)

1. Система регистрации перемещений содержит интерферометр 1, установленный на его выходе фотоприемник 2, последовательно соединенные усилитель-ограничитель 3, св занный входом с выходом фотоприемника 2, и умножитель 4 частоты на целое числоУТ72, модул тор 5, св занный с, интерферометром 1, делитель 6 частоты на целое число , св занный 38 с моцул тором 5, источник мосслирук щего напр жени , вьтолненный в виде генератора 7 пилообразного напр жени , и фазоизмерительный блок, выполненный в виде реверсивного счетчика 8, второй вход которого св зан с генератором 7 Шло образного напр жени , и делителем 6 частоты, а первый.- с выходом умножител  4 частоты, . Система регистрации перемещений работает слеоующим образом. Сигнал с генератора 7 на частоте д через делитель 6 частоты поступает на моц л тор 5, с помощью которого в интер (}ерометре 1 производитс  сканирование интерференционной картины в пределах одной полосы с частотой {QJH- Эта интерферограмма направл етс  на фотоприемник 2, при этом на выходе фотоприемника 2 выдел етс  синусоидальный сигнал с частотой €о1и фаза которого измен етс  при движении интерференци (шной картины, причем увеличению (умен шению) длины измерительного плеча интерферометра на ./2 ( X - длина волны света) соответствует увеличение (уменьшение ) фазы этого сигнала на 36О°, К выходу фотоприемника 2 подключен усилитель-ограничитель 3, на выходе которого амплитуда сигнала остаетс  посто  нной при значительных флуктуаци х вход ного сигнала, и тем самым обеспечиваетс  высока  помехоустойчивость системы . Далее сигнал с усилителгг-ограничител  3 подаетс  на умножитель 4 частоты на целое число Т2. Частота сигнала на выходе умножител  4 частоты равна f Р , а фаза при увеличении (уменьшении) длины плеча интерферометра 1 на Л/2 увеличитс  (уменьшитс ) на величину И- 360. Этот сигнал подаетс  на один из входов реверсивного счетчика 8, а на другой вход счетчика 8 поступает сигнал :; частотой JQ непосредственно с генера2 тора 7. Разностное число импульсов, подсчитанных счетчиком 8, представл ет собой результат изменени  длины плеча интерферометра 1 в единицах Д./и. Таким образом, введение в систему усилител -ограничител , умножител  и делител  частоты на целое число 72 позвол ет повысить точность системы регистрации за счет повышени  помехоустойчивости . Формула изобретени  Система регистрации перемещений в оптико-электронных измерительных устройствах с интерференционной модул цией , содержаща  фотоприемник, устанавливаемый на выходе интерферометра, св занный с интерферометром модул тор с источником модулирующего напр жени  и фазоизмерительный блок, отличающа с  тем, что, с целью повышени  точности регистрации, она снабжена делителем частоты на целое число М72 и последовательно соединенными усилителем-ограничителем , св занным входом с выходом фотоприемника, и умнижетелем частоты на целое число , выход которого св зан с одним из входов фазоизмерительного блока, выполненного в виде еверсивного счетчика, а источник модулирующего напр жени  выполнен в виде генератора пилообразного напр жени , соединенного со вторым входом фазоизме- рительного блока и делителем частоты, св занным с модул тором. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе I. Авторское свидетельство СССР N 446744, кл. G01 В 11/26, 1974 (прототип).