Таганрогский радиотехнический институт им. В.Д.Калмыкова
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Таганрогский радиотехнический институт им. В.Д.КалмыковаfiledCriticalТаганрогский радиотехнический институт им. В.Д.Калмыкова
Priority to SU2134679/25ApriorityCriticalpatent/SU527989A1/ru
Application grantedgrantedCritical
Publication of SU527989A1publicationCriticalpatent/SU527989A1/ru
Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором, содержащий ортофосфорную и азотную кислоты, отличающийся тем, что, с целью улучшения свойств легированной пленки, в его состав введен этиленгликоль в качестве основного растворителя при следующем соотношении компонентов, об.%:Ортофосфорная кислота (уд. вес 1,68 г/см) - 1 • 10- 10Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см) - 1 • 10- 5 • 10Этиленгликоль - Остальное
SU2134679/25A1975-05-191975-05-19Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором
SU527989A1
(ru)