SU991152A1 - Интерферометр дл измерени линейных перемещений - Google Patents
Интерферометр дл измерени линейных перемещений Download PDFInfo
- Publication number
- SU991152A1 SU991152A1 SU813248234A SU3248234A SU991152A1 SU 991152 A1 SU991152 A1 SU 991152A1 SU 813248234 A SU813248234 A SU 813248234A SU 3248234 A SU3248234 A SU 3248234A SU 991152 A1 SU991152 A1 SU 991152A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- interferometer
- beams
- frequency
- measuring linear
- modulator
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Description
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике, предназначено дл измерений линейных перемещений и может быть использовано преимущественно в высокочастотных измерительных и управл ющих устройствах. . Известен интерферометр дл измерени линейных перемеьгений,содержащий лазер, светоделитель, отражатель, устанавливаемый на измер емом объекте, .два фотоприемни-ка и электронный блок обработки сигналов 1..
Недостатком интерферометра вл етс низка точность измерений, обусловленна тем, что частота измерительного сигнала может измен тьс в очень широких пределах, .начина с нулевого значени , а также дрейфом энергетических параметров, источника и приемников излучени .
Наиболее близким к изобретению по технической сущности вл етс интерферометр дл измерени линейных перемещений, содержащий одно .частотный лазер, установленные покзледовательно по ходу его лучей расщепитель лазерного излучени на два пучка и устройство сдвига частоты излучени , выполненные в виде дифракционного фазового модул тора.
первый светоД елитель и первый фотопрй емник,образующие опорный канал,второй светоделитель, отражатель/ устанавливаемый на измер емом объекте, и второй фотоприемник, образующие рабочий канал, и электронный блок обработки сигналов, подключенный к выходам фотоприемникаС2 .
Недостатком этого интерферометра
10 вл етс сравнительно низка точночть измерений, обусловленна сш1ибками, св занными с неконтролируемыми олещени ми оптических элементов интерферометра под воздействием
15 внешних дестабилизирующих факторов (изменение температуры, вибрации и др.), а также отсутствием возможности использовани уголкового отражател в рабочем канале без значитель20 ного увеличени габаритов интерферометра , что объ сн етс малым значением угла между пучкг1ми, выход щих из модул тора.
Цель изобретени - повышение точ25 ности измере1 ий.
Поставленна цель достигаетс тем, что интерферометр дл измерени линейных перемещений снабжен системой из двух плоских отражателей, каж30 дый из которых установлен между модул тором и первым светоделителем, в ходе излучени одного из пучков под углом к найравлению распространени л1учка и с возможностью поворота отражат вокруг оси, f перпендикул ррной к плоскости, проход щей через оси пучков.
На чертеже представлена принципиальн схема о;цного из возможных .вариантов интерферометра дл измерени линейных йеремещений.
Интерферометр содержит одночастотный лазер 1, установленные последовательно по ходу его излучени расщепитель лазерного излучени на два пучка и устройство сдвига частоты излучени , выполненные в виде дифракционного фазового модул тора 2, плоские отражатели 3 и 4, светоделители 5 и 6, угловые отражатели 7 и 8, фотоприемники 9 и 10, призму 11 и электронный блок обработки сигналов (не показан). Модул тор 2 представл ет собой акустооптическую чейку, питаемую переменным напр жением . Уголковый отражатель 7 устанавливаетс на измер емом объекте, а уголковый отражатель 8 установлен неподвижно.
Элементы интерферометра 5, 11 и
9образуют опорный канал, а элементы б - 8 и 10 - рабочий канал.
-Интерферометр работает следующим образом.
Модул тор 2 расщепл ет излучение лазера 1 на два пучка, распростран ющихс под углом друг другу, сдвигает частоту излучени одного из них по отношению к частоте излучени другого пучка и модулирует излучение обоих пучков по фазе.
Один из пучков падает на отражатель 3 другой - на отражатель 4, псэсле отражени от которых оба пучка направл ютс в опорный и рабочий каналы, интерферируют друг с другом и поступают на чувствительные площадки фотоприемников 9 и 10., Фотоприемник 9 формирует на своем выходе электрический зигнал, частота которого зависит только от величины сдвига частот излучений пучков, выход щих из модул торв 2, и вл етс опорной.
Фотоприемник 10 формирует на своем выходе электрический сигнал, частота которого зависит как от величины сдвига Частот излучений пучков , выход щих из модул тора 2,так и от скорости перемещени уголкового отражател 7,устанавливаемого на измер емом объекте. В результате этого частота сигнала на выходе фотоприемника
10отличаетс от опорной и несет информацию о перемещении уголкового отражател 7.
Электронный блок обработки сравнивает частоты электрических сигналов.
поступающих в него с выходов фотоприемников 9 и 10, и фиксирует величину перемещени измер емого объекта в каждый момент времени.
