SU527989A1 - Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором - Google Patents

Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором

Info

Publication number
SU527989A1
SU527989A1 SU2134679/25A SU2134679A SU527989A1 SU 527989 A1 SU527989 A1 SU 527989A1 SU 2134679/25 A SU2134679/25 A SU 2134679/25A SU 2134679 A SU2134679 A SU 2134679A SU 527989 A1 SU527989 A1 SU 527989A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
electrolyte
oxide film
phosphorus
silicon oxide
doping silicon
Prior art date
Application number
SU2134679/25A
Other languages
English (en)
Inventor
И.С. Бредихин
Л.П. Милешко
В.А. Селиванова
Original Assignee
Таганрогский радиотехнический институт им. В.Д.Калмыкова
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Таганрогский радиотехнический институт им. В.Д.Калмыкова filed Critical Таганрогский радиотехнический институт им. В.Д.Калмыкова
Priority to SU2134679/25A priority Critical patent/SU527989A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU527989A1 publication Critical patent/SU527989A1/ru

Links

Abstract

Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором, содержащий ортофосфорную и азотную кислоты, отличающийся тем, что, с целью улучшения свойств легированной пленки, в его состав введен этиленгликоль в качестве основного растворителя при следующем соотношении компонентов, об.%:Ортофосфорная кислота (уд. вес 1,68 г/см) - 1 • 10- 10Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см) - 1 • 10- 5 • 10Этиленгликоль - Остальное
SU2134679/25A 1975-05-19 1975-05-19 Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором SU527989A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2134679/25A SU527989A1 (ru) 1975-05-19 1975-05-19 Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2134679/25A SU527989A1 (ru) 1975-05-19 1975-05-19 Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU527989A1 true SU527989A1 (ru) 2001-04-10

Family

ID=60522280

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU2134679/25A SU527989A1 (ru) 1975-05-19 1975-05-19 Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU527989A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE7608876L (sv) Anordning vid brenslecell
KR850004391A (ko) 비-수성 아이버멕틴 제형
GB1303414A (ru)
GB889225A (ru)
SU527989A1 (ru) Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором
GB1079314A (en) Process for preparing n-vinyl compounds
ES265738A1 (es) Un procedimiento para la preparaciën de un dinitrato de alcohileno diol
SU545210A1 (ru) Электролит для легирования окисной пленки кремния бором
SU616893A1 (ru) Электролит для легирования оксидной пленки кремния бором
GB940243A (en) Salts of neomycin
SU615785A1 (ru) Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором
SU682055A1 (ru) Электролит для легирования оксидной пленки кремния мышьяком
ES451555A1 (es) Un procedimiento para la preparacion de una composicion de champu liquido.
IE34481B1 (en) 3-acyl-ypsilon-resorcylic acid anilides and process for their manufacture
JPS5214708A (en) Process for preparation of choline chloride
GB1276203A (en) Method of doping a silicon member
GB937166A (en) Process for the production of mesityl oxide peroxide
JPS5236000A (en) Progressing type direction guide system1
JPS5277592A (en) Production of semiconductor device
JPS5234772A (en) Electrochemical element
GB1496915A (en) Sealed coolant circuit with a coolant therein
JPS51125019A (en) Novel preparation of surface active agents
SU1067998A1 (ru) Электролит для химического источника тока
SU396918A1 (ru) Катализаторный раствор для получения динитрата этиленгликоля
JPS52129275A (en) Impurity diffusion method