SU534646A1 - Способ бесконтактного контрол профил криволинейных поверхностей объектов - Google Patents

Способ бесконтактного контрол профил криволинейных поверхностей объектов

Info

Publication number
SU534646A1
SU534646A1 SU2142996A SU2142996A SU534646A1 SU 534646 A1 SU534646 A1 SU 534646A1 SU 2142996 A SU2142996 A SU 2142996A SU 2142996 A SU2142996 A SU 2142996A SU 534646 A1 SU534646 A1 SU 534646A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
mark
objects
image
control profile
contactless control
Prior art date
Application number
SU2142996A
Other languages
English (en)
Inventor
Александр Михайлович Жилкин
Виктор Дмитриевич Васильев
Original Assignee
Московский Институт Инженеров Геодезии, Аэрофотосъемки И Картографии (Миигаик)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Московский Институт Инженеров Геодезии, Аэрофотосъемки И Картографии (Миигаик) filed Critical Московский Институт Инженеров Геодезии, Аэрофотосъемки И Картографии (Миигаик)
Priority to SU2142996A priority Critical patent/SU534646A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU534646A1 publication Critical patent/SU534646A1/ru

Links

Description

(54) СПОСОБ БЕСКОНТАКТНОГО КОНТРОЛЯ ПРОФИЛЯ КРИВОЛИНЕЙНЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ОБЪЕКТОВ где определ ют размеры светового п тна и вырабатываетс  сигнал ошибки. Этот сиг нал подают на привод, который перемещает каретку с лазерными головками до получени  минимальных размеров светового п тна на поверхности контролируемого объекта . Данные по перемещению головок (координата 2 ) снимают с привода и фиксирую индикаторным устройством . Недостатками этого способа  вл ютс  невысока  точность, обусловленна  тем, что определение минимального размера све тового п тна на поверхности контролируемого объекта затруднено нерезкой границы п тна, вызванной дифракцией сввтового потока, аберраци ми оптических систем и паразитной засветкой, и низка  помехозащищенность вследствие того, что отсутствует модул ци  световых потоков. Цель изобретени  - повышение точное- ти и помехозащищенности контрол  величины координаты контролируемой точки криво линейной поверхности объекта, Зто достигаетс  тем, что по предлагаемому способу осуществл ют после формировани  изображени  марки угловые колебани  формирующего светового пучка относительно одной точки в плоскости изображени  марки, сравнивают фазы колебаний формирующего светового пучка и изображени  марки определ ют координату контролируемой точки в момент отсутстви  колебаний изображени  марки на поверхности объекта На чертеже изображена функциональна  схема устройства дл  осуществлени  предл гаемого способа. Устройство содержит осветитель 1, сос то щий например, из лазера, марки и оптической системы и формирующий изображени марки на криволинейной поверхности контролируемого объекта 2, дефлектор 3, выполненный , например, в виде оптико-механической сканирующей системы и осуществл ю щий угловые колебани  формирующего светового пучка относительно опорной точки А в плоскости изображени  марки, фотоэлектрический преобразователь 4, состо щий из объектива, анализирующей диафрагмы и фото приемника, электронный усилительно-преобразовательный блок 5, выдающий сигнал рассогласовани , привод 6, отрабатывающий сигнал рассогласовани , регистрирук щий прибор 7, фиксирующий полные координаты контролируемой точки провер емого сечени  объекта, приводы 8 и 9, перемещаю щие контролируемый объект по координатам X и У, Предлагаемый способ осуществл етс  следующим образом. С помощью осветител  1 изображение марки формируют на криволинейной поверхности контролируемого объекта 2, Угловые колебани  формирующего светового пучка относительно опорной точки А в плоскости изображени  марки производ т дефлектором 3. Отраженный от криволинейной поверхности контролируемого объекта 2 световой поток направл ют на фотоэлектрический преобразователь 4, В случае совпадени  контролируемой точки провер емого сечени  объекта 2 с опорной точкой А изображение марки на поверхности объекта 2 неподвижно . При несовпадении указанных точек выэванном перемещением объекта 2 и кривизной его поверхности, по вл ютс  колебани  изображени  марки по поверхности объекта 2, синхронные с частотой угловых колебаний формирующего светового пучка и с амплитудой , пропорциональной величине изменени  координаты Z контролируемой точки криволинейной поверхности. Эти колебани  изображени  марки дают на выходе фотоэлектрического преобразовател  4 переменный сигнал , который поступает в электронный усилительно-преобразовательный блок 5, Сигнал рассогласовани  с выхода электронного усилительно-преобразовательного блока 5, несущий информацию о величине и направлении изменени  координаты Z контролируемой точки провер емого сечени  объекта, подают на привод 6, который перемещает осветитель 1 и дефлектор 3 до устранени  сигнала рассогласовани  и получени  неподвижного изображени  марки на контролируемой поверхности. Данные по перемещению осветител  1 и дефлектора 3 (координата Z ) снимают с привода 6 и фиксируют регистрирующим прибором 7. На этот же прибор поступают данные с приводов 8 (координата X) и 9 (координата У) механизмов перемещени  объекта 2, дающие полные координаты контролируемой точки криволинейной поверхности объекта, Угловые колебани  формирующего светового пучка можно осуществить за счет колебательного, вращательного и колебательно-вращательного движений формирующего светового пучка относительно опорной точки в плоскости изображени  марки, В первом случае угловые колебани  происход т только в одной стационарной плоскости , проход щей через опорную точку и перпендикул рной поверхности контролируемого объекта. При этом формирующий световой пучок совершает колебательное движение на некоторый угол вокруг опорной точки .
SU2142996A 1975-06-06 1975-06-06 Способ бесконтактного контрол профил криволинейных поверхностей объектов SU534646A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2142996A SU534646A1 (ru) 1975-06-06 1975-06-06 Способ бесконтактного контрол профил криволинейных поверхностей объектов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2142996A SU534646A1 (ru) 1975-06-06 1975-06-06 Способ бесконтактного контрол профил криволинейных поверхностей объектов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU534646A1 true SU534646A1 (ru) 1976-11-05