Требуемый уровень сигнала с фотоJ приемников устанавливают за счет изменени угла между интерферирующими пучками (изменение ширины интерференционных полос) посредством поворота одного из отражателей в плосQ крсти, проход щей через оси пучков. При этом углы между интерферирук цими пучками в рабочем и опорном ка-. нале всегда равны между собой, благодар чему интерферометр практи- часки нечувствителен к неконтроли1 уемшл смещени м его оптических эле ментов под воздействием внешних ; дестабилизирук Шх факторов.
Требуемый сдвиг частот пучков, выход щих из модул тора .2, 6б|ёс|1ечивают подбором соответствующей Частоты их модул ции. ,
в некоторых случа х модул тор 2 целесообразно выполнить в виде фазовой радиальной дифракционной ре5 шетки, установленной в ходе излучени лазера 1 с возможностью вращени вокруг оси, параллельной направлению распространени излучени , и св занного с решеткой привода ее
0 вращени .
Такое выполнение модул тора 2 позвол ет снизить опорную (несущую) частоту электрических сигналов, что облегчает их обработку в электрон5 ном блоке, а также увеличить угол между пучками, выход щими из модул тора 2, что, в свою очередь,позвол ет несколько сократить габариты интерферометра за счет уменьшени
Q рассто ни между модул тором 2 и отражател ми 3 и 4.
Снабжение интерферометра системой из двух плоских отражателей, установленных между модул тором 2 и
светоделителем 5, повьаиает точность
измерени линейных перемещений за счет исключени ошибок, св занных с неконтролируемым смещением оптических элементов интерферометра, а также за счет повышени уровн .полез0 ного сигнала и обеспечени возможности использовани .уголковых отражателей в рабочем канале без увеличени габаритов интерферометра.
Claims (2)
1.Хитрин A.XW, Сундукова Е.М., Ов сов Б. А. Интерферометр11ч е ские устройства контррп линейных перемещений и их применение в технолр ическом Оборудовании. Н., ЦНИИ Электроника , 1973, с. 12 - 13.
0
2.Левитйс А.Ф., Гелешевский В.И, Фазовый лазерный интерферометр дл измерени линейных перем ейий. Труды НИИ метрологии высших учебных заведений . М., вып. 12, 1974, С.13 - 17 (ЙЗЕЮТОТИП) .
5
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU813248234A SU991152A1 (ru) | 1981-02-19 | 1981-02-19 | Интерферометр дл измерени линейных перемещений |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU813248234A SU991152A1 (ru) | 1981-02-19 | 1981-02-19 | Интерферометр дл измерени линейных перемещений |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU991152A1 true SU991152A1 (ru) | 1983-01-23 |
Family
ID=20943154
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU813248234A SU991152A1 (ru) | 1981-02-19 | 1981-02-19 | Интерферометр дл измерени линейных перемещений |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU991152A1 (ru) |
-
1981
- 1981-02-19 SU SU813248234A patent/SU991152A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0193742B1 (en) | Wavelength scanning interferometry and interferometer employing laser diode | |
GB1472894A (en) | Interferometric methods and apparatus for measuring distance to a surface | |
FR2654827B1 (fr) | Dispositif de mesure a fibre optique, gyrometre, centrale de navigation et de stabilisation. | |
US4573795A (en) | Rotation rate measuring instrument | |
US3566140A (en) | Arrangement for measuring relative displacement utilizing relatively movable shutters which control the passage of modulated light | |
SU991152A1 (ru) | Интерферометр дл измерени линейных перемещений | |
GB1521351A (en) | Methods and apparatus for measuring variations in distance to a surface | |
US5089698A (en) | Interferometric optical system for measuring linear or angular displacements by beat signals | |
SE8800097L (sv) | Foerfarande foer att faststaella en upptraedande diskrepans mellan tvaa optiska vaegstraeckor samt anordning anpassad foer utfoerande av foerfarandet | |
SU1179103A1 (ru) | Интерферометр дл измерени рассто ний | |
GB1564781A (en) | Distance measuring devices | |
SU1245884A1 (ru) | Устройство дл измерени геометрических параметров | |
SU896392A1 (ru) | Система регистрации перемещений в оптико-электронных измерительных устройствах с интерференционной модул цией | |
RU1818528C (ru) | Способ измерени угловой скорости с помощью волоконно-оптического гироскопа | |
SU645020A1 (ru) | Способ измерени параметров угловой модул ции оптического излучени | |
RU1818527C (ru) | Способ измерени угловой скорости с помощью волоконно-оптического гироскопа | |
SU700031A1 (ru) | Устройство дл измерени угловой скорости | |
SU853378A1 (ru) | Интерференционное устройство измерени лиНЕйНыХ и углОВыХ пЕРЕМЕщЕНий | |
Uttam et al. | The principles of remote interferometric optical fibre strain measurement | |
SU1142731A1 (ru) | Измерительна система с трехзеркальным лазер-интерферометром | |
SU1714346A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени линейных перемещений | |
SU574741A1 (ru) | Фотоэлектрический преобразователь угла поворота вала в код | |
JP2655647B2 (ja) | 光集積回路型干渉計 | |
SU696794A1 (ru) | Способ измерени рассто ни | |
SU679787A1 (ru) | Способ измерени разности углов поворота двух валов |