Family

ID=20622289

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU2142996A SU534646A1 (ru) 1975-06-06 1975-06-06 Способ бесконтактного контрол профил криволинейных поверхностей объектов

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU534646A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2448323C1 (ru) * 2010-12-29 2012-04-20 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственный центр газотурбостроения "Салют" (ФГУП "НПЦ газотурбостроения "Салют") Способ оптического измерения формы поверхности

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2448323C1 (ru) * 2010-12-29 2012-04-20 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственный центр газотурбостроения "Салют" (ФГУП "НПЦ газотурбостроения "Салют") Способ оптического измерения формы поверхности

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3589815A (en) Noncontact measuring probe
US4264208A (en) Method and apparatus for measuring the surface of an object
US4813782A (en) Method and apparatus for measuring the floating amount of the magnetic head
KR940019202A (ko) 기판외관검사장치
US5026162A (en) Optical interference position measurement system
SU534646A1 (ru) Способ бесконтактного контрол профил криволинейных поверхностей объектов
US4831272A (en) Apparatus for aligning a reticle mark and substrate mark
US4685804A (en) Method and apparatus for the measurement of the location or movement of a body
JP2928398B2 (ja) 多次元振動計
JPS6126605B2 (ru)
SU1049735A1 (ru) Способ измерени угловых перемещений объекта в двух взаимно перпендикул рных плоскост х и устройство дл его осуществлени
SU974899A1 (ru) Устройство дл измерени скорости перемещени поверхностей сплошных сред
RU1772634C (ru) Способ измерени амплитуды колебаний
JPS61209894A (ja) ロボツト用視覚センサ
SU451902A1 (ru) Фотоэлектрический микроскоп
SU905633A1 (ru) Устройство дл контрол размерных параметров топологии фотошаблонов
RU1835485C (ru) Способ определени профил сечени объекта
JPS57199902A (en) Detection of scanning distortion
JPS633212A (ja) 計測装置
SU1295226A1 (ru) Устройство дл измерени перемещений
JPH09138107A (ja) パターン検出方法及び装置
SU528532A1 (ru) Фотоэлектрический автоколлиматор
JPH09257416A (ja) 対象面の位置検出装置
JPS6313447Y2 (ru)
JPH07294537A (ja) 速度及び距離の検出装